一种高精度流延装置的制作方法

文档序号:12420870阅读:458来源:国知局

本实用新型涉及片式电子元器件领域,具体为一种高精度流延装置。



背景技术:

目前,流延成型技术是一种电子陶瓷行业普遍使用的陶瓷薄膜及厚膜的成型方法,广泛用于科研和工业领域。目前普遍采用不锈钢钢带或有机膜带作为流延成型承载基体材料,对比而言采用有机膜带作为承载基体流延的膜片精度高于采用钢带流延,但设备成本较高不易被广泛应用,随着LTCC、HTCC工艺的发展,对流延膜带的要求越来越高,钢带流延设备因流延刮刀设计存在缺陷在使用过程中会使钢带出现划痕、磨损,影响流延薄膜的平整度(流延精度)而不能满足工艺要求,此时只能通过更换新的不锈钢带,来解决上述缺陷。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种高精度流延装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高精度流延装置,包括刮刀、压制气缸、滑动组件和微米尺,所述滑动组件两端分别设置有压制气缸;所述刮刀通过气缸锁紧销固定在滑动组件上;所述滑动组件上部固定安装有数显千分表;所述滑动组件两侧端均设置有精密直线导轨;所述滑动组件底端设置有精密轴承;所述微米尺连接水平滑动的斜面挡块,且斜面挡块与滑动组件底部的精密轴承滚动连接。

作为本实用新型的优选技术方案,所述数显千分表设置有两个,且分别设置在滑动组件上方。

作为本实用新型的优选技术方案,所述微米尺设置有两把,且分别设置在滑动组件底端。

作为本实用新型的优选技术方案,所述压制气缸与滑动组件可拆卸连接。

作为本实用新型的优选技术方案,所述刮刀前装配有进料盒。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型调节简单,可实现刮刀与料盒、调节机构分离,方便拆卸清洗,并且刮刀与基底不锈钢钢带间距连续可调,且实时显示当前间距与平行度;独立调节装置与不锈钢钢带不接触,从而保护不锈钢钢带不被损伤,此方式去除了传统流延过程中磨损钢带导致流延膜精度不够的缺陷,大大提高了钢带的使用寿命降低了成本。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

附图标记中:1-刮刀;2-压制气缸;3-滑动组件;4-微米尺;5-数显千分表;6-精密直线导轨;7-精密轴承;8-斜面挡块;9-气缸锁紧销。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1,本实用新型提供的一种实施例:

一种高精度流延装置,包括刮刀1、压制气缸2、滑动组件3和微米尺4,滑动组件3两端分别设置有压制气缸2;刮刀1通过气缸锁紧销9固定在滑动组件3上;滑动组件3上部固定安装有数显千分表5;滑动组件3两侧端均设置有精密直线导轨6;滑动组件3底端设置有精密轴承7;微米尺4连接水平滑动的斜面挡块8,且斜面挡块8与滑动组件3底部的精密轴承7滚动连接。

数显千分表5设置有两个,且分别设置在滑动组件3上方,可实时显示当前刮刀高度及平行度;微米尺4设置有两把,且分别设置在滑动组件3底端,微米尺4前进推动斜面挡块8顶起精密轴承7,可使刮刀1上升,反之下降;压制气缸2与滑动组件3可拆卸连接,便于装配和拆卸清洗;刮刀1前装配有进料盒。

工作原理:本实用新型工作前先将刮刀1通过气缸锁紧销9固定在滑动组件3上,微调旋钮升高刮刀1,压制气缸2向下,微调刮刀1,分别使两侧斜面挡块8后退,直至刮刀1与基底承载的不锈钢钢带之间没有光缝。使数显千分表5归零,微调旋钮提升刮刀1至设定值,装配进料盒,进行进料流延。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

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