一种无接触基板抓取搬运装置的制作方法

本发明涉及搬运技术领域，更具体地说，它涉及一种无接触基板抓取搬运装置。

背景技术

在现代工业生产中，使用装卸装置对工件进行拾取和搬运的时候，会存在大量接触的情况。接触搬运装置通常会使工件表面划伤或者产生静电。由于接触搬运装置在搬运的过程中会对搬运产品产生不良影响，非接触搬运技术得以快速运用在高端硅片的搬运中。

现检索到公告号为cn102101296b，公告日为2015年5月13的中国专利，该方案公开了一种搬运装置，包括带有圆筒状内孔的罩体、位于罩体内的旋回扇叶以及带动旋回扇叶旋转的动力输入轴；所述罩体的顶端中心位置设置有动力输入轴安装孔以及分布于动力输入轴安装孔四周的吸气口；旋回扇叶由轴套和均匀分布在轴套上的叶片构成，所述的叶片下部垂直，上部弯曲，并且叶片弯曲的方向与旋回扇叶旋转的方向一致；所述的动力输入轴一端穿过动力输入轴安装孔与位于罩体内的旋回扇叶的轴套连接，另一端与位于罩体外的旋转驱动装置连接。

上述引用文件中的搬运装置，在搬运装置搬运基板的过程中，需要旋回扇叶具有较大的转速，才能使搬运装置具有足够吸引基板的吸力，导致搬运装置能耗高以及吸力较小。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种无接触基板抓取搬运装置，具有降低搬运装置的能耗，提高搬运装置吸力的效果。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种无接触基板抓取搬运装置，包括搬运架和与搬运架固定连接的抓取板；所述抓取板下表面设有多个旋流件，相邻旋流件之间连线围合形成多边形区域；所述旋流件包括主体和置于主体内的空腔；所述主体上表面设有供气口，供气口一端与空腔连通，另一端与供气装置连接；所述主体下表面设有旋风腔，所述旋风腔内侧壁设有多个与空腔连通的旋流切口。

通过采用上述技术方案，供气装置向空腔提供气流，气流在空腔内分流后，经旋流切口旋进旋风腔，气流在离心力作用下于空腔内高速旋转，使得旋风腔与搬运基板之间的空层产生负压区，便于将搬运基板非接触抓取，降低了搬运装置的能耗，提高了搬运装置吸力；利用多个旋流件，使得搬运装置抓取搬运基板操作稳定；利用多个旋流切口，使得旋流件产生的吸力较为均匀分布，提高了旋流件抓取搬运基板的稳定性。

本发明进一步设置为：所述主体设有四个旋流切口，相邻旋流切口的旋出方向相互垂直。

通过采用上述技术方案，进一步提高了旋流件抓取搬运基板的稳定性。

本发明进一步设置为：所述旋风腔顶壁设有凸台，多个旋流切口沿凸台四周均匀分布。

通过采用上述技术方案，利用凸台，便于将高速旋转的气流集中，提高了单个旋流件的吸力。

本发明进一步设置为：所述旋流件为顺时针旋流器或逆时针旋流器，所述顺时针旋流器与逆时针旋流器的旋流切口的旋出方向相反。

通过采用上述技术方案，在旋流件抓取搬运基板的过程中，减少搬运基板水平偏移的情况发生，提高了搬运装置搬运的精确性。

本发明进一步设置为：所述抓取板设有四个旋流件，四个旋流件包括两个顺时针旋流器和两个逆时针旋流器；两个顺时针旋流器和两个逆时针旋流器相邻之间交错设置。

通过采用上述技术方案，便于削弱搬运基板的切向摩擦力，使得搬运基板在抓取与搬运的过程中保持相对稳定。

本发明进一步设置为：相邻所述旋流件之间设有伸缩调节件，所述伸缩调节件两端分别与相邻旋流件固定连接。

通过采用上述技术方案，利用伸缩调节件，便于调节相邻旋流件之间的间距，以适应不同表面积的搬运基板。

本发明进一步设置为：所述伸缩调节件包括与抓取板固定连接的伸缩筒和两个分别与伸缩筒两端插接的伸缩杆，所述伸缩杆远离伸缩筒的端部与相应旋流件固定连接；所述伸缩筒设有多个卡孔，所述伸缩杆设有至少一个与卡孔卡接的弹性锁球。

通过采用上述技术方案，利用伸缩杆与伸缩筒插接，使得相邻旋流件之间间距操作简单；利用弹性锁球，便于将伸缩杆与伸缩筒固定。

综上所述，本发明具有以下有益效果：供气装置向空腔提供气流，气流在空腔内分流后，经旋流切口旋进旋风腔，气流在离心力作用下于空腔内高速旋转，使得旋风腔与搬运基板之间的空层产生负压区，便于将搬运基板非接触抓取，降低了搬运装置的能耗，提高了搬运装置吸力；利用多个旋流件，使得搬运装置抓取搬运基板操作稳定；利用多个旋流切口，使得旋流件产生的吸力较为均匀分布，提高了旋流件抓取搬运基板的稳定性；便于削弱搬运基板的切向摩擦力，使得搬运基板在抓取与搬运的过程中保持相对稳定。

