搬运装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及将半导体基板等工件或收纳了工件的搬运容器等被搬运体在堆垛的状态下进行搬运的搬运装置。
【背景技术】
[0002]在现有技术的半导体器件等的制造设备中，有时，收纳了半导体基板等工件的搬运容器等被搬运体，在被沿着设于设备的顶棚附近的行走轨行走的顶棚搬运车(搬运装置)把持的状态下，在多个处理装置之间依次进行搬运。
[0003]例如，在专利文献I中公开了一种搬运装置，该搬运装置具备升降单元，该升降单元设置于水平移动单元，使对工件(密闭匣)进行保持的工件保持单元升降，在工件保持单元与各处理装置之间进行工件的交接，该搬运装置在洁净室内在多个处理装置间循环，向各处理装置搬运工件。
[0004]在专利文献I的搬运装置中，上述工件保持单元由向工件(密闭匣)的两侧面以3的字状延伸的工件保持部构成，通过在此工件保持部的两侧部的下端相向地设置对工件的底面进行保持的手，对工件(密闭匣)进行保持。
[0005]另外，在半导体器件等的制造设备中，有时，收纳有半导体基板等工件的搬运容器等被搬运体在堆叠(堆垛)了多个的状态下进行搬运。具体地说，将在内部收纳了工件的多个板状的货板(搬运容器)堆垛，在由搬运装置保持(把持)着所述堆垛的多个货板的状态下进行搬运。
[0006]专利文献1:日本特开2004-25427号公报
【发明内容】
[0007]然而在对堆垛的被搬运体进行搬运的场合，应搬运的被搬运体并不是经常以没有偏移的状态(对齐的状态)堆垛，有时还必须对以偏移的状态(没有对齐的状态)堆垛的被搬运体进行搬运。因此，在被搬运体被以偏移的状态堆垛的场合，存在把持单元(保持单元)不能对堆垛的被搬运体充分地进行把持(保持)的问题。另外，还存在堆垛的被搬运体在搬运中成为偏移的状态、被搬运体在搬运中从搬运装置落下等问题。
[0008]这样的问题虽然可通过在被搬运体设置用于防止偏移的偏移防止机构(例如在被搬运体设置使堆垛的被搬运体彼此相互啮合的凹凸面)来解决，但因为在被搬运体自身设置偏移防止机构，所以，存在被搬运体的结构变复杂的问题。另外，有的被搬运体有时不能设置偏移防止机构自身。
[0009]另外，虽然通过用固定构件将堆垛的被搬运体彼此固定可解决上述问题，但因为需要在对被搬运体进行搬运之前用固定构件将被搬运体固定的作业，所以，存在作业效率差的冋题。
[0010]因此，本发明的目的在于提供一种搬运装置，该搬运装置不对装置构成进行变更即可对堆垛的被搬运体进行搬运，并且，可由简单的装置结构进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止。
[0011]本发明要解决的课题在前面进行了说明，接下来对用于解决此课题的手段进行说明。
[0012]S卩，本发明中的技术方案I记载的搬运装置具备在被搬运体堆垛的状态下对该被搬运体进行把持的把持单元，上述把持单元在对上述被搬运体进行把持的状态下搬运上述被搬运体；在该搬运装置中，上述把持单元具备对上述被搬运体进行把持的把持部和对由上述把持部把持的被搬运体进行检测的检测部；上述把持部基于由上述检测部进行的检测来控制对上述被搬运体的把持动作，并且，上述把持部进行上述被搬运体中的堆叠的偏移修正及偏移防止。
[0013]当采用上述构成时，通过检测部对被搬运体进行检测，来控制把持部对上述被搬运体的把持动作，并且，把持部进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止。
[0014]另外，技术方案2记载的发明在技术方案I记载的搬运装置中，上述把持部通过与上述被搬运体的侧面抵接地对上述被搬运体进行把持，来进行上述被搬运体中的堆叠的偏移修正及偏移防止。
[0015]当采用上述构成时，把持部对被搬运体进行把持，并且，把持部在与被搬运体的侧面抵接地对被搬运体进行把持的状态下进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止。
[0016]并且，技术方案3记载的发明在技术方案I或技术方案2记载的搬运装置中，上述把持部通过使相对于上述被搬运体的移动方向分阶段地改变来对上述被搬运体进行把持。
