一种传送装置的制作方法

本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种传送装置。

背景技术：

玻璃基板是一种表面极其平整的薄玻璃片，是平板显示(FlatPanel display,FPD)产业的关键基础材料之一，通常作为载体，用于制造TFT(英文：Thin Film Transistor，中文：薄膜晶体管)等。

在生产过程中，玻璃基板通常都是放置在传送线上，通过传送线送往各个不同的设备进行加工。传送玻璃基板的传送线与通常的传送带不同，玻璃基板的传送线包括在传送方向上间隔平行排列的多根转轴，在每根转轴上间隔套装有多个滚轮，在进行玻璃基板的传送时，玻璃基板放置在多根转轴的滚轮上，玻璃基板的板面与滚轮的边缘接触，通过驱动滚轮转动，利用滚轮与玻璃基板之间的摩擦力将玻璃基板沿着传送线进行传送。

在玻璃基板被送入设备之前，需要对玻璃基板进行对位，将玻璃基板摆正，例如在传送长方形的玻璃基板时，通过对位使玻璃基板的长度方向与传送方向平行，且调整玻璃基板在垂直于传送方向上的位置，使玻璃基板对准设备的入口。玻璃基板的对位通常采用对位夹进行，对位夹成对设置在传送线的两侧，对位夹可以沿平行于转轴轴线的方向伸出，通过伸出对位夹推动玻璃基板，使玻璃基板在传送线上垂直于传送方向滑动，从而实现对玻璃基板的对位。但是在现有的传送线中，由于对位夹推动玻璃基板侧向滑动时，滚轮会对玻璃基板产生较大的摩擦力，因此对位夹需要产生较大的推力才能推动玻璃基板，而玻璃基板比较脆弱，在对位夹推动玻璃基板的过程中可能出现玻璃基板的破损，玻璃基板的破损不仅会造成大量玻璃基板的报废，同时还可能需要停机进行碎片清理，降低了生产效率。

技术实现要素：

为了解决对玻璃基板进行对位时，玻璃基板容易破损的问题，本发明实施例提供了一种传送装置。所述技术方案如下：

本发明实施例提供了一种传送装置，所述传送装置包括至少一个转动件和用于承载待传送件的至少一组传送轮，所述传送轮安装在所述转动件上，所述转动件用于带动所述传送轮转动，每组所述传送轮包括多个滚轮，每组所述传送轮中的多个滚轮以所述转动件的转动轴线为中心圆周阵列分布，每组所述传送轮中的多个滚轮均可转动地安装在所述转动件上，且每组所述传送轮中的多个滚轮的转动轴线与所述转动件的转动轴线位于不同的平面。

优选地，每个所述滚轮的中心面和所述转动件的转动轴线位于同一平面，所述滚轮的中心面与所述滚轮的转动轴线垂直且所述滚轮关于所述中心面对称。

进一步地，所述转动件上设置有以所述转动件的转动轴线为中心径向向外延伸的多根安装杆，所述多根安装杆位于同一平面，且所述多根安装杆以所述转动件的转动轴线为中心等角度圆周阵列排布，任意两根相邻的安装杆之间设有一个所述滚轮。

优选地，每个所述安装杆的一端均与所述转动件连接，每个所述安装杆的另一端均设置有反向延伸的两根支撑轴，所有的所述支撑轴均位于同一平面内，所述滚轮设置在相邻两根所述安装杆之间的两根所述支撑轴上。

可选地，所述滚轮与对应的所述支撑轴通过轴承连接。

优选地，所述安装杆与所述转动件可拆卸连接。

进一步地，所述转动件为安装轴套或转轴。

可选地，当所述转动件为安装轴套时，所述传送装置还包括至少一根驱动轴，每根所述驱动轴上均同轴套设有至少一个所述安装轴套。

可选地，当所述转动件为转轴时，所述转轴上设置有多组所述滚轮，多组所述滚轮沿所述转轴的长度方向间隔布置。

可选地，所述滚轮呈纺锤型。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：通过在转动件上设置至少一组传送轮，每组传送轮包括多个滚轮，由于多个滚轮以转动件的转动轴线为中心线，围绕转动件呈圆周布置，因此在进行传送时，玻璃基板可以支撑在滚轮上，多个滚轮绕转动件的中心线公转，可以将玻璃基板沿传送线的方向传送。由于滚轮的转动轴线与转动件的中心线位于不同的平面上，因此推动玻璃基板在垂直于传送线方向上移动时，滚轮可以绕滚轮的转动轴线自转，从而可以使用更小的推力推动玻璃基板在传送线上垂直于传送方向滑动，减小了滚轮与玻璃基板之间的摩擦力，从而可以降低玻璃基板破损的可能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种传送装置的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种传送装置的正视图；

