基板传送装置制造方法
基板传送装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种基板传送装置。根据本发明的基板传送装置包括：入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道；基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道，所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道，在所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。
【专利说明】基板传送装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种基板传送装置，更详细而言，涉及一种配置为多种多样而能够有效地传送多个基板的基板传送装置。
【背景技术】
[0002]通常，零件装配装置是指执行在印刷电路基板等基板上装配集成电路、高密度集成电路、二极管、电容器、电阻等的电子零件(以下，称为“零件”)的工作的设备。
[0003]如上所述的零件装配装置包括:零件供应模块，供应装配在基板上的零件；基板传送模块，其用于传送基板以便能够装配从零件供应模块供应的零件；以及水平传送模块，在拾取从零件供应模块供应的零件后，为了将拾取的零件能够装配在基板上，将具备喷嘴主轴(nozzle spindle)的磁头组件朝X方向、Y方向移动以供应零件以便在事先设定的位置，即在零件拾取区域中拾取零件后，将拾取的零件能够装配于事先设定的位置的零件装配区域。
[0004]当为在输送机上传送基板的基板传送装置时，为了提高在电路基板安装零件的速度，选择在两排输送机上朝前后配置两个安装设备的构造。如上所述的基板传送装置包括供应基板的输送机、使所供应的基板移动而接近磁头组件的输送机、以及将完成装配的基板进行卸载的输送机。
[0005]如图1所示，揭示了具有两排输送机构造的基板传送装置。在基板传送装置的中央部配置有两排输送机3a、3b，在各输送机3a、3b分别邻接配置包括磁头组件的装配模块4a、4b。而且，进行在基板P2、P3的规定位置装配所需零件D的操作，所述基板被支撑于两排输送机3a、3b。
[0006]此时,如图所不,在两排输送机3a、3b中空的输送机中需要能够分配电路基板的穿梭输送机1、2，并需要将完成装配等规定操作的电路基板传送到下一工序的穿梭输送机
5、6。
[0007]如上所述，除两排输送机之外进一步设置穿梭输送机时，装置的幅度(左右长度)会变长，在装置的内部设置穿梭输送机时，装配零件的两排输送机的道长会变短，因此，装配效率及传送效率可能会降低。
【发明内容】
[0008]本发明鉴于如上所述点，本发明所要解决的问题是，提供一种通过一个构造能够同时执行传送功能及穿梭分配功能的基板传送装置。
[0009]本发明所要解决的其他问题是，提供一种快速传送多个基板，而能够提高空间有效性的基板传送装置。
[0010]本发明所要解决的问题并不局限于如上所述的问题，对于尚未提及的其他问题本领域的技术人员通过以下记载可以明确理解。
[0011]为解决所述问题的根据本发明的一个实施例的基板传送装置包括:入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道；基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道，所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道，所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。
[0012]本发明的其他具体事项包含于详细说明及图面中。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是示出具有通常的两排输送机构造的基板传送装置的图面。
[0014]图2是示出根据本发明的一个实施例的基板传送装置的图面。
[0015]图3及图4是示出构成图2的基板传送装置的入口输送机的构造的图面。
[0016]图5是示出构成图2的基板传送装置的基板处理部的构造的图面。
[0017]图6及图7是示出构成图2的基板传送装置的出口输送机的构造的图面。
[0018]图8至图10是说明图2的基板传送装置被设定为互不相同的模式而传送基板的过程的图面。
[0019]图11是示出根据本发明的其他实施例的基板传送装置的图面。
[0020]图中:
[0021]100:入口输送机，200:基板处理部，300:出口输送机【具体实施方式】
[0022]本发明的优点、特征以及达成目的的方法可通过附图和详细说明能够明确。但是，本发明并不限定于以下实施例而能够体现为各种形态，本实施例只是使本发明更加完整，是为了向本领域的技术人员提供本发明的范畴而提出的，本发明仅通过权利要求范围而定。在图中，层及领域的大小及相对大小是为了明确说明而放大显示。
