专利名称：组合式晶圆盒的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种晶圆盒，特别是涉及一种组合式晶圆盒。
背景技术：
目前，中国集成电路产业已经形成了IC设计、芯片制造、封装测试三业及支撑配套业共同发展的较为完善的产业链格局。2012年9月25日，中芯国际二期项目在北京经济技术开发区奠基，将建设2条产能各为3.5万片的生产线，建成后将实现技术水平为32-28纳米的芯片在国内量产“零”的突破，进一步减弱国内高技术芯片对进口的依赖。在半导体制造领域，经过若干制程得到的晶圆成品需要装入晶圆盒并进行包装和运输送到客户手中，晶圆盒能为晶圆片提供一个相对洁净的环境并避免外界环境的污染。在晶圆的包装和运输过程中，通常使用的是以下两种类型的晶圆盒:一种是可容纳25片晶圆的水晶盒，这种盒子的优点是针对满批或接近满批的批次时，包装和运输成本较低，但是当批次的晶圆片数较少时，水晶盒内的大部分槽位都是空的，使得成本升高。另一种是只能容纳一片晶圆的单晶盒，这种单晶盒体积小且包装携带方便，但是对每个装有一片晶圆的单晶盒都需要进行单独包装进行运输，成本较高。现有技术中，单晶盒只能实现简单的上下堆叠，若将上下简单堆叠的单晶盒一起包装，在运输过程中遇到野蛮操作和意外撞击的时候，单晶盒之间很容易发生错位甚至破损导致晶片受到损坏。在日常的搬运过程中，简单堆叠的晶圆盒也容易发生散落的情况使晶片受:损。因此，提供一种可实现组合功能的晶圆盒以降低成本实属必要。
实用新型内容鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种组合式晶圆盒，用于解决现有技术中每个单晶盒都需要单独进行包装使得成本较高的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种组合式晶圆盒，所述组合式晶圆盒至少包括:一盒盖以及与该盒盖配合连接形成收容腔的盒底；所述盒底下表面设有第一连接件以及至少一个卡槽，所述盒盖上表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽相配合的至少一个卡齿；或者所述盒盖上表面设第一连接件以及至少一个卡槽，所述盒底下表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽相配合的至少一个卡齿。可选地，所述卡槽的横截面为圆环。可选地，所述卡槽的数量为至少两个，各该卡槽之间分隔开，但均位于同一个圆的圆周上。可选地，所述卡齿的横截面为一圆环。可选地，所述卡齿的数量为至少两个，各该卡齿为弧形，且弧度一致。[0013]可选地，所述卡槽由两个垂直于所述盒底的侧墙形成。可选地，所述两个侧墙顶端相向弯折设有相对的侧翼。可选地，所述盒盖与盒底的横截面为多边形或圆形。可选地，所述第一连接件为螺栓，所述第二连接件为与所述螺栓相配合的螺孔；或者所述第一连接件为螺孔，所述第二连接件为与所述螺孔相配合的螺栓。如上所述，本实用新型的组合式晶圆盒，具有以下有益效果:由于晶圆盒盒盖与盒底都设有连接装置以及卡齿或卡槽，当需要对多个晶圆盒进行包装时，可将多个晶圆盒组合起来，组合之后，各个晶圆盒之间能够牢固连接在一起，可以一起包装，并在运输过程中不容易损坏，能有效地节约成本。
图1显示为本实用新型的组合式晶圆盒的示意图。图2显示为本实用新型的组合式晶圆盒的盒底的示意图。图3显示为本实用新型的组合式晶圆盒的盒盖的示意图。图4显示为本实用新型的组合式晶圆盒两个侧墙顶端设有相对的侧翼时的示意图。图5显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡槽数量为两个时的示意图。图6显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡齿数量为两个时的示意图。图7显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡槽、卡齿的数量均为一个且相互配合时的示意图。图8显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡槽数量为一个、卡齿数量为至少两个且与卡槽相互配合时的示意图。图9显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡槽数量为至少两个、卡齿数量为一个且与卡槽相互配合时的示意图。图10显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡槽、卡齿数量均为至少两个且相互配合时的示意图。图11显示为本实用新型的组合式晶圆盒组合在一起且水平放置时的示意图。图12显示为本实用新型的组合式晶圆盒组合在一起且竖直放置时的示意图。图13显示为本实用新型的组合式晶圆盒为盒盖设有卡槽时的示意图。