用于干燥膜的方法和设备及溶液流延方法

专利名称：：用于干燥膜的方法和设备及溶液流延方法
技术领域：
：本发明涉及在固定膜的两个侧边部分的状态下输送膜的同时，干燥膜的方法和设备，并且涉及将干燥膜的方法和设备引入其中的溶液流延方法。
背景技术：
：聚合物膜具有优异的光学透明度和柔韧性，并且形成为薄而重量轻的膜。因此，聚合物膜用作用于各种应用的光学功能膜。特别是，除上述性能以外，由酰化纤维素等制备的纤维素酯膜具有强度和低的双折射。纤维素酯膜用作组成其市场正在扩大的液晶显示器(LCD)的偏振滤光器用保护膜和光学补偿膜，以及光敏膜。溶液流延方法是用于聚合物膜的生产方法之一。根据溶液流延方法，将含有聚合物和溶剂的涂料从流延模流延到载体上，并且形成流延膜。在流延膜获得自支撑性能之后，将流延膜从载体上剥离作为湿膜。在固定湿膜的两个侧边部分(以下称为边缘)的同时，通过拉幅机输送湿膜。在拉幅机中，将湿膜在输送的同时干燥。从而制备了膜。在切割膜的边缘之后，将膜在干燥装置中进一步干燥。之后，通过收巻装置将膜收巻。在通过固定构件如夹具或销钉固定膜的边缘的同时输送膜的状态下，将湿膜在拉幅机中干燥，并且将干燥空气吹送到膜上。将固定构件固定到环形回路移动部分如链上并且循环。因此，在固定构件暴露于高温下的干燥空气中之后，在拉幅机的出口附近的固定构件的温度升高。如果用高温的固定构件固定引入的膜，则在膜中含有的溶剂开始沸腾，并且产生泡沫。作为结果，膜可能被撕裂。在通过其将膜冷却并且凝胶化以获得自支撑性能的溶液流延方法中，使用针板(pinplate)将膜固定。如果销钉的温度高，则在膜中含有的树脂(聚合物)被销钉加热而凝固成粉末，并且在销钉刺穿膜时，像盖--样覆盖在销钉上。盖状粉末剥落并且导致拉幅机的故障和膜上的划痕。为了防止这些问题，在固定引入的膜的两个边缘之前，通过使固定构件通过冷却导管而将它们冷却(参见例如日本专利公开出版物9-85846)。然而，冷却导管造成新的问题。拉幅机充满从湿膜中蒸发的溶剂蒸气。在拉幅机内部的高温气氛中，在湿膜中含有的增塑剂和UV吸收剂也与溶剂一起蒸发，并且在溶剂蒸气中包含这些蒸气。与夹具或销钉的移动相关，溶剂蒸气进入冷却导管。溶剂蒸气在冷却导管中冷却并且液化或凝固。这些液化或凝固的溶剂作为杂质粘附到销钉和针板上。杂质包括大量的添加剂如增塑剂和uv吸收剂。在针板上的负荷随着杂质的量增加而增加。当杂质积聚在用于输送膜的导辊和在导辊中使用的轴承上时，膜得不到稳定的输送。为了解决上述问题，可以采取下列措施可以使用耐气化的增塑剂和UV吸收剂；可以降低拉幅机的干燥温度；可以增加拉幅机中的干燥时间；等。然而，作为上述变化的结果，可能出现新问题。例如，上述变化可能影响制备的膜的质量并且增加生产成本。另一方面，还可以使用刷子等除去粘附到针板上的杂质。然而，这些刷子可能被粘住和/或在刷子上的杂质可能再次粘附到针板上，并且针板可能有刷子不能到达的区域。在拉幅机中，通过冷凝和吸附从溶剂蒸气中回收溶剂。将从中除去溶剂的气体送到拉幅机中并且再次利用。在溶剂的回收过程中，还回收增塑剂和UV吸收剂。然而，粘附到针板等上的杂质的量不可能降低至零。可以使用清洁溶剂清洁针板等。然而，这种清洁溶剂具有弱的清洁效果，并且可能溶解涂覆到输送机导辊和轴承上的润滑剂的油组分。如果清洁溶剂在拉幅机中蒸发，则还必需从溶剂蒸气中回收清洁溶剂。因此必需以均匀的时间间隔将膜生产线停止，并且离线清洁针板。
发明内容考虑到上述，本发明的一个目的是提供一种用于千燥膜的方法和设备以及一种溶液流延方法，所述溶液流延方法能够通过除去阻碍膜输送的杂质而稳定膜的输送。为了达到上述目的以及其它目的，根据本发明的膜干燥方法具有干燥步骤和吹气清洁步骤。在干燥步骤中，通过固定构件固定膜的两个侧边部分。通过一对环形回路移动部分输送膜。每一个环形回路移动部分由在其上以预定的间隔排列多个固定构件的载体主体(carrierbody)构成。在输送膜的同时，通过将干燥空气吹送到膜上将膜干燥。在吹气清洁步骤中，在将膜从固定构件上释放之后，通过将气体吹送到固定构件和载体主体上清洁固定构件和载体主体。优选在吹气清洁步骤之前，膜干燥方法具有蒸汽清洁步骤。在蒸汽清洁步骤中，在将膜从固定构件上释放之后，通过将蒸汽吹送到固定构件和载体主体上清洁固定构件和载体主体。优选膜干燥方法还包括气体吹扫步骤，其中将惰性气体供给到在其中固定构件固定膜的区域中覆盖载体主体的导管并且从所述导管中吹出。优选在导管上的惰性气体的供给位置和回收位置在将膜从固定构件上释放的膜释放位置附近。根据本发明的溶液流延方法具有下列步骤通过将含有聚合物和溶剂的涂料流延到连续移动的载体上形成流延膜；将所述流延膜从所述载体上剥离作为湿膜；在通过固定构件固定湿膜的侧边部分的状态下使用一对环形回路移动部分输送湿膜的同时，通过将干燥空气吹送到湿膜上干燥湿膜；并且所述环形回路移动部分的每一个具有以预定间隔配置有固定构件的载体主体。根据本发明的膜干燥设备具有一对用于输送膜的环形回路移动部分，干燥部分和吹气清洁部分。