[0023]在本说明书中，没有特别提及的情况下，单数型还包括多数型。在说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“构成(made of)”不排除所提及的构成要素、步骤、动作及/或元件为一个以上的其他的构成要素、步骤、动作及/或元件的存在或增加。
[0024]如图所示，为了容易说明构成要素相互间的相关关系，能够使用空间相对术语“下(below)”、“下(beneath)，，、“下部(lower)”、“上(above)”、“上部(upper)”。在说明书整体中，相同的参照符号代表相同的构成要素。
[0025]例如，当相同的构成要素具备多个时，在相同的数字的末尾并列记入罗马字母。
[0026]以下，参照图2至图7说明根据本发明的一个实施例的基板传送装置。图2是示出根据本发明的一个实施例的基板传送装置的图面，图3及图4是示出构成图2的基板传送装置的入口输送机的构造的图面，图5是示出构成图2的基板传送装置的基板处理部的构造的图面，图6及图7是示出构成图2的基板传送装置的出口输送机的构造的图面。
[0027]根据本发明的一个实施例的基板传送装置，其包括入口输送机100、基板处理部200以及出口输送机300。
[0028]如图2所示，入口输送机100起容纳从外部供应的基板P并将所述基板传递至基板处理部200的作用，在所示例中虽示出了两排输送机构造，但并不限定于此，能够具有并列两排以上输送机的构造。
[0029]基板处理部200从入口输送机100供应得到基板P而进行规定的操作。本发明并不限定于在基板P上装配零件的工作，可以进行蚀刻、清洗等各种工作。以下，为了方便说明而说明了在基板处理部200在基板P上装配零件的例，但这并不用于限制权利范围。
[0030]出口输送机300起从基板处理部200供应得到完成规定工作的基板P并传送到外部以进行下一工序的作用。如上所述，虽示出了两排输送机的构造，但并不限定于此，可以具有并列两排以上的输送机的构造。
[0031 ] 参照图3及图4详细说明入口输送机100的构造。
[0032]入口输送机100可包括支撑基板并沿第一方向(图中为右侧)传送基板的第一道110及第二道120。如图所示，各道110、120由两个传送轨道构成，传送轨道可分别独立地朝与第一方向垂直的第二方向(图中为上下方向)进行变位。
[0033]具体而言，第一道110的一对传送轨道IlOaUlOb连接于第一导向构件111，能够通过马达等驱动单元(省略图示)沿第二方向进行往复移动。设置于第一道110的一对传送轨道IlOaUlOb能够互相独立地进行变位，能够在第一导向构件111的长度范围内进行移动。
[0034]在多个实施例中，第一道110的一侧传送轨道I IOa可固定于第一导向构件111的一个端部而不移动，能够使整体入口输送机100保持规定的幅度。
[0035]如图4所示，第一道110的一侧传送轨道IIOa可连接于第二导向构件112，另一侧传送轨道IlOb可不连接于第二导向构件112。第二导向构件112能够控制构成第一道110的最外围的一侧传送轨道IlOa和基板处理部200的排列状态。
[0036]如图2所示，在初期状态下，一侧传送轨道IlOa保持与基板处理部200的端部并排的状态，然后一侧传送轨道IlOa沿第二导向构件112朝图中的上部移动时，会位于基板处理部200的外侧范围，另一侧传送轨道IlOb的上下移动范围的幅度变宽到一侧传送轨道IlOa移动的距离为止。
[0037]如下所述，第一道110的两个传送轨道110a、IIOb可以构成传送基板的穿梭单元，还能使构成第一道110和第二道120的传送轨道中相邻接的一对传送轨道110b、120a构成穿梭单元，此时，为了使穿梭单元能够往复移动在基板处理部200的第一基板处理输送机210和第二基板处理输送机220之间的同时，两端部的传送轨道110a、120b分别沿第二导向构件112和第四导向构件122 (下面将描述)朝外侧移动以增加两端部的传送轨道110a、120b间的幅度，从而能够供应基板。由此，能够预防穿梭单元与其他传送轨道110a、120b发生冲突或受到妨碍的状况。
[0038]如上所述，构成第一道110的一侧传送轨道IlOa和另一侧传送轨道IlOb可通过第一导向构件111及第二导向构件112互相独立地自由变位及改变幅度，尤其，与第二导向构件112连接的一侧传送轨道IlOa通过规定的第一驱动部而被控制，从而能够控制入口输送机100的幅度。
[0039]第二道120也与第一道110相同由一对传送轨道120a、120b构成，并能够邻接设置于第一道110。第二道120的一对传送轨道120a、120b全部连接于第三导向构件121而可在图面上的上下方向移动，一侧传送轨道120b连接于第四导向构件122而在独立状态下可在图面上的上下方向移动。尤其，与第四导向构件122连接的传送轨道120b通过规定的第二驱动部而被控制，从而能够控制入口输送机100的幅度。
[0040]在其他的多个实施例中，入口输送机100除第一道110及第二道120之外还能进一步具备道，同时还能具有传送两个以上的基板的构造。
[0041]根据图5，基板处理部200包括第一基板处理输送机210及第二基板处理输送机220，在从入口输送机100传达的基板PU、P12进行规定工作。在所示例中，通过邻接形成于第一基板处理输送机210及第二基板处理输送机220的装配模块230a、230b在基板Pl1、P12的一面装配零件D。
