一种用于晶圆片卡塞的专用夹手的制作方法

本实用新型属于自第一夹具开发技术领域，具体涉及一种用于晶圆片卡塞的专用夹手。

背景技术：

现有一种晶圆片卡塞，形状如图1所示，该卡塞01包括左右对称的框架本体0101，框架本体0101内部的两侧均设置有若干均布的第一卡板0102，框架本体0101前方开口的两侧均设置有第一翻边0103，第一翻边0103垂直第一卡板0102设置，框架本体0101的上端面设置有两个“﹃”型件0104，“﹃”型件0104的外侧均设置有第二翻边0105，第二翻边0105平行第一卡板0102设置。目前，需要将这种卡塞运载至对应的盒子中，传统的方式为人工搬运，效率低，影响企业效益。

因此，需要设计一种用于晶圆片卡塞的专用夹手来提高搬运效率。

技术实现要素：

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于晶圆片卡塞的专用夹手。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，该卡塞包括左右对称的框架本体，所述框架本体内部的两侧均设置有若干均布的第一卡板，所述框架本体前方开口的两侧均设置有第一翻边，所述第一翻边垂直所述第一卡板设置，所述框架本体的上端面设置有两个“﹃”型件，所述“﹃”型件的外侧均设置有第二翻边，所述第二翻边平行所述第一卡板设置；所述夹手包括用于与第一机械手连接的第一连接板，所述第一连接板内侧设置有两组并排设置的第一轴承座，所述每组第一轴承座之间均设置有第一丝杠组件，所述第一丝杠组件的丝杠螺母外设置有第一移动块，所述第一移动块的一侧固定有第一连接件，所述夹手还包括用于夹持所述卡塞的第一夹具，所述第一夹具包括左右对称的两个夹紧块，所述夹紧块通过所述第一连接件固定在所述第一移动块上。

优选的技术方案为：所述第一丝杠组件靠近所述第一连接板一侧均设置有第一导轨，所述第一移动块与所述第一导轨上的滑块固定设置。

优选的技术方案为：所述夹紧块包括侧夹块和平夹块，所述侧夹块的内侧设置有水平的且可以卡入所述第二翻边的第一卡槽，所述第一卡槽上方固定有所述平夹块，所述平夹块的内侧端设置有水平的且可以卡入所述“﹃”型件的第二卡槽，所述侧夹块对应所述第一翻边位置开设有竖直的第三卡槽，所述第三卡槽设置有倒角。

优选的技术方案为：所述第一丝杠组件的上方均设置有第一电机，所述第一电机通过同步带与所述第一丝杠组件传动连接。

优选的技术方案为：所述第一轴承座下方设置有第一护罩。

优选的技术方案为：所述第一连接板上方设置有第一光纤。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

本实用新型设计了一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，采用与卡塞结构相匹配的专用夹具自动将卡塞稳定夹取后再转运，大大提高了转运效率，自动化程度高，与其他设备对接程度也高，为产品的全自动化生产做好了充分的技术准备。

附图说明

图1为晶圆片卡塞示意图。

图2为本实用新型立体示意图。

图3为夹手正面示意图。

图4为夹手背面示意图（不含第一连接板）。

图5为第一连接件与夹紧块示意图。

以上附图中，卡塞01，框架本体0101，第一卡板0102，第一翻边0103，“﹃”型件0104，第二翻边0105，夹手02，第一连接板0201，第一轴承座0202，第一丝杠组件0203，第一移动块0204，第一连接件0205，第一夹具0206，夹紧块020601，侧夹块020602，平夹块020603，第一卡槽020604，第二卡槽020605，第三卡槽020606，第一导轨0207，第一电机0208，第一护罩0209，第一光纤0210。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1~图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

注：附图2和3中两个第一连接件0205的形状略有差异，实际可做成对称件，去掉第一连接件0205的部分结构可便于内部结构的展示和标注。

实施例：如图1 ~图5所示，一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，该卡塞01包括左右对称的框架本体0101，框架本体0101内部的两侧均设置有若干均布的第一卡板0102，框架本体0101前方开口的两侧均设置有第一翻边0103，第一翻边0103垂直第一卡板0102设置，框架本体0101的上端面设置有两个”﹃”型件0104，”﹃”型件0104的外侧均设置有第二翻边0105，第二翻边0105平行第一卡板0102设置；夹手02包括用于与第一机械手连接的第一连接板0201，第一连接板0201内侧设置有两组并排设置的第一轴承座0202，每组第一轴承座0202之间均设置有第一丝杠组件0203，第一丝杠组件0203的丝杠螺母外设置有第一移动块0204，第一移动块0204的一侧固定有第一连接件0205，夹手02还包括用于夹持卡塞01的第一夹具0206，第一夹具0206包括左右对称的两个夹紧块020601，夹紧块020601通过第一连接件0205固定在第一移动块0204上。夹紧块020601包括侧夹块020602和平夹块020603，侧夹块020602的内侧设置有水平的且可以卡入第二翻边0105的第一卡槽020604，第一卡槽020604上方固定有平夹块020603，平夹块020603的内侧端设置有水平的且可以卡入”﹃”型件0104的第二卡槽020605，侧夹块020602对应第一翻边0103位置开设有竖直的第三卡槽020606，第三卡槽020606设置有倒角。第一丝杠组件0203的上方均设置有第一电机0208，第一电机0208通过同步带与第一丝杠组件0203传动连接。

原理：第一电机0208可通过同步带带动第一丝杆组件0203上的丝杆螺母左右运动，丝杆螺母通过第一移动块0204带动第一连接件0205左右运动，第一连接件0205带着夹紧块020601作左右运动，通过分别控制两个第一电机0208则可控制夹具的夹取动作；夹具的夹紧块020601先向两侧分开，待夹手02通过第一机械手运动到卡塞01所在位置后，夹紧块020601向内侧运动，第二翻边0105卡入第一卡槽020604，”﹃”型件0104卡入第二卡槽020605，第一翻边0103卡入第三卡槽020606（第三卡槽020606的倒角可方便第一翻边0103卡入），卡塞01与夹手02均为对称左右结构，夹手02两侧均夹住卡塞01，限制了卡塞01X、Y、Z轴方向的运动，保证夹紧到位后通过第一机械手带动转移卡塞01。

优选的实施方式为：如图3所示，第一丝杠组件0203靠近第一连接板0201一侧均设置有第一导轨0207，第一移动块0204与第一导轨0207上的滑块固定设置。保证了第一移动块0204左右运动的直线性，保证了夹取位置的准确性，增强模组配合，提高生产效率。

优选的实施方式为：如图3所示，第一轴承座0202下方设置有第一护罩0209。防止电机等零件滴油污染卡塞01，保证了卡塞01的清洁度，保证产品质量。

优选的实施方式为：如图3所示，第一连接板0201上方设置有第一光纤0210。自动检测卡塞01位置，保证夹取位置准确，提高夹取效率。

本实用新型设计了一种用于晶圆片卡塞的专用夹手，采用与卡塞结构相匹配的专用夹具自动将卡塞稳定夹取后再转运，大大提高了转运效率，自动化程度高，与其他设备对接程度也高，为产品的全自动化生产做好了充分的技术准备。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。