每一个环形回路移动部分配置有载体主体，所述载体主体具有用于固定膜的侧边部分的固定构件。将固定构件以预定的间隔排列在载体主体上。干燥部分通过将干燥空气吹送到在通过固定构件固定的同时输送的膜上来干燥膜。在将膜从固定构件上释放之后，吹气清洁部分通过将气体吹送到固定构件和载体主体上清洁固定构件和载体主体。优选膜干燥设备还包含蒸汽清洁部分，所述蒸汽清洁部分被安置在相对于载体主体的移动方向的吹气清洁部分的上游。蒸汽清洁部分通过将蒸汽吹送到固定构件和载体主体上清洁固定构件和载体主体。优选膜干燥设备包含导管、惰性气体供给部分和惰性气体循环部分。导管覆盖位于干燥部分中的载体主体和轨道。惰性气体供给部分将惰性气体供给到导管中，并且从导管中吹出惰性气体。惰性气体循环部分从通过惰性气体供给部分保持在加压状态的导管中回收惰性气体，并且将回收的惰性气体供给到惰性气体供给部分中。优选在导管上的惰性气体的供给位置和回收位置在返回通道构件附近。返回通道构件被安置在干燥部分的出口侧的轨道端部。根据本发明，除去了阻碍膜输送的杂质，从而稳定地输送膜。当结合附图阅读时，从优选实施方案的下列详细描述中，本发明的上述和其它主题和优点将变得明显，这些附图和优选实施方案只作为说明给出，因而不限制本发明。在附图中，相同的参考标记在全部几幅图中均表示相同或相应的部件，并且其中图l是膜生产线的示意图；图2是本发明的针板拉幅机(pintenter)的平面图；图3是本发明的针板拉幅机的正视图；图4是轨道、轨道盖和销钉载体的截面图；图5是在链轮齿配合在销钉载体的凹槽中的状态下的轨道、轨道盖和销钉载体的截面图；图6是在沿着图3中的线VI-VI所取的气体吹扫区中的轨道、轨道盖和销钉载体的截面图；图7是在沿着图3中的线VII-VII所取的蒸汽清洁区中的轨道、轨道盖和销钉载体的截面图；图8是在沿着图3中的线vni-vm所取的喷气清洁区中的轨道、轨道盖和销钉载体的截面图；图9是在沿着图3中的线IX-IX所取的第一冷却区中的轨道、轨道盖和销钉载体的截面图；图10是在沿着图3中的线X-X所取的干冰清洁区中的轨道、轨道盖和销钉载体的截面图。具体实施方式如在图1中所示，膜生产线10由下列装置构成流延室11、传送部分12、针板拉幅机13、夹具拉幅机(diptenter)14、切边装置15、干燥装置16、冷却装置17和收巻装置18。流延室11配置有供料头21、鼓轮22、流延模23、剥离辊26、冷凝器27和回收装置28。将涂料从涂料生产线20供给到供料头21中。通过流延模23将涂料流延到作为支撑体的鼓轮22上。使用剥离辊26将在鼓轮22上形成的流延膜24剥离作为湿膜25。冷凝器27冷凝并且液化从流延膜24和湿膜25中蒸发的溶剂蒸气。通过回收装置28回收液化的溶剂。传热介质供给装置(未显示)连接到鼓轮22上。传热介质供给装置将传热介质供给到鼓轮22的内部，以将鼓轮22的表面温度调节为预定值。将温度控制器30连接到流延室11上，以调节流延室11的内部温度。在供料头21内部，形成涂料的流动通道。将减压室32连接到流延模23上。减压室32降低在相对于鼓轮22的旋转方向的流道(bead)的上游的区域中的压力以稳定流道与鼓轮22的接触。流道是在流延模23的排出口和鼓轮22之间的涂料。将夹套(未显示)连接到减压室32上以将减压室32的温度调节为预定值。鼓轮22是能够连续旋转的不锈钢鼓轮。将鼓轮22的表面抛光。从而在鼓轮22上形成具有优异的平面度的流延膜24。在该实施方案中，使用鼓轮22作为支撑体。然而，支撑体不受具体限制。例如，在一对辊周围成环并且连续移动的环形流延传动带可以用作支撑体。优选支撑体的宽度比涂料的流延宽度大1.1倍至2.0倍。优选支撑体的材料具有耐腐蚀性和高强度，例如不锈钢。流延模23的形状、材料、尺寸不受具体限制。然而，优选使用衣架型流延模，从而将涂料的流延宽度保持大致均匀。优选流延模23的排出口的宽度比涂料的流延宽度大1.1至2.0倍。考虑到耐久性和耐热性，优选流延模23的材料是沉淀硬化不锈钢，并且具有在二氯甲垸，甲醇和水的液体混合物中浸渍3个月之后，在气-液界面上不形成点蚀(孔)的耐腐蚀性。在电解质溶液中的腐蚀检验中具有与SUS316几乎相同的抗腐蚀性的材料也可以是适合的。考虑到耐热性，优选使用热膨胀系数为至多2xlO-5(。C")的材料。此外，更优选在流延模23的排出口的唇端配置有硬化层以提高耐磨性。硬化层的形成方法不受具体限制。例如，可以使用陶瓷涂覆，镀硬铬，渗氮处理等。当使用陶瓷作为硬化层时，优选陶瓷是可磨光而不是脆性的，并且具有低孔隙率以及良好的耐腐蚀性。还优选陶瓷具有与流延模的高粘附性，但是具有与涂料的低粘附性。具体地，可以使用碳化钩(WC)，A1203，TiN，0"203,等，并且特别优选WC。可以通过熟知的喷涂方法进行WC涂覆。将多根辊35安装在传送部分12中。辊35将从鼓轮22上剥离的湿膜25输送到针板拉幅机13中。以下，将湿膜25的输送方向称为方向A。