[0042]基板处理部200可由两个以上的输送机构成，如上所述，除装配零件外还能进行其他的工作。
[0043]在基板处理部200完成规定的工作的基板P11、P12沿移动方向朝出口输送机300移动。
[0044]出口输送机300可与入口输送机100的构造相同，包括第三道310及第四道320，能够快速传送各种形态的基板。出口输送机300起朝外部传送完成工作的基板的作用，如下所述，当串联多个基板传送装置时，可重新通过邻接的基板传送装置的入口输送机供应基板(参照图11)。
[0045]以下，参照图8至图10详细说明在基板传送装置传送基板的过程。图8至图10是说明图2的基板传送装置设定为互相不同的模式而传送基板的过程的图面。
[0046]图8揭示了构成入口输送机100的第一道及第二道的传送轨道分别构成穿梭单元SUU SU2的一例。此时，第一穿梭单元SUl和第二穿梭单元SU2不在图面上的上下方向移动，而在保持相同的幅度的同时，用基板处理部200的输送机持续传送基板。
[0047]相反，在构成出口输送机300的第三道和第四道的传送轨道中，构成最外围的两个传送轨道分别随着导向构件朝互相离开的方向移动，其他的两个导轨可构成第三穿梭单元SU3。在图面中可以确认出口输送机300的上下方向的幅度宽于基板处理部200的幅度。第三穿梭单元SU3往复移动在基板处理部200的上部输送机或下部输送机的同时，供应得到基板而将基板排放到外部。
[0048]如图9所示，与图8所示的构成相反，在入口输送机100构成一个第四穿梭单元SU4而向基板处理部200选择性地供应基板，在出口输送机300第三道和第四道可分别构成第五穿梭单元SU5和第六穿梭单元SU6。
[0049]图10揭示了入口输送机100和出口输送机300整体构成一个穿梭单元SU7、SU8而供应及排放基板的结构。如上所述，此时为了确保穿梭单元SU7、SU8的移动范围，两端部的传送轨道可朝外侧移动以便分别通过导轨而具有比基板处理部200的幅度宽的范围。
[0050]S卩，入口输送机100和出口输送机300通过多个传送轨道及多个导向构件而自由变形，从而能够起通过双道(Dual Lane)原样传送基板的作用，还能进行通过一个穿梭机移动在道之间，同时供应或排放基板的功能。
[0051]以下，参照图11说明本发明的其他实施例。图11是示出根据本发明的其他实施例的基板传送装置的图面。
[0052]根据本实施例的基板传送装置具有串联两个以上的如上所述实施例的基板传送装置的构造。即，可构成为在基板进行规定的串联工序时，在第一基板传送模块1000进行第一工作，并在与第一基板传送模块1000连接的第二基板传送模块2000进行第二工作。[0053]如所不例，第一基板传送模块1000的入口输送机和第二基板传送模块2000的出口输送机构成一个以上的穿梭输送机，并没有限制，但是，相互连接的第一基板传送模块1000的出口输送机和第二基板传送模块2000的入口输送机能够具有相同的构造以便能够快速地传送相同的基板。
[0054]如上所述，根据本发明的各种实施例的基板传送装置，入口输送机和出口输送机的构造可根据需要多样改变，在保持现有双道输送机的构造的同时，无需其他的穿梭输送机而能够根据自身需要构成穿梭单元，因此，提高装置的空间活用度并能够简单构成串联工序。
[0055]以上，通过【专利附图】
【附图说明】了本发明的实施例，但应理解在不改变本发明的技术思想或必要特征的情况下本领域的技术人员能够进行其他的具体形态。因此，应理解以上所述的实施例在所有方面只是举例说明而已，并不用来限定本发明。
【权利要求】
1.一种基板传送装置，其中，所述基板传送装置包括: 入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道； 基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及 出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道， 所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道， 在所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。
2. 根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，包含于所述入口输送机的所述第一道的所述两个传送轨道构成第一传送单元，包含于所述第二道的所述两个传送轨道构成第二传送单元。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机的幅度与所述基板处理部的幅度相同。
4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，包含于所述出口输送机的所述第三道的所述两个传送轨道构成第三传送单元，包含于所述第四道的所述两个传送轨道构成第四传送单元。