图3是本发明实施例提供的一种安装轴套的侧视图；

图4是本发明实施例提供的一种传送装置的分解示意图；

图5是本发明实施例提供的一种滚轮的剖面图；

图6是本发明实施例提供的一种转动杆的布局示意图；

图7是本发明实施例提供的一种安装杆的局部结构示意图；

图8是本发明实施例提供的另一种传送装置的结构示意图；

图9是本发明实施例提供的另一种传送装置的结构示意图；

图10是图9的局部放大示意图；

图11是本发明实施例提供的一种传送装置的投影示意图；

图12是本发明实施例提供的一种传送装置的工作状态示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

图1是本发明实施例提供的一种传送装置的结构示意图，图2是本发明实施例提供的一种传送装置的正视图。结合图1和图2，该传送装置包括至少一个转动件10和用于承载待传送件的至少一组传送轮，传送轮安装在转动件上，转动件10用于带动传送轮转动，每组传送轮包括多个滚轮20，每组传送轮中的多个滚轮20以转动件10的转动轴线为中心圆周阵列分布，每组传送轮中的多个滚轮20均可转动地安装在转动件10上，且每组传送轮中的多个滚轮20的转动轴线(如图2中的虚线)与转动件10的转动轴线位于不同的平面。

其中，多个滚轮20圆周阵列分布指多个滚轮20围绕中心呈圆周分布，并且，每个滚轮20的大小和形状均相同，各个滚轮20的转动轴线与转动件10的转动轴线之间的相对位置关系均相同，从而将任一滚轮20绕转动件10的转动轴线旋转一定角度时，均能够与另一滚轮20完全重合。

本发明实施例通过在转动件上设置至少一组传送轮，每组传送轮包括多个滚轮，由于多个滚轮以转动件的转动轴线为中心线，围绕转动件呈圆周布置，因此在进行传送时，玻璃基板可以支撑在滚轮上，多个滚轮绕转动件的中心线公转，可以将待传送件(如玻璃基板)沿传送线的方向传送。由于滚轮的转动轴线与转动件的中心线位于不同的平面上，因此推动玻璃基板在垂直于传送线方向上移动时，滚轮可以绕滚轮的转动轴线自转，从而可以使用更小的推力推动玻璃基板在传送线上垂直于传送方向滑动，减小了滚轮与玻璃基板之间的摩擦力，从而可以降低玻璃基板破损的可能。

需要说明的是，在图1和图2所示实施例中，转动件10上设置有一组传送轮，在其他实施例中，转动件10上可以沿其轴线方向间隔设置多组传送轮，例如，两组、三组等。

可选地，转动件10可以为安装轴套或转轴。通过将转动件10设置为安装轴套，从而可以使安装轴套和设置在安装轴套上的滚轮20构成一个组件，方便将多个组件同轴设置以进行玻璃基板的传送，在单个组件损坏时，可以对损坏的组件进行更换，维护方便。通过在转轴上设置滚轮20，可以简化传送装置的结构并减小其体积。

在图1和图2所示的传送装置中，转动件10为安装轴套。如图1或图2所示，安装轴套的内壁上设置有键槽11，以便于在应用时对安装轴套进行安装。

图2中的双向箭头20a表示该滚轮20的中心面。优选地，每个滚轮20的中心面和转动件10的转动轴线可以位于同一平面，滚轮20的中心面与滚轮20的转动轴线垂直且滚轮20关于中心面对称。这样可以使得在推动玻璃基板侧向移动时，玻璃基板可以更好的与滚轮20的边缘接触，利于滚轮的转动。

需要说明的是，滚轮20的中心面是指滚轮20的轮缘上，直径最大的截面所在的平面。

在其他实施例中，每个滚轮20的中心面和转动件10的转动轴线也可以呈锐角，即滚轮20的中心面与传送方向不垂直。

如图2所示，转动件10上可以设置有以转动件10的转动轴线为中心径向向外延伸的多根安装杆30，多根安装杆30位于同一平面，多根安装杆30以转动件10的转动轴线为中心等角度圆周阵列排布，任意两根相邻的安装杆30之间设有一个滚轮20。通过设置安装杆30以便于滚轮20的安装。同时可以使滚轮20的分布更加均匀，使玻璃基板的传送更加平稳。