[0017]当采用上述构成时，通过一边使把持部相对于该被搬运体的移动方向分阶段地改变，一边与被搬运体接近或分开，对被搬运体进行把持。
[0018]并且，技术方案4记载的发明在技术方案I至技术方案3的任意一项记载的搬运装置中，上述检测部由对上述被搬运体的一个侧面进行检测的第I检测部和对上述被搬运体的另一个侧面进行检测的第2检测部构成。
[0019]当采用上述构成时，在两个检测部(第I及第2检测部)从两方向对被搬运体进行检测。
[0020]并且，技术方案5记载的发明在技术方案I至技术方案4的任意一项记载的搬运装置中，上述被搬运体是收纳工件的搬运容器，上述把持部通过以对上述搬运容器的上述工件的收纳口进行覆盖的方式对上述搬运容器进行把持，来防止被收纳在上述搬运容器中的工件跳出。
[0021]当采用上述构成时，通过把持部对被搬运体进行把持，并且通过由对被搬运体进行把持的把持部覆盖工件的收纳口，防止被收纳在被搬运体中的工件跳出。
[0022]根据本发明的搬运装置，因为由对被搬运体进行把持的把持部进行在被搬运体的堆叠的偏移修正及偏移防止，所以，不需要在搬运装置侧或被搬运体侧另行设置偏移修正机构及偏移防止机构。因此，可由简单的装置结构进行偏移修正及偏移防止，另外，可充分地对堆垛的被搬运体进行把持(保持)。另外，即使是在被搬运体侧不能另行设置偏移修正机构及偏移防止机构的被搬运体，也可在堆垛的状态下进行搬运。并且，因为不需要由固定构件对堆垛的被搬运体进行固定来防止堆叠的偏移，所以，作业效率良好。
【附图说明】
[0023]图1是作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车的正视图。
[0024]图2是由顶棚搬运车搬运的托盘的立体图。
[0025]图3是顶棚搬运车的夹持装置的侧面剖视图。
[0026]图4 (a)至(C)是使顶棚搬运车的第I夹头纵构件及第2夹头纵构件分两个阶段进行移动的场合的俯视简图，(d)及(e)是使顶棚搬运车的第I夹头纵构件及第2夹头纵构件以一个阶段进行移动的场合的俯视简图。
[0027]图5(a)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的侧面剖视图，(b)及(C)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的把持部近旁的侧视图，(d)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的正面剖视图，(e)及(f)是对堆垛的托盘进行搬运时的顶棚搬运车的把持部近旁的正视图。
[0028]图6(a)是表示顶棚搬运车中的把持部的另外的实施例的立体图，(b)及(C)是在另外的实施例的把持部相对于托盘使面导向构件移动的场合的俯视简图。
【具体实施方式】
[0029]首先对作为本发明的搬运装置的一例的顶棚搬运车10进行说明。
[0030]如图1所示那样，顶棚搬运车10是用于向对于半导体基板等工件81进行规定的处理的多个处理装置(未图示)搬运工件81的搬运车。顶棚搬运车10在对收纳工件81的多个托盘80( “被搬运体”的一例)进行堆垛的状态下进行把持，在把持的状态下进行搬运。
[0031]如图2所示那样，顶棚搬运车10搬运的托盘80是空心的平板状的托盘。托盘80可在其内部收纳多个(在图2中是两个)工件81。托盘80被构成为，可从在其长度方向的两端部开口的收纳口 82收纳工件81。
[0032][顶棚搬运车10]
[0033]如图1所示那样，顶棚搬运车10以相对于设置在设备的顶棚90附近的行走轨91悬挂的状态进行安装。顶棚搬运车10可沿行走轨91移动地构成。顶棚搬运车10主要由移动车11、升降驱动部12和夹持装置20 ( “把持单元”的一例)构成。
[0034]移动车11可沿固定地安装于顶棚90的行走轨91行走地构成。移动车11主要由线性马达式的行走车体13和支承部14构成。线性马达式的行走车体13产生用于沿行走轨91行走的行走推力。支承部14被相对于行走车体13连结，对升降驱动部12进行支承。另外，行走车体13不限定于线性马达式的行走车体，只要是可在洁净室等要求洁净度的空间中行走的方式的行走车体即可。
[0035]升降驱动部12是在悬挂了夹持装置20的状态