5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机的幅度与所述基板处理部的幅度相同。
6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述基板处理部包括，第一基板处理输送机，其设置于与所述第一道及第三道对应的位置；第二基板处理输送机，其设置于与所述第二道及第四道对应的位置。
7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其中，包含于所述入口输送机的所述第一道的第一传送轨道和与包含于所述第二道的所述第一传送轨道相邻接的第二传送轨道构成第一穿梭单元。
8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其中，所述第一穿梭单元移动在所述第一基板处理输送机或所述第二基板处理输送机之间，同时供应所述基板。
9.根据权利要求7所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机的幅度宽于所述基板处理部的幅度。
10.根据权利要求6所述的基板传送装置，其中，包含于所述出口输送机的所述第三道的第三传送轨道和与包含于所述第四道的所述第三传送轨道相邻接的第四传送轨道构成第二穿梭单元。
11.根据权利要求10所述的基板传送装置，其中，所述第二穿梭单元移动在所述第一基板处理输送机或所述第二基板处理输送机之间，同时传送得到所述基板。
12.根据权利要求10所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机的幅度宽于所述基板处理部的幅度。
13.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机进一步包括第一驱动部，其使配置在所述入口输送机的两侧最外围的所述传送轨道朝互相离开的方向移动，从而控制所述入口输送机的幅度。
14.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机进一步包括第二驱动部，其使配置在所述出口输送机的两侧最外围的所述传送轨道朝互相离开的方向移动，从而控制所述出口输送机的幅度 。
【文档编号】B65G49/05GK103482321SQ201310220383
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2013年6月5日 优先权日:2012年6月12日
【发明者】潘钟亿 申请人:三星泰科威株式会社
【专利摘要】本发明涉及一种基板传送装置。根据本发明的基板传送装置包括：入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道；基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道，所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道，在所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。
【专利说明】基板传送装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种基板传送装置，更详细而言，涉及一种配置为多种多样而能够有效地传送多个基板的基板传送装置。
【背景技术】
[0002]通常，零件装配装置是指执行在印刷电路基板等基板上装配集成电路、高密度集成电路、二极管、电容器、电阻等的电子零件(以下，称为“零件”)的工作的设备。
[0003]如上所述的零件装配装置包括:零件供应模块，供应装配在基板上的零件；基板传送模块，其用于传送基板以便能够装配从零件供应模块供应的零件；以及水平传送模块，在拾取从零件供应模块供应的零件后，为了将拾取的零件能够装配在基板上，将具备喷嘴主轴(nozzle spindle)的磁头组件朝X方向、Y方向移动以供应零件以便在事先设定的位置，即在零件拾取区域中拾取零件后，将拾取的零件能够装配于事先设定的位置的零件装配区域。
[0004]当为在输送机上传送基板的基板传送装置时，为了提高在电路基板安装零件的速度，选择在两排输送机上朝前后配置两个安装设备的构造。如上所述的基板传送装置包括供应基板的输送机、使所供应的基板移动而接近磁头组件的输送机、以及将完成装配的基板进行卸载的输送机。
[0005]如图1所示，揭示了具有两排输送机构造的基板传送装置。在基板传送装置的中央部配置有两排输送机3a、3b，在各输送机3a、3b分别邻接配置包括磁头组件的装配模块4a、4b。而且，进行在基板P2、P3的规定位置装配所需零件D的操作，所述基板被支撑于两排输送机3a、3b。
[0006]此时,如图所不,在两排输送机3a、3b中空的输送机中需要能够分配电路基板的穿梭输送机1、2，并需要将完成装配等规定操作的电路基板传送到下一工序的穿梭输送机
5、6。
[0007]如上所述，除两排输送机之外进一步设置穿梭输送机时，装置的幅度(左右长度)会变长，在装置的内部设置穿梭输送机时，装配零件的两排输送机的道长会变短，因此，装配效率及传送效率可能会降低。