将鼓风机36安置在湿膜25的输送通道上面。鼓风机36将干燥空气吹送到湿膜25上以促进湿膜25的干燥。在针板拉幅机13中，湿膜25的两个侧边部分(以下称为边缘)被刺穿，并且通过销钉固定，并且在通过销钉固定的同时输送湿膜25。将稍后详述针板拉幅机13。通过干燥空气导管52和53(参见图3)将干燥空气吹送到湿膜25上，并且将湿膜25加热至预定温度，从而促进湿膜25的干燥。然后，通过通风孔60a(参见图3)将干燥空气送到干燥空气循环装置60(参见图3)中。干燥空气循环装置60从干燥空气中吸附并且回收溶剂和增塑剂，然后在吸附后将回收的干燥空气供给到干燥空气导管52和53中。将夹具拉幅机14安置在针板拉幅机13的下游。在夹具拉幅机14中，在固定湿膜25的边缘的同时，将湿膜25输送并且干燥。将干燥空气导管(未显示)设置在夹具拉幅机14内部的顶部区域和顶部区域的每一个上，以将湿膜25置于干燥空气导管之间。使用干燥空气导管干燥湿膜25。因此，制备了膜37。可以在必要时使用夹具拉幅机14。还可以省略夹具拉幅机14。在这种情况下，将膜37从针板拉幅机13送到干燥装置16中。将膜37从夹具拉幅机14送到切边装置15中。切边装置15切除膜的边缘37。将粉碎机66连接到切边装置15上。粉碎机66将被切除的膜37的边缘粉碎为碎片。之后，将膜37送到干燥装置16中。将多根辊67安置在干燥装置16内部。在通过辊67输送的同时干燥膜37。通过被设置在干燥装置16外面的回收装置69吸附并且回收在干燥装置16中从膜37蒸发的溶剂气体。在通过吸附从溶剂气体中除去溶剂成分之后，将气体送到干燥装置16中。将膜37从干燥装置16送到冷却装置17中。在冷却装置17中，将膜37冷却至约为室温。还可以将切边装置设置在针板拉幅机13的出口。在这种情况下，在通过切边装置切割边缘之后，将膜37送到夹具拉幅机中。将膜37从冷却装置17送到具有收巻轴70的收巻装置18中。将膜37以巻材的形式在收巻轴70周围收巻。收巻装置18具有压棍71。在调节收巻压力的同时，压棍71将膜37收巻。如在图2和3中所示，在固定湿膜25的边缘25a的状态下，针板拉幅机13在方向A上输送湿膜25。同时，针板拉幅机13在宽度方向(以下称为方向B)上以预定的拉伸比率拉伸湿膜25。针板拉幅机13配置有刷辊40、集尘器42、轨道44、链轮(返回通道构件)46至48、干燥空气导管52和53、轨道盖(导管)54和销钉载体(环形回路移动部分)58。链轮46至48确定销钉载体58的返回通道。将刷辊40设置在针板拉幅机13的入口13a附近。刷辊40用于将销钉72(参见图4)刺穿进入针板拉幅机13的湿膜25的边缘25a。将集尘器42设置在针板拉幅机13的出口13b附近，并且通过抽吸从边缘25a除去粉尘。将轨道44设置在湿膜25的输送通道的每一侧。根据湿膜25的拉伸比率确定在轨道44之间的距离和在轨道44之间的距离的加宽(加宽模式)。将在图2中描述的拉伸状态放大至一定程度。图2显示了加宽模式的一个实例。考虑到膜的光学性能，可以采用该加宽模式。每一根轨道44由上下设置的一对轨道44a和44b构成。将链轮46和47设置在针板拉幅机13的入口13a附近。将链轮48设置在针板拉幅机13的出口13b附近。链轮46的齿59(参见图5)配合在销钉载体58的配合凹槽74b(参见图5)中。以相同的方式，链轮47和48的齿(未显示)配合在销钉载体58的配合凹槽74b中。将销钉载体58在轨道44上彼此连接。根据通过电动机(未显示)驱动的链轮48的旋转，销钉载体58沿着轨道44移动。链轮46和47随着销钉载体58的移动而旋转。在湿膜25的输送通道上面并且沿着该通道设置干燥空气导管52。在湿膜25的输送通道下面并且沿着该通道设置干燥空气导管53。干燥空气导管52将干燥空气吹送到湿膜25的上表面上。千燥空气导管53将干燥空气吹送到湿膜25的下表面上。将从干燥空气导管52和53吹送的干燥空气设定在不低于40。C且不高于200。C的范围内的预定温度。从而，促进湿膜25的干燥，并且溶剂蒸气从湿膜25中蒸发。如在图4中所示，轨道盖54覆盖轨道44a和44b和销钉载体58的一部分。在轨道盖54内部，将轨道44a连接到顶部内表面上，并且将轨道44b连接到底部内表面上。将销钉载体58设置在轨道44a和44b之间。在轨道盖54的一侧上，沿着销钉载体58的移动方向形成狭缝54a。狭缝54a被遮挡构件75覆盖以防止被供给到轨道盖54的内部的惰性气体和冷却气体逃逸。将稍后描述遮挡构件75。如在图5中所示，将位于链轮46附近的每一个轨道盖54形成为具有狭缝54b。链轮46进入狭缝54b。这与位于链轮47附近的轨道盖54相同，所以省略其描述。如在图4中所示，销钉载体58由销钉72、针板73、载体主体74、遮挡构件75和导辊76至79构成。每一个针板73具有以预定的间隔安置的多根销钉72。将针板73固定到遮挡构件75的遮挡部分75a上。在载体主体74的一侧上形成突部74a，并且支撑遮挡构件75。