附图说明

图1是本实施例中的整体结构示意图；

图2是本实施例中旋流件与伸缩调节件的连接结构示意图；

图3是本实施例中旋流件的结构示意图；

图4是本实施例中顺时针旋流器的旋流切口气流旋出示意图；

图5是本实施例中逆时针旋流器的旋流切口气流旋出示意图。

图中：1、搬运架；11、抓取板；12、搬运基板；13、空层；2、旋流件；21、顺时针旋流器；211、逆时针旋流器；22、供气口；23、空腔；24、旋流切口；25、凸台；26、主体；27、旋风腔；3、伸缩调节件；31、伸缩筒；32、伸缩杆；33、卡孔；34、弹性锁球。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本发明作进一步详细说明。

实施例：一种无接触基板抓取搬运装置，如图1与图2所示，包括搬运架1和抓取板11，搬运架1与抓取板11上表面垂直固定。抓取板11下表面设有多个旋流件2，相邻旋流件2之间连线围合形成多边形区域。在抓取搬运基板12时，将抓取板11移动至搬运基板12上方，使旋流件2与搬运基板12之间形成空层13。搬运基板12包括但不限于硅片和玻璃板。

如图3所示，旋流件2包括主体26和置于主体26内的空腔23。主体26上表面设有供气口22，供气口22一端与空腔23连通，另一端与供气装置(图中未显示)连接。供气装置可采用鼓风机。主体26下表面设有圆柱形的旋风腔27，旋风腔27内侧壁设有多个与空腔23连通的旋流切口24。供气装置向空腔23提供气流，气流在空腔23内分流后，经旋流切口24旋进旋风腔27，气流在离心力作用下于空腔23内高速旋转，使得旋风腔27与搬运基板12之间的空层13产生负压区，便于将搬运基板12非接触抓取，降低了搬运装置的能耗，提高了搬运装置产生的吸力。利用多个旋流件2，使得搬运装置抓取搬运基板12操作稳定。利用多个旋流切口24，使得旋流件2产生的吸力较为均匀分布，提高了旋流件2抓取搬运基板12的稳定性。

如图4与图5所示，主体26设有四个旋流切口24，相邻旋流切口24的旋出方向相互垂直。进一步提高了旋流件2抓取搬运基板12的稳定性。

如图3所示，旋风腔27顶壁设有凸台25，凸台25下表面的竖直高度大于旋风腔27端口的竖直高度。四个旋流切口24沿凸台25四周均匀分布。利用凸台25，便于将高速旋转的气流集中，提高了单个旋流件2的吸力。

如图2与图3所示，旋流件2为顺时针旋流器21或逆时针旋流器211，顺时针旋流器21与逆时针旋流器211的旋流切口24的旋出方向相反。在旋流件2抓取搬运基板12的过程中，减少搬运基板12水平偏移的情况发生，提高了搬运装置搬运的精确性。

如图2与图3所示，抓取板11设有四个旋流件2，四个旋流件2包括两个顺时针旋流器21和两个逆时针旋流器211。两个顺时针旋流器21和两个逆时针旋流器211相邻之间交错设置。便于削弱搬运基板12的切向摩擦力，使得搬运基板12在抓取与搬运的过程中保持相对稳定。

如图1与图2所示，相邻旋流件2之间设有伸缩调节件3，伸缩调节件3两端分别与相邻旋流件2固定连接。利用伸缩调节件3，便于调节相邻旋流件2之间的间距，以适应不同表面积的搬运基板12。

如图1所示，伸缩调节件3包括与抓取板11固定连接的伸缩筒31和两个分别与伸缩筒31两端插接的伸缩杆32，伸缩杆32远离伸缩筒31的端部与相应旋流件2固定连接。伸缩筒31设有多个卡孔33，多个卡孔33沿伸缩筒31轴线方向均匀分布，伸缩杆32设有至少一个与卡孔33卡接的弹性锁球34。本实施例中伸缩筒31采用六个卡孔33，每一个伸缩杆32均采用五个弹性锁球34。利用伸缩杆32与伸缩筒31插接，使得相邻旋流件2之间间距操作简单。利用弹性锁球34，便于将伸缩杆32与伸缩筒31固定。

工作过程：供气装置向空腔23提供气流，气流在空腔23内分流后，经旋流切口24旋进旋风腔27，气流在离心力作用下于空腔23内高速旋转，使得旋风腔27与搬运基板12之间的空层13产生负压区，便于将搬运基板12非接触抓取，降低了搬运装置的能耗，提高了搬运装置吸力。利用多个旋流件2，使得搬运装置抓取搬运基板12操作稳定。利用多个旋流切口24，使得旋流件2产生的吸力较为均匀分布，提高了旋流件2抓取搬运基板12的稳定性。

本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。