图14显示为本实用新型的组合式晶圆盒为盒底设有卡齿时的示意图。元件标号说明I 盒盖2 盒底3 晶圆4 卡槽41 侧墙42 侧翼5 螺栓6 卡齿[0041]7 螺孔具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。请参阅图1至图14。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。实施例一请参阅图1至图12，本实用新型提供一种组合式晶圆盒，所述组合式晶圆盒至少包括:一盒盖I以及与该盒盖I配合连接形成收容腔的盒底2 ;所述盒底2下表面设有第一连接件以及至少一个卡槽4，所述盒盖I上表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽4相配合的至少一个卡齿6。首先请参阅图1，显示为本实用新型的组合式晶圆盒的示意图。如图所示，盒盖I与盒盖2配合连接，内部形成收容腔，晶圆3放置于所述收容腔内。需要指出的是，图1为晶圆盒盖打开时的情形。所述盒盖I可盖上为晶圆提供一个洁净的环境。请参阅图2,显示为本实用新型的组合式晶圆盒的盒底的示意图。如图所示,所述盒底2下表面设有第一连接件以及至少一个卡槽4。本实施例中，所述第一连接件优选为螺栓5，卡槽4的数量为一个。具体的，所述卡槽4由两个垂直于所述盒底2的侧墙41形成(如图2中局部放大图所示)。所述卡槽4的横截面为圆环。请参阅图3,显示为本实用新型的组合式晶圆盒的盒盖的示意图。如图所示,所述盒盖I上表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽4相配合的至少一个卡齿6。本实施例中，所述第二连接件为与所述螺栓5相配合的螺孔7，所述卡齿6的的数量为一个。所述卡齿6的细节如图3中局部放大图所示。所述卡齿6的横截面亦为一圆环，与所述卡槽4相配合。所述卡槽4的的宽度大于所述卡齿6的厚度,使所述卡齿6能容置于其内。具体的，还可以在所述卡槽4的两个侧墙41顶端相向弯折设置相对的侧翼42。请参阅图4，显示为本实用新型的组合式晶圆盒两个侧墙顶端设有相对的侧翼时的示意图。当需要将数个晶圆盒一起包装时，需要先将晶圆盒组合起来。组合方式如下:将其中一个晶圆盒盒底的卡槽4和螺栓5分别对准另一个晶圆盒盒盖上的卡齿6和螺孔7，使得所述卡齿6嵌入所述卡槽4内，然后旋转晶圆盒，使所述螺栓5和螺孔7紧密结合将两个晶圆盒固定在一起。然后按上述方法继续将其它晶圆盒组合到一起。所述卡槽4与卡齿6的配合能进一步使晶圆盒之间的结合更牢固，降低运输途中遇到野蛮操作或意外撞击时受到的损伤。[0051]在上述实施例中，所述卡槽、卡齿的数量均为一个。在其它实施例中，所述卡槽、卡齿的数量也可以为两个或多个，换句话说，所述卡槽4的数量为至少两个，并且各该卡槽4之间分隔开，但均位于同一个圆的圆周上；所述卡齿6的数量为至少两个，各该卡齿6为弧形，且弧度一致，与所述卡槽4相配合。请参阅图5及图6，其中图5显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡槽数量为两个时的示意图，图6显示为本实用新型的组合式晶圆盒卡齿数量为两个时的不意图。需要指出的是，当所述卡槽4的数量为一个时，所述卡齿6的数量可以为一个或至少两个，反之亦然。请参阅图7至图10，显示为晶圆盒组合时卡槽4与卡齿5在不同情况下的配合情况。其中，图7显示为卡槽、卡齿的数量均为一个且相互配合时的示意图，图8显示卡槽数量为一个、卡齿数量为至少两个且与卡槽相互配合时的示意图，图9显示为卡槽数量为至少两个、卡齿数量为一个且与卡槽相互配合时的示意图，图10显示为卡槽、卡齿数量均为至少两个且相互配合时的示意图。对于图10所示的情形，所述卡齿6的位置可以不位于所述卡槽4的正中间，只要有相互重叠的区域能够实现卡住的作用即可。具体的，所述盒盖I与盒底2的横截面为多边形或圆形。本实施例中优选为多边形，具体的，为八边形。请参阅图11，，显示为本实用新型的组合式晶圆盒组合在一起且水平放置时的示意图。由于晶圆盒之间通过螺栓5与螺孔7的配合、卡槽4与卡齿6的配合，能够紧密的连接在一起，并且由于晶圆盒为多边形，晶圆盒组合后还可以竖直放置。请参阅图12，显示为本实用新型的组合式晶圆盒组合在一起且竖直放置时的示意图。在上述实施例中，所述第一连接件为螺栓，所述第二连接件为与所述螺栓相配合的螺孔。然而可以料想，所述第一连接件为螺孔，所述第二连接件为与所述螺孔相配合的螺栓时也能实现上述功能。换句话说，在其它实施例中，所述盒底上的第一连接件可以为螺孔，对应地，所述盒盖上的第二连接件与所述螺孔相配合的螺栓。需要指出的是，所述第一、第二连接件并不限于上述螺栓与螺孔、或螺孔与螺栓的连接方式，也可以为其它可实现紧固作用的连接方式，如卡固连接。使用本实用新型的组合式晶圆盒，能够在生产批次的晶圆片数较少时，将多个装有单片晶圆的晶圆盒组合起来一起包装。