优选地，安装杆30可以与转动件10可拆卸连接。从而可以便于对安装杆30或滚轮20进行维修和替换。

图3是本发明实施例提供的一种安装轴套的侧视图，如图3所示，安装轴套上可以设置有多个插孔12，安装杆30的一端可以插装在插孔12中。在其他实施例中安装杆30与插孔12可以通过螺纹连接。

优选地，多个插孔12绕安装轴套的轴线等角度间隔设置，这样可以使滚轮20的分布更加均匀。

可选地，插孔12的数量可以为8～14个，若插孔12的数量太少则会使得滚轮20之间的间距过大，导致玻璃基板的传送不平稳，玻璃基板较容易出现破损，若插孔12的数量太多，则会增加滚轮20安装的难度。

图4是本发明实施例提供的一种传送装置的分解示意图。如图4所示，每个安装杆30的一端均可以与转动件10连接，每个安装杆30的另一端均设置有反向延伸的两根支撑轴31，且所有的支撑轴31均位于同一平面内，滚轮20设置在相邻两根安装杆30之间的两根支撑轴31上。通过相邻两根安装杆30之间的两根支撑轴31安装滚轮20，便于滚轮20的安装，同时通过两根支撑轴31支撑一个滚轮20可以使滚轮20的转动更加平稳。

每个安装杆30和连接在安装杆30上的两根支撑轴31位于同一平面上，且两根支撑轴31与安装杆30之间的夹角均为锐角，这样可以使滚轮20安装得更加牢固，避免滚轮20脱落。

进一步地，安装杆30和连接在安装杆30上的支撑轴31之间的夹角与相邻两个安装杆30之间的夹角的一半互余，这样可以使安装杆30安装到转动件10上后，相邻两个安装杆30之间的两根支撑轴31位于同一直线上，可以便于滚轮20的安装。

优选地，滚轮20与对应的支撑轴31可以通过轴承33连接。可以便于滚轮20的转动，进一步降低摩擦力。

图5是本发明实施例提供的一种滚轮的剖面图。如图5所示，滚轮20的两侧分别设置有凹槽21，轴承33可以设置在凹槽21中，轴承33的外圈与凹槽21过盈配合，轴承33的内圈与支撑轴31过盈配合。

在本发明实施例的另一种实现方式中，滚轮20上可以设置有沿滚轮20的转动轴线延伸的通孔22，传送装置还可以包括转动杆32，转动杆32插设在通孔22中，转动杆32的两端分别与轴承21的内圈过盈配合，转动杆32的两端还分别与支撑轴31连接，通过设置转动杆32可以便于滚轮20与支撑轴31的连接。

图6是本发明实施例提供的一种转动杆的布局示意图。如图6所示，转动杆32的两端端面上均设置有连接凹槽32a，支撑轴31可以插装在连接凹槽32a中。通过设置连接凹槽32a可以便于支撑轴31与转动杆32的连接。

图7是本发明实施例提供的一种安装杆的局部结构示意图。如图7所示，支撑轴31可以呈锥型，且支撑轴31的靠近安装杆30的一端的直径大于支撑轴31的远离安装杆30的一端的直径，连接凹槽32a也可以呈锥形(如图6所示)，且连接凹槽32a的槽底的直径小于连接凹槽32a的开口处的直径，这样可以便于支撑轴31插入到连接凹槽32a中。

可选地，滚轮20可以呈球型、圆盘型或是纺锤型。优选地，滚轮20呈纺锤型，纺锤型的滚轮20与玻璃基板接触的面积更大，有利于玻璃基板沿传送线的方向的传送。

容易想到的是，滚轮20的数量应尽量多，相邻两滚轮20之间的间隙尽量小，这样可以使玻璃基板的传送更加平稳，降低玻璃基板破损的可能。

可选地，滚轮20的数量可以为8～14个，若滚轮20的数量太少则会使得玻璃基板的传送不平稳，玻璃基板较容易出现破损，若滚轮20的数量太多则会增加滚轮20安装的难度。