【发明内容】
[0008]本发明鉴于如上所述点，本发明所要解决的问题是，提供一种通过一个构造能够同时执行传送功能及穿梭分配功能的基板传送装置。
[0009]本发明所要解决的其他问题是，提供一种快速传送多个基板，而能够提高空间有效性的基板传送装置。
[0010]本发明所要解决的问题并不局限于如上所述的问题，对于尚未提及的其他问题本领域的技术人员通过以下记载可以明确理解。
[0011]为解决所述问题的根据本发明的一个实施例的基板传送装置包括:入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道；基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道，所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道，所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。
[0012]本发明的其他具体事项包含于详细说明及图面中。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是示出具有通常的两排输送机构造的基板传送装置的图面。
[0014]图2是示出根据本发明的一个实施例的基板传送装置的图面。
[0015]图3及图4是示出构成图2的基板传送装置的入口输送机的构造的图面。
[0016]图5是示出构成图2的基板传送装置的基板处理部的构造的图面。
[0017]图6及图7是示出构成图2的基板传送装置的出口输送机的构造的图面。
[0018]图8至图10是说明图2的基板传送装置被设定为互不相同的模式而传送基板的过程的图面。
[0019]图11是示出根据本发明的其他实施例的基板传送装置的图面。
[0020]图中:
[0021]100:入口输送机，200:基板处理部，300:出口输送机【具体实施方式】
[0022]本发明的优点、特征以及达成目的的方法可通过附图和详细说明能够明确。但是，本发明并不限定于以下实施例而能够体现为各种形态，本实施例只是使本发明更加完整，是为了向本领域的技术人员提供本发明的范畴而提出的，本发明仅通过权利要求范围而定。在图中，层及领域的大小及相对大小是为了明确说明而放大显示。
[0023]在本说明书中，没有特别提及的情况下，单数型还包括多数型。在说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“构成(made of)”不排除所提及的构成要素、步骤、动作及/或元件为一个以上的其他的构成要素、步骤、动作及/或元件的存在或增加。
[0024]如图所示，为了容易说明构成要素相互间的相关关系，能够使用空间相对术语“下(below)”、“下(beneath)，，、“下部(lower)”、“上(above)”、“上部(upper)”。在说明书整体中，相同的参照符号代表相同的构成要素。
[0025]例如，当相同的构成要素具备多个时，在相同的数字的末尾并列记入罗马字母。
[0026]以下，参照图2至图7说明根据本发明的一个实施例的基板传送装置。图2是示出根据本发明的一个实施例的基板传送装置的图面，图3及图4是示出构成图2的基板传送装置的入口输送机的构造的图面，图5是示出构成图2的基板传送装置的基板处理部的构造的图面，图6及图7是示出构成图2的基板传送装置的出口输送机的构造的图面。
[0027]根据本发明的一个实施例的基板传送装置，其包括入口输送机100、基板处理部200以及出口输送机300。
[0028]如图2所示，入口输送机100起容纳从外部供应的基板P并将所述基板传递至基板处理部200的作用，在所示例中虽示出了两排输送机构造，但并不限定于此，能够具有并列两排以上输送机的构造。
[0029]基板处理部200从入口输送机100供应得到基板P而进行规定的操作。本发明并不限定于在基板P上装配零件的工作，可以进行蚀刻、清洗等各种工作。以下，为了方便说明而说明了在基板处理部200在基板P上装配零件的例，但这并不用于限制权利范围。
[0030]出口输送机300起从基板处理部200供应得到完成规定工作的基板P并传送到外部以进行下一工序的作用。如上所述，虽示出了两排输送机的构造，但并不限定于此，可以具有并列两排以上的输送机的构造。
[0031 ] 参照图3及图4详细说明入口输送机100的构造。
[0032]入口输送机100可包括支撑基板并沿第一方向(图中为右侧)传送基板的第一道110及第二道120。如图所示，各道110、120由两个传送轨道构成，传送轨道可分别独立地朝与第一方向垂直的第二方向(图中为上下方向)进行变位。
[0033]具体而言，第一道110的一对传送轨道IlOaUlOb连接于第一导向构件111，能够通过马达等驱动单元(省略图示)沿第二方向进行往复移动。设置于第一道110的一对传送轨道IlOaUlOb能够互相独立地进行变位，能够在第一导向构件111的长度范围内进行移动。
[0034]在多个实施例中，第一道110的一侧传送轨道I IOa可固定于第一导向构件111的一个端部而不移动，能够使整体入口输送机100保持规定的幅度。