将遮挡构件75固定到突部74a上。在载体主体74的下表面的中心部分中，形成配合凹槽74b(参见图5)。配合凹槽74b适应于链轮46、47和48的齿。通过轨道盖54的狭缝54a将遮挡构件75固定到载体主体74的突部74a上。遮挡构件75具有遮挡部分75a，所述遮挡部分75a在垂直和水平方向上延伸，并且覆盖在轨道盖54的狭缝54a上面。遮挡部分75a防止含有从湿膜25中蒸发的溶剂蒸气的干燥空气进入轨道盖54的内部。另外，当在蒸汽清洁区82(参见图7)中用蒸汽清洁销钉72和针板73时，遮挡部分75a还防止蒸汽进入轨道盖54的内部。将稍后描述蒸汽清洁区82。将导辊76和77以相隔为轨道44a的距离设置在载体主体74的顶部表面上。以相同的方式，将导辊78和79以相隔为轨道44b的距离设置在载体主体74的下表面上。导辊76和77夹住44a。导辊78和79夹住轨道44b。当载体主体74沿着轨道44a和44b移动时，导辊76至79引导载体主体74。相对于载体主体74的移动方向，将连接托架(未显示)连接到每一个载体主体74的前端和后端上。将连接销钉(未显示)在水平方向上附到每一个连接托架上。通过连接销钉连接载体主体74，从而使载体主体74能够在如在图3中所示的垂直方向上移动。代替使用连接托架和连接销钉连接块状(block-shaped)载体主体的是，可以使用链配置销钉载体。如在图3中所示，沿着销钉载体58的移动方向，针板拉幅机13配置有气体吹扫区81、蒸汽清洁区82、喷气清洁区83、第一冷却区84、干冰清洁区85和第二冷却区86。通过在蒸汽清洁区82、喷气清洁区83和干冰清洁区85中的清洁除去的大部分杂质是在从湿膜25蒸发的溶剂蒸气中含有的成分，具体为涂料的液化或凝固的添加剂。添加剂是增塑剂如TPP(磷酸三苯酯)、苯并三唑UV吸收剂等。杂质还含有液化或凝固的光学性能控制剂。如在图6中所示，在气体吹扫区81中，将用于供给气体的喷嘴90和用于抽吸气体的通风管91连接到轨道盖54上。将喷嘴卯的出口和通风管91的入口朝轨道盖54内部定向。气体吹扫区81配置有氮气供给部分94、抽吸装置95和过滤器96。将氮气供给部分94连接到喷嘴90上。将抽吸装置95连接到通风管91上。通过过滤器96将抽吸装置95连接到氮气供给部分94上。为了进行气体吹扫，将氮气从氮气供给部分94供给到喷嘴90中。通过喷嘴90的出口将氮气供给到轨道盖54的内部。当通过喷嘴90吹送氮气时，在轨道盖54内部的压力增加。同时，通过氮气吹走并且除去粘附到载体主体74、导辊76至79以及轨道44a和44b上的杂质。抽吸装置95通过通风管91的入口从加压的轨道盖54内部抽吸氮气和积聚的杂质。过滤器96从通过抽吸装置95抽吸的氮气中除去杂质。之后，将氮气送到氮气供给部分94中。在针板拉幅机13的气体吹扫区81中，在其中从销钉72上释放湿膜25的边缘25a的区域中，溶剂蒸气的浓度变得特别高。为了防止溶剂蒸气进入轨道盖54的内部，通过将氮气供给到其中增加轨道盖54内部的压力。即使溶剂蒸气进入轨道盖54的内部，液化或凝固并且粘附到导辊76至79上作为杂质，也通过吹送氮气除去这些杂质。使用抽吸装置95从轨道盖54排出除去的杂质。因此，除去了阻碍销钉载体58的移动的杂质。作为结果，销钉载体58沿着轨道44稳定地移动。气体吹扫不限于其中输送湿膜25的区域。气体吹扫可以在其中移动销钉载体58的整个区域中进行。在该实施方案中，将喷嘴90和通风管91安置在轨道盖54的相对侧。还优选相对于销钉载体58的移动方向将通风管91安置成与喷嘴90隔开。通过将喷嘴90和通风管91安置成隔开，将轨道盖54内部的压力有效地设定为高于在拉幅机13内部的压力。气体吹扫区8配置有多个喷嘴90和通风管91，它们是相对于销钉载体58的移动方向以预定的间隔安置的。如在图7中所示，将喷嘴120a至120c安置在蒸汽清洁区82中。喷嘴120a至120c用于吹送蒸汽。将喷嘴120a的出口朝销钉72和针板73定向。将喷嘴120b和120c的出口朝轨道44a和44b、载体主体74和导辊76至79定向。蒸汽清洁区82配置有蒸汽供给部分122。将蒸汽供给部分122连接到喷嘴120a至120c上。为了进行蒸汽清洁，将蒸汽从蒸汽供给部分122供给到喷嘴120a至120c中。将蒸汽从喷嘴120a的出口吹送到销钉72和针板73上。将蒸汽从喷嘴120b和120c的出口吹送到轨道44a和44b、载体主体74以及导辊76至79上。从而除去粘附到销钉72、针板73、轨道44a和44b、载体主体74和导辊76至79上的杂质。杂质的除去不限于使用蒸汽。可以使用有效除去杂质的液体的蒸气。如在图8中所示，将用于吹送喷气的喷嘴125a至125c安置在喷气清洁区83中。在此，使用氮气作为喷气。将喷嘴125a的出口朝销钉72和针板73定向。将喷嘴125b和125c的出口朝轨道44a和44b、载体主体74和导辊76至79定向。喷气清洁区83配置有氮气供给部分127。