由于晶圆盒盒盖与盒底都设有连接装置以及卡齿或卡槽，各个晶圆盒之间能够实现牢固连接，放置方向不受限制，如平放或竖直放置均可，在运输过程中也不容易损坏，并且多个晶圆盒一起包装能够有效节约包装成本。实施例二本实施例与实施例一采取基本相同的方案，不同之处在于二者的卡槽与卡齿的设置不同。在实施例一中，所述卡槽设置于盒底下表面，所述卡齿设置于盒盖上表面，而在本实施例中，所述卡槽设置于盒盖上表面，所述卡齿设置于盒底下表面。请参阅图13及图14，其中，图13显示为本实用新型的组合式晶圆盒为盒盖设有卡槽时的示意图，图14显示为本实用新型的组合式晶圆盒为盒底设有卡齿时的示意图。如实施例一中所述，卡槽与卡齿的数量亦可为单个或多个的情况，其位置关系请参照实施例一，此处不再赘述。所述盒盖上表面设有第一连接件，所述盒底下表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件，组合晶圆盒时，晶圆盒之间通过所述第一、第二连接件的配合实现固定连接。所述第一、第二连接件为螺栓与螺孔、或螺孔与螺栓的搭配，也可为其它可实现紧固作用的连接方式，如卡固连接。[0060]综上所述，本实用新型的组合式晶圆盒盒盖与盒底都设有连接装置以及卡齿或卡槽，晶圆盒之间能够实现牢固连接的组合。当生产批次的晶圆片数较少时，能够将多个装有单片晶圆的晶圆盒组合起来一起包装，能够有效节约包装成本，并且由于各个晶圆盒之间能够实现牢固连接，其放置方向可不受限制，如可为平放或竖放，在运输过程中也不容易损坏，减少了不必要的浪费。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
权利要求1.一种组合式晶圆盒，其特征在于，所述组合式晶圆盒至少包括:一盒盖以及与该盒盖配合连接形成收容腔的盒底；所述盒底下表面设有第一连接件以及至少一个卡槽，所述盒盖上表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽相配合的至少一个卡齿；或者所述盒盖上表面设第一连接件以及至少一个卡槽，所述盒底下表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽相配合的至少一个卡齿。
2.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述卡槽的横截面为圆环。
3.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述卡槽的数量为至少两个，各该卡槽之间分隔开，但均位于同一个圆的圆周上。
4.根据权利要求2或3所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述卡齿的横截面为一圆环。
5.根据权利要求2或3所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述卡齿的数量为至少两个，各该卡齿为弧形，且弧度一致。
6.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述卡槽由两个垂直于所述盒底的侧墙形成。
7.根据权利要求6所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述两个侧墙顶端相向弯折设有相对的侧翼。
8.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述盒盖与盒底的横截面为多边形或圆形。
9.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于:所述第一连接件为螺栓，所述第二连接件为与所述螺栓相配合的螺孔；或者所述第一连接件为螺孔，所述第二连接件为与所述螺孔相配合的螺栓。
专利摘要本实用新型提供一种组合式晶圆盒，至少包括一盒盖以及与该盒盖配合连接形成收容腔的盒底；所述盒底下表面设有第一连接件以及至少一个卡槽，所述盒盖上表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽相配合的至少一个卡齿。使用本实用新型的组合式晶圆盒，能够在生产批次的晶圆片数较少时，将多个装有单片晶圆的晶圆盒组合起来一起包装。由于晶圆盒盒盖与盒底都设有连接装置以及卡齿或卡槽，各个晶圆盒之间能够实现牢固连接，放置方向不受限制，如平放或竖直放置均可，在运输过程中也不容易损坏，并且多个晶圆盒一起包装能够有效节约包装成本。
文档编号B65D85/86GK202953260SQ201220680740
公开日2013年5月29日 申请日期2012年12月11日 优先权日2012年12月11日
发明者张学良, 高海林 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司