[0035]如图4所示，第一道110的一侧传送轨道IIOa可连接于第二导向构件112，另一侧传送轨道IlOb可不连接于第二导向构件112。第二导向构件112能够控制构成第一道110的最外围的一侧传送轨道IlOa和基板处理部200的排列状态。
[0036]如图2所示，在初期状态下，一侧传送轨道IlOa保持与基板处理部200的端部并排的状态，然后一侧传送轨道IlOa沿第二导向构件112朝图中的上部移动时，会位于基板处理部200的外侧范围，另一侧传送轨道IlOb的上下移动范围的幅度变宽到一侧传送轨道IlOa移动的距离为止。
[0037]如下所述，第一道110的两个传送轨道110a、IIOb可以构成传送基板的穿梭单元，还能使构成第一道110和第二道120的传送轨道中相邻接的一对传送轨道110b、120a构成穿梭单元，此时，为了使穿梭单元能够往复移动在基板处理部200的第一基板处理输送机210和第二基板处理输送机220之间的同时，两端部的传送轨道110a、120b分别沿第二导向构件112和第四导向构件122 (下面将描述)朝外侧移动以增加两端部的传送轨道110a、120b间的幅度，从而能够供应基板。由此，能够预防穿梭单元与其他传送轨道110a、120b发生冲突或受到妨碍的状况。
[0038]如上所述，构成第一道110的一侧传送轨道IlOa和另一侧传送轨道IlOb可通过第一导向构件111及第二导向构件112互相独立地自由变位及改变幅度，尤其，与第二导向构件112连接的一侧传送轨道IlOa通过规定的第一驱动部而被控制，从而能够控制入口输送机100的幅度。
[0039]第二道120也与第一道110相同由一对传送轨道120a、120b构成，并能够邻接设置于第一道110。第二道120的一对传送轨道120a、120b全部连接于第三导向构件121而可在图面上的上下方向移动，一侧传送轨道120b连接于第四导向构件122而在独立状态下可在图面上的上下方向移动。尤其，与第四导向构件122连接的传送轨道120b通过规定的第二驱动部而被控制，从而能够控制入口输送机100的幅度。
[0040]在其他的多个实施例中，入口输送机100除第一道110及第二道120之外还能进一步具备道，同时还能具有传送两个以上的基板的构造。
[0041]根据图5，基板处理部200包括第一基板处理输送机210及第二基板处理输送机220，在从入口输送机100传达的基板PU、P12进行规定工作。在所示例中，通过邻接形成于第一基板处理输送机210及第二基板处理输送机220的装配模块230a、230b在基板Pl1、P12的一面装配零件D。
[0042]基板处理部200可由两个以上的输送机构成，如上所述，除装配零件外还能进行其他的工作。
[0043]在基板处理部200完成规定的工作的基板P11、P12沿移动方向朝出口输送机300移动。
[0044]出口输送机300可与入口输送机100的构造相同，包括第三道310及第四道320，能够快速传送各种形态的基板。出口输送机300起朝外部传送完成工作的基板的作用，如下所述，当串联多个基板传送装置时，可重新通过邻接的基板传送装置的入口输送机供应基板(参照图11)。
[0045]以下，参照图8至图10详细说明在基板传送装置传送基板的过程。图8至图10是说明图2的基板传送装置设定为互相不同的模式而传送基板的过程的图面。
[0046]图8揭示了构成入口输送机100的第一道及第二道的传送轨道分别构成穿梭单元SUU SU2的一例。此时，第一穿梭单元SUl和第二穿梭单元SU2不在图面上的上下方向移动，而在保持相同的幅度的同时，用基板处理部200的输送机持续传送基板。
[0047]相反，在构成出口输送机300的第三道和第四道的传送轨道中，构成最外围的两个传送轨道分别随着导向构件朝互相离开的方向移动，其他的两个导轨可构成第三穿梭单元SU3。在图面中可以确认出口输送机300的上下方向的幅度宽于基板处理部200的幅度。第三穿梭单元SU3往复移动在基板处理部200的上部输送机或下部输送机的同时，供应得到基板而将基板排放到外部。
[0048]如图9所示，与图8所示的构成相反，在入口输送机100构成一个第四穿梭单元SU4而向基板处理部200选择性地供应基板，在出口输送机300第三道和第四道可分别构成第五穿梭单元SU5和第六穿梭单元SU6。
[0049]图10揭示了入口输送机100和出口输送机300整体构成一个穿梭单元SU7、SU8而供应及排放基板的结构。如上所述，此时为了确保穿梭单元SU7、SU8的移动范围，两端部的传送轨道可朝外侧移动以便分别通过导轨而具有比基板处理部200的幅度宽的范围。
[0050]S卩，入口输送机100和出口输送机300通过多个传送轨道及多个导向构件而自由变形，从而能够起通过双道(Dual Lane)原样传送基板的作用，还能进行通过一个穿梭机移动在道之间，同时供应或排放基板的功能。
[0051]以下，参照图11说明本发明的其他实施例。图11是示出根据本发明的其他实施例的基板传送装置的图面。