将氮气供给部分127连接到喷嘴125a至125c上。为了进行喷气清洁，将氮气从氮气供给部分127供给到喷嘴125a至125c中。将氮气从喷嘴125a的出口吹送到销钉72和针板73上，并且从喷嘴125b和125c的出口吹送到轨道44a和44b、载体主体74以及导辊76至79上。使用氮气吹走在蒸汽清洁之后在销钉72和针板73上的残留水分和残留的杂质。优选氮气的流速小于10m/分钟。如在图9中所示，第一冷却区84配置有一对销钉盖130。每一个销钉盖130覆盖在每一根轨道44上的销钉载体58的销钉72和针板73。供给狭缝130a形成为穿过销钉盖130的相对表面的每一个。在第一冷却区84中，将喷嘴132连接到每一个轨道盖54上。将喷嘴132的出口朝轨道盖54内部定向。第一冷却区84配置有冷却空气供给部分134。将冷却空气供给部分134连接到供给狭缝130a上。在第一冷却区84中，冷却空气供给部分134供给冷却空气以将轨道盖54内部和销钉盖130内部的整个温度保持大致恒定。冷却空气处于例如不低于-30。C且不高于30。C的预定温度。从而，在轨道盖54内部和销钉盖130内部的整个温度变得不超过TPP的熔点，即50°C。将销钉载体58以及轨道44a和44b的温度视为与上述整个温度大致相同。如果根据销钉载体58的移动，与溶剂蒸气一起从湿膜25中蒸发的TPP等进入第一冷却区84，则这种TPP等将在销钉载体58以及轨道44a和44b上沉淀。在第二冷却区86中，只通过冷却空气冷却销钉72和针板73。除在第二冷却区86中不使用销钉盖130以外，第二冷却区86与第一冷却区84类似，因此省略关于第二冷却区86的构造的描述。销钉72和针板73的冷却在第二冷却区86中继续进行，并且销钉72和针板73的表面温度达到不低于35。C且不高于50。C。从而，便于销钉72刺穿边缘25a。如在图10中所示，干冰清洁区85配置有喷嘴140a至140c。通过喷嘴140a至140c吹送干冰颗粒。将喷嘴140a的出口朝销钉72和针板73定向。将喷嘴140b和140c的出口朝轨道44a和44b、载体主体74以及导辊76至79定向。干冰清洁区85配置有空气供给部分142和干冰产生部分143。通过管145将空气供给部分142连接到喷嘴140a至140c上。通过管146将干冰产生部分143连接到管145上。为了进行干冰清洁，空气供给部分142将空气供给到管145中。在干冰产生部分143中产生干冰颗粒。通过管146将干冰颗粒混合到管145内的空气中。将空气和干冰颗粒混合的混合空气148通过喷嘴140a吹送到销钉72和针板73上，并且通过喷嘴140b和140c吹送到轨道44a和44b、载体主体74以及导辊76至79上。可以在能够将C02气体和压缩空气引入其中并且产生干冰颗粒的喷嘴中产生干冰，代替使用干冰产生部分143。当吹送混合空气148时，干冰颗粒碰撞粘附到销钉72、针板73、轨道44a和44b、载体主体74以及导辊76至79上的杂质。将杂质通过碰撞粉碎并且除去。除去的杂质被夹带在混合空气148中，并且通过集尘器(未显示)收集。在该实施方案中，通过吹送含有干冰颗粒的混合空气148除去杂质。然而，它不限于干冰颗粒，只要颗粒在碰撞杂质后升华即可。不限于将空气用于吹送干冰颗粒。相反，可以使用惰性气体如氮气。喷嘴90、120a至120c、125a至125c、132、140a至140c以及通风管91的布局和数量不限于在图中所示的那些，并且可以在必要时改变。在该实施方案中，在固定边缘25a之后并且在释放边缘25a之前，将湿膜25在不使其倒转的情况下输送。然而，输送湿膜的方法不受限制。可以通过多级输送方法输送湿膜，通过所述多级输送方法使湿膜倒转几次。在该实施方案中，在气体吹扫区81和喷气清洁区83中使用氮气。可以使用其它惰性气体代替氮气。还可以使用空气代替氮气。在这种情况下，优选在在空气中含有的增塑剂和UV吸收剂的浓度不大于100ppb。更优选上述浓度不大于10ppb。最优选上述浓度不大于lppb。在该实施方案中，将销钉、针板、导辊等清洁。另外，还可以清洁链轮的齿。通过清洁链轮的齿，改善链轮的齿和销钉载体的配合凹槽的配合。因此，更稳定地移动销钉载体。通过清洁除去粘附到链轮上的杂质，使得膜不因与链轮接触而受污染。在该实施方案中，通过四种清洁，即气体吹扫、通过吹送氮气的喷气清洁、通过吹送蒸汽的蒸汽清洁和通过吹送混合有干冰颗粒的混合空气的干冰清洁，除去杂质。不必进行所有上述四种清洁。可以在必要时选择与气体吹扫不同的清洁。例如，可以进行气体吹扫和不同于气体吹扫的上述三种清洁之一的组合，或者气体吹扫和不同于气体吹扫的上述三种清洁中的两种的组合。可以恒定地进行气体吹扫，并且可以在必要时间歇地进行不同于气体吹扫的上述三种清洁。为了进行间歇式清洁，上述三种清洁可以同时进行，或者每一种清洁可以依次进行。在该实施方案中，将本发明的针板拉幅机13引入膜生产线10中。然而，生产线不限于上述。可以将针板拉幅机安装在其它生产线，如生产料片(web)的料片生产线上。