一种基板传送装置的制作方法

文档序号:11677977阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板传送装置,其特征在于,包括:多个并排设置的传送滚轮,以及用于对各所述传送滚轮进行清洁的清洁部件。

2.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述基板传送装置包括一个所述清洁部件;所述清洁部件可拆卸的固定于各所述传送滚轮的下方。

3.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述基板传送装置包括分别与各所述传送滚轮一一对应的多个所述清洁部件。

4.如权利要求3所述的基板传送装置,其特征在于,各所述传送滚轮套设于固定轴上;

各所述清洁部件可拆卸的固定于对应的所述传送滚轮的固定轴上。

5.如权利要求2或3所述的基板传送装置,其特征在于,还包括:用于调节所述清洁部件与对应的所述传送滚轮的距离的距离调节部件。

6.如权利要求5所述的基板传送装置,其特征在于,所述清洁部件为刷子;

所述刷子在所述传送滚轮轴向上的长度大于或等于所述传送滚轮的长度。

7.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述清洁部件的材料为树脂。

8.如权利要求7所述的基板传送装置,其特征在于,所述清洁部件的材料为聚乙烯醇。

9.如权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述传送滚轮包括共轴设置且大小相同的多个传送子滚轮。

10.如权利要求9所述的基板传送装置,其特征在于,各所述传送滚轮包括的多个传送子滚轮等间距设置。

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