[0052]根据本实施例的基板传送装置具有串联两个以上的如上所述实施例的基板传送装置的构造。即，可构成为在基板进行规定的串联工序时，在第一基板传送模块1000进行第一工作，并在与第一基板传送模块1000连接的第二基板传送模块2000进行第二工作。[0053]如所不例，第一基板传送模块1000的入口输送机和第二基板传送模块2000的出口输送机构成一个以上的穿梭输送机，并没有限制，但是，相互连接的第一基板传送模块1000的出口输送机和第二基板传送模块2000的入口输送机能够具有相同的构造以便能够快速地传送相同的基板。
[0054]如上所述，根据本发明的各种实施例的基板传送装置，入口输送机和出口输送机的构造可根据需要多样改变，在保持现有双道输送机的构造的同时，无需其他的穿梭输送机而能够根据自身需要构成穿梭单元，因此，提高装置的空间活用度并能够简单构成串联工序。
[0055]以上，通过【专利附图】
【附图说明】了本发明的实施例，但应理解在不改变本发明的技术思想或必要特征的情况下本领域的技术人员能够进行其他的具体形态。因此，应理解以上所述的实施例在所有方面只是举例说明而已，并不用来限定本发明。
【权利要求】
1.一种基板传送装置，其中，所述基板传送装置包括: 入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道； 基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及 出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道， 所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道， 在所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。
2. 根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，包含于所述入口输送机的所述第一道的所述两个传送轨道构成第一传送单元，包含于所述第二道的所述两个传送轨道构成第二传送单元。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机的幅度与所述基板处理部的幅度相同。
4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，包含于所述出口输送机的所述第三道的所述两个传送轨道构成第三传送单元，包含于所述第四道的所述两个传送轨道构成第四传送单元。
5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机的幅度与所述基板处理部的幅度相同。
6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述基板处理部包括，第一基板处理输送机，其设置于与所述第一道及第三道对应的位置；第二基板处理输送机，其设置于与所述第二道及第四道对应的位置。
7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其中，包含于所述入口输送机的所述第一道的第一传送轨道和与包含于所述第二道的所述第一传送轨道相邻接的第二传送轨道构成第一穿梭单元。
8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其中，所述第一穿梭单元移动在所述第一基板处理输送机或所述第二基板处理输送机之间，同时供应所述基板。
9.根据权利要求7所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机的幅度宽于所述基板处理部的幅度。
10.根据权利要求6所述的基板传送装置，其中，包含于所述出口输送机的所述第三道的第三传送轨道和与包含于所述第四道的所述第三传送轨道相邻接的第四传送轨道构成第二穿梭单元。
11.根据权利要求10所述的基板传送装置，其中，所述第二穿梭单元移动在所述第一基板处理输送机或所述第二基板处理输送机之间，同时传送得到所述基板。
12.根据权利要求10所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机的幅度宽于所述基板处理部的幅度。
13.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述入口输送机进一步包括第一驱动部，其使配置在所述入口输送机的两侧最外围的所述传送轨道朝互相离开的方向移动，从而控制所述入口输送机的幅度。
14.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述出口输送机进一步包括第二驱动部，其使配置在所述出口输送机的两侧最外围的所述传送轨道朝互相离开的方向移动，从而控制所述出口输送机的幅度 。
【文档编号】B65G49/05GK103482321SQ201310220383
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2013年6月5日 优先权日:2012年6月12日
【发明者】潘钟亿 申请人:三星泰科威株式会社
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