在该实施方案中，本发明适用于针板拉幅机。然而，它不限于上述。本发明还可以适用于夹具拉幅机。在这种情况下，具有夹具的载体主体构成环形回路移动部分。优选在上述实施方案中制备的膜37的宽度不小于1400mm，并且不大于2500mm。在膜37的宽度超过2500mm的情况下，本发明也是有效的。优选在上述实施方案中制备的膜37的厚度不小于20#m并且不大于100#nu更优选膜37的厚度不小于20;/m并且不大于80pm。最优选膜37的厚度不小于30//m并且不大于70一m。在上述实施方案中，由一种涂料制备单层膜。本发明在制备具有多层结构的流延膜方面也是有效的。在这种情况下，使用任何已知的方法用于将需要数量的涂料同时或按序流延，并且所用的方法不受具体限制。日本专利公开出版物2005-104148的至段详细描述了流延模、减压室和支撑体的结构、共流延、剥离、拉伸、每一个工序的干燥条件、处理方法、巻曲、在矫正平面性之后的收巻方法、溶剂回收方法和膜回收方法。上面的描述可以适用于本发明。在日本专利公开出版物2005-104148的[1073]至[1087]段中公开了制备的膜的性能、巻曲度、厚度及它们的测量方法。上面的描述可以适用于本发明。优选对制备的膜的至少一个表面进行表面处理，以提高制备的膜与例如偏振滤光器的光学部件的粘附性。优选进行作为表面处理的下列处理中的至少一个例如，真空辉光放电、在大气压下的等离子体放电、UV-射线辐照、电晕放电，火焰处理，酸处理和碱处理。通过将需要的功能层安置到至少一个表面上，可以将制备的膜37用作功能膜。功能层的实例是抗静电层、固化树脂层、抗反射层、容易粘附层、防眩层、光学补偿层等。例如，通过将抗反射层安置到制备的膜37上制备抗反射膜。所述抗反射膜防止光的反射，并且用来实现高图像质量。在日本专利公开出版物2005-104148的至[1072]段中详述了用于将各种功能赋予给膜的上述功能层及其形成方法。这些描述可以适用于本发明。具体而言，将所述聚合物膜用于在日本专利公开出版物2005-104148中详述的TN型，STN型，VA型，OCB型，反射型和其它类型的LCD器件。接着，在下面描述在涂料生产线20中生产的涂料的原料。优选使用纤维素酯作为涂料的原料以制备具有高透明度的膜。在涂料中含有的纤维素酯是例如，纤维素的低级脂肪酸酯，如三乙酸纤维素、乙酸丙酸纤维素和丁酸酰化纤维素。为了形成具有优异的光学透明度的膜，优选酰化纤维素，并且特别优选三乙酰基纤维素(TAC)。在上述实施方案中使用的涂料包含TAC作为聚合物。优选使用其至少90重量。/。具有0.1mm至4mm的直径的TAC颗粒。优选的是，在酰化纤维素中酰基对羟基的取代度优选满足所有下列数学表达式(a)-(c)以制备具有高透明度的膜。(a)2.5《A+B。.0(b)OsA。.0(c)0sBs2.9在这些数学表达式(a)至(c)中，A是乙酰基对羟基氢原子的取代度，并且B是具有3至22个碳原子的酰基对羟基氢原子的取代度。纤维素由进行(3-l,4结合的葡萄糖单元构成，并且每个葡萄糖单元在2、3和6位具有游离羟基。酰化纤维素是其中部分或全部羟基酯化使得氢被具有两个或更多个碳的酰基取代的聚合物。在酰化纤维素中的酰基取代度是在纤维素中的2、3或6位的羟基的酯化度。因此，当在相同位置的所有(100%)羟基被取代时，在此位置的取代度为l。当将酰基对每一个葡萄糖单元的2、3或6位的羟基的取代度分别描述为DS2、DS3和DS6时，酰基对在2、3和6位的羟基的总取代度(即DS2+DS3+DS6)优选在2.00至3.00的范围内，更优选在2.22至2.90的范围内。特别优选DS2+DS3+DS6在2.40至2.88的范围内。另夕卜，DS6/(DS2+DS3+DS6)优选为至少0.28，并且更优选为至少0.30。特别优选DS6/(DS2+DS3+DS6)在0.31至0.34的范围内。在酰化纤维素中可以含有一种或多种酰基。当使用两种或更多种酰基时，优选它们中的一种是乙酰基。如果将在2、3或6位乙酰基对羟基的总取代度和除乙酰基以外的酰基对羟基的总取代度分别描述为DSA和DSB，则优选值DSA+DSB在2.22至2.90的范围内。特别优选值DSA+DSB在2.40至2.88的范围内。优选DSB是至少0.30,并且尤其优选DSB是至少0.7。此外，在DSB中的6位的羟基的取代基的百分比优选是至少20%，更优选是至少25%，还更优选是至少30%，并且特别优选是至少33%。此外，在酰化纤维素的6位的值DSA+DSB优选是至少0.75，更优选是至少0.80，并且特别优选是0.85。使用满足上述条件的酰化纤维素制备具有优异的溶解度的涂料。特别是在将非氯类有机溶剂与上述酰化纤维素一起使用时，制备了具有优异的溶解度、低粘度和优异的过滤性的涂料。可以由棉绒或纸浆制备作为酰化纤维素的原料的纤维素。酰化纤维素的含至少2个碳原子的酰基可以是脂族基团或芳基，并且不受特别限制。