图8是本发明实施例提供的另一种传送装置的结构示意图，图8所示的传送装置与图1所示的传送装置的区别在于转动件的结构不同。如图8所示，传送装置的转动件10可以呈圆盘型，圆盘型的转动件10的边缘上可以周向布置多个缺口101，每个缺口101中均设置有一个滚轮20，滚轮20的轮缘伸出圆盘型的转动件10的圆周壁，每个缺口101中可以设置用于安装滚轮20的支撑轴102，支撑轴102的轴线方向与滚轮20的转动轴线重合，滚轮20与支撑轴102转动连接。相比于图1所示的传送装置，图8中所示的传送装置具有更大的机械强度，且滚轮20的安装更加牢固，不容易损坏。

容易想到的是，圆盘型的转动件10上也可以设置用于与驱动轴连接的轴孔103和键槽104。

图9是本发明实施例提供的另一种传送装置的结构示意图，图10是图9的局部放大示意图。图9所示的传送装置与图1所示的传送装置的区别在于，图9所示的传送装置中，转动件10为转轴。

如图9所示，转动件10上可以设置有多组传送轮，多组传送轮沿转动件10的长度方向间隔布置。通过设置多组传送轮，由多组传送轮共同支撑玻璃基板，使玻璃基板的传送更加平稳。

图11是本发明实施例提供的一种传送装置的投影示意图，图11中略去了安装杆30的投影，图中的虚线表示一组或多组传送轮的正投影，实线表示一组或多组传送轮的正投影。如图11所示，同一转轴上的第一部分传送轮在垂直于转动件10的轴线的平面上的正投影重合，同一转轴上的第二部分传送轮在垂直于转动件10的轴线的平面上的正投影重合，且这两部分传送轮的正投影不重合，其中，第一部分传送轮指的是多组传送轮中的若干组传送轮，第二部分传送轮指的是多组传送轮中与第一部分传送轮不同的若干组传送轮，第一部分传送轮与第二部分传送轮的组数之和小于或等于同一转轴上的传送轮的总组数。这样可以使得同一转动件10上的所有组传送轮中，不会出现每一组传送轮中同时有一个滚轮20的中心面与玻璃基板垂直的情况，可以降低玻璃基板在传送过程中的颠簸。

在本实施例中，相邻两组传送轮中，一组传送轮中的任意一个滚轮20在垂直于转动件10轴线的平面上的正投影位于另一组传送轮中的相邻的两个滚轮20在垂直于转动件10的轴线的平面上的正投影之间，每间隔1组传送轮设置的两组传送轮在垂直于转动件10的轴线的平面上的正投影重合。

在其他实施例中，也可以采用其他的设置方式，例如每间隔1组传送轮设置的两组传送轮中，一组传送轮中的任意一个滚轮在垂直于转动件10轴线的平面上的正投影位于另一组传送轮中的相邻的两个滚轮在垂直于转动件10轴线的平面上的正投影之间，相邻两组传送轮在垂直于转动件10轴线的平面上的正投影重合。又例如，所有组的传送轮在垂直于转动件10轴线的平面上的正投影均重合。

图12是本发明实施例提供的一种传送装置的工作状态示意图，图12示出了图1所示的传送装置的工作状态。如图12所示，当转动件10为安装轴套时，传送装置还可以包括至少一根驱动轴41，每根驱动轴41上均同轴套设有至少一个安装轴套。从而可以通过驱动轴41驱动传送轮转动，以对玻璃基板43进行传送。优选地，驱动轴41上可以设置多个安装轴套，每个安装轴套上可以设置至少一组传送轮，多个安装轴套可以沿驱动轴41的轴线方向等间距设置。从而可以通过控制驱动轴41转动，进行玻璃基板的传送。

优选地，传送装置可以包括多根驱动轴41，多根驱动轴41平行间隔设置且位于同一平面。每根驱动轴41上均设置有多个安装轴套，玻璃基板43通过多组传送轮支撑，通过驱动轴41的转动，使玻璃基板沿着传送的方向(图12中单向箭头A所示的方向)移动。对位夹42可沿驱动轴41的轴向移动，从而推动玻璃基板沿垂直于传送的方向(图12中双向箭头B所示的方向)移动。

容易想到的是，套装在同一根驱动轴41上的每一组传送轮包括的滚轮数量相同。

图9所示的传送装置在使用时，可以将多根转轴平行间隔设置在同一平面，驱动转轴转动从而对衬底基板43进行传送。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。