作为酰化纤维素的实例，有烷基羰基酯、链烯基羰基酯、芳族羰基酯、芳族烷基羰基酯等。此外，酰化纤维素还可以是含有其它取代基的酯。优选的取代基是丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、辛酰基、癸酰基、十二碳酰基、十三碳酰基、十四碳酰基、十六碳酰基、十八碳酰基、异丁酰基、叔丁酰基、环己垸羰基、油酰基、苯甲酰基、萘基羰基、肉桂酰基等。在它们之中，特别优选丙酰基、丁酰基、十二碳酰基、十八碳酰基、叔丁酰基、油酰基、苯甲酰基、萘基羰基、肉桂酰基等，并且尤其优选丙酰基和丁酰基。在曰本专利公开出版物2005-104148中的段至中详述了可用于本发明的酰化纤维素。这些描述可以适用于本发明。作为涂料的原料之一的溶剂优选是能够溶解聚合物的有机化合物。在本发明中，涂料是通过将聚合物溶解或分散于溶剂中制备的混合物。因此，还可以使用对聚合物具有低溶解度的溶剂。用于制备涂料的优选溶剂化合物是例如，芳族烃(例如苯、甲苯等)、卤代烃(例如二氯甲烷、氯仿、氯苯等)、醇(例如甲醇、乙醇、正丙醇、正丁醇、二甘醇等)、酮(例如丙酮、甲基乙基酮等)、酉旨(例如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯等)、醚(例如四氢呋喃、甲基溶纤剂等)等。还可以使用混合的溶剂，其中混合两种或更多种上述溶剂化合物。在上述溶剂化合物之中，优选二氯甲烷。在使用二氯甲垸的情况下，制备了具有优异的溶解度的涂料，并且在流延膜中含有的溶剂在短时间内蒸发而形成膜。在上述卤代烃之中，优选含1至7个碳原子的卤代烃。考虑到物理性能如TAC的溶解度、流延膜从支撑体上的剥离性(即表示剥离的难易的指标)、膜的机械强度和光学性能，优选将至少一种含1至5个碳原子的醇和二氯甲烷一起使用。相对于溶剂中的全部溶剂化合物，醇含量优选在2重量％至25重量％的范围内，并且更优选在5重量％至20重量％的范围内。醇的具体实例是甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇等。优选使用甲醇、乙醇、正丁醇或其混合物。为了将对环境的影响最小化，可以在不使用二氯甲烷的情况下制备涂料。在这种情况下，可以使用包含具有4至12个碳原子的醚、具有3至12个碳原子的酮、具有3至12个碳原子的酯或它们的混合物的溶剂。所述醚、酮和酯可以具有环状结构。在有机溶剂中可以包含具有其至少两个官能团(_0-、-CO-和-COO-)的至少一种溶剂化合物。溶剂可以含有其它官能团，如醇羟基。在溶剂化合物含有两种或更多种官能团的情况下，碳数不受具体限制，只要它在具有所述官能团的任何一个的化合物的规定界限内即可。可以在必要时将熟知的添加剂如增塑剂、UV吸收剂、劣化抑制剂、润滑剂和剥离促进剂加入涂料中。可以使用熟知的增塑剂，例如，磷酸酯增塑剂如磷酸三苯酯和磷酸联苯二苯酯、邻苯二甲酸酯增塑剂如邻苯二甲酸二乙酯和聚酯聚氨酯弹性体等。优选将细粒加入涂料中以调节膜的折射率，并且防止膜的粘附。优选使用二氧化硅衍生物作为细粒。本发明的术语"二氧化硅衍生物"包括具有三维网络结构的二氧化硅和有机硅树脂。优选具有烷基化表面的二氧化硅衍生物。将疏水化的颗粒如烷基化颗粒良好地分散于溶剂中。作为结果，制备了涂料，并且在没有细粒的凝聚的情况下制备膜。从而，制备了具有高透明度和很少的表面缺陷的膜。作为上述具有垸基化表面的细粒的一个实例，可以使用可商购的AerosilR805(由DegussaJapan有限公司生产)等，该AerosilR805是在表面上引入有辛基的二氧化硅衍生物。为了制备具有高透明度的膜，同时确保细粒的作用，相对于涂料的固含量，细粒的含量优选不大于0.2%。另外，为了防止细粒干扰光，平均粒径优选不大于1.0pm并且更优选为0.3!^m至1.0Hm，并且最优选为0.4(im至0.8pm。如上所述，优选使用TAC制备具有优异的光学透明度的纤维素酯膜。在这种情况下，相对于混合有溶剂和添加剂的涂料的总量，TAC的比率优选为5重量％至40重量％，并且更优选为15重量％至30重量％。特别优选TAC的比率为17重量％至25重量％。相对于在涂料中含有的所有固体内含物，包括聚合物和其它添加剂，添加剂(主要为增塑剂)的比率优选为1重量％至20重量％。在日本专利出版物2005-104148的段至中描述了溶齐U、添加剂，如增塑剂、uv吸收剂、劣化抑制剂、润滑剂、剥离促进剂、光学各向异性控制剂、延迟控制剂、染料和剥离剂，以及细粒。这些描述可以适用于本发明。另外，在日本专利公开出版物2005-104148的至中公开了使用TAC的涂料的制备方法，包括例如材料、原料、溶解方法和添加剂的加入方法，过滤方法和消泡。这些描述可以适用于本发明。[实施例]使用在图1中所示的膜生产线10制备膜37。通过供料头21将适当量的涂料从涂料生产线20供给到流延模23中。将涂料从流延模23流延到连续旋转的鼓轮22上。因此形成了流延膜24。流延模23的排出口是宽度为1.8m的狭缝。在流延时的涂料的温度为36°C。供料头21的内部温度为36。C。将减压室32的压力设定为600Pa，并且降低相对于鼓轮22的旋转方向在流道的上游的区域的压力。鼓轮22为能够控制转数的不锈钢鼓轮。将冷却剂从传热介质供给装置(未显示)供给到鼓轮22的内部。因此，将鼓轮22的表面温度调节为-10。C。使用温度控制器30将流延室11的内部温度恒定保持在35°C。将流延膜24冷却并且凝胶化。当流延膜24获得自支撑性能时，使用剥离辊26将流延膜24剥离作为湿膜25。之后，将湿膜25送到传送部分12中。在通过多根辊35输送的同时，将湿膜25输送通过传送部分12。在输送过程中，将调节为40°C的干燥空气从鼓风机36供给到传送部分12中，并且干燥膜37。如在图2中所示，通过销钉72(参见图4)刺穿并且固定湿膜25的边缘25a。在这种状态下，输送湿膜25。如在图3中所示，在湿膜25的输送通道上面并且沿着该通道安置干燥空气导管52，并且在湿膜25的输送通道下面并且沿着该通道安置干燥空气导管53。在第一冷却区84中，通过冷却空气冷却销钉载体58、销钉72和针板73。在第二冷却区86中，通过冷却空气冷却销钉72和针板73。如在图1中所示，将湿膜25从针板拉幅机13送到夹具拉幅机14中。在夹具拉幅机14中，在固定边缘25a的同时，输送湿膜25。将湿膜25在输送的同时干燥。因此，制备了膜37。使用切边装置15沿着其每一条从膜37的两个侧边向里50mm的线切割膜37的边缘25。切边装置15具有NT切割机，所述NT切割机被设置在膜37的前端从夹具拉幅机14的出口起在30秒内所到达处的位置。使用切割机鼓风机(未显示)将被切割的膜37的边缘送到粉碎机66中。将被切除的边缘粉碎为平均约80mr^的碎片。将预热室(未显示)安置在切边装置15和干燥装置16之间。通过将100。C的干燥空气供给到预热室中将膜37预热。之后，将膜37送到干燥装置16中。在干燥装置16中，将膜37在跨接多个辊67的同时输送。将膜37在输送的同时干燥。调节干燥装置16的内部温度，以使膜37的表面温度为140。C。膜37在干燥装置16中的干燥时间为10分钟。使用温度计(未显示)测量膜37的表面温度，所述温度计被安置在膜37的输送通道的正上方并且接近该通道的位置。在干燥装置16中，使用回收装置69回收从膜37蒸发的溶剂蒸气。回收装置69具有为活性炭的吸附剂和为干燥氮气的脱附剂。在回收溶剂蒸气之后，将在溶剂蒸气中的水含量除去直至不大于0.3重量％。将水分控制室(未显示)安置在干燥装置16和冷却装置17之间。将温度为50。C并且露点为20。C的空气供给到膜37上。之后，将在90。C以及湿度为70%的空气直接吹送到膜37上，以使控制膜37中的巻曲变平滑。接着，将膜37送到冷却装置17中。将膜37逐渐冷却直至温度变成不高于30。C。将膜37送到收巻装置18中。在使用压棍71将50N/m的压力施加到膜37上的同时，将膜37在收巻轴70周围收巻。收巻轴70的直径为169mm。在收巻开始时的张力为300N/m。在收巻结束时的张力为200N/m。从而将膜37以巻材的形式收巻。制备的膜37的宽度为1700mm。制备的膜37的厚度为80pm。在整个膜生产过程中，流延膜24和膜37的平均干燥速度为20重量％/分钟。如下描述在实施方案中使用的涂料的原料的四种组成。[组成1]二氯甲烷甲醇丁醇zK(百分比以夕卜(outerpercentage))[组成2]二氯甲垸甲醇丁醇水(百分比以外)[组成3]二氯甲烷甲醇丁醇水(百分比以外)[组成4]二氯甲垸甲醇丁醇水(百分比以外)83.5重量份16重量份0.5重量份0.2至i.o重:份:份:份84.5113.52重量份0.2至i.o重::份85重量份12重量份3重量份0.2至i.o重::份92重量份8重量份0重量份0.2至1.0重量份另外，将下列材料加入上述组成1至4的每一种中。TAC100重量份增塑剂A7.6重量份增塑剂B3.8重量份UV吸收剂a0.7重量份UV吸收剂b0.3重量份柠檬酸酯混合物0.006重量份细粒0.05重量份上述TAC是满足下列条件的粉末取代度为2.84，粘度平均聚合度为306，水含量为0.2重量％，6重量。/。的二氯甲垸溶液的粘度为315m尸"j，平均粒径为1.5mm，并且平均粒径的标准偏差为0.5mm。增塑剂"A"为磷酸三苯酯。增塑剂"B，，为磷酸二苯酯。UV试剂"a"为(2-(2，-羟基-3，,5，-二叔丁基苯基)苯并三唑)，并且1^试剂"『为(2-(2，-羟基-3，，5，-二叔戊基苯基)-5-氯苯并三唑)。柠檬酸酯混合物是柠檬酸、柠檬酸单乙酯、柠檬酸二乙酯和柠檬酸三乙酯的混合物。细粒是平均粒径为15nm并且莫氏硬度约为7的二氧化硅。在制备涂料时，加入延迟控制剂(N-N'-二-间甲苯基-N"-对-甲氧基苯基-1,3,5-三嗪-2,4,6-三胺)使得该延迟控制剂的量是制备的膜37的总量的4.0重量％。接着，如实施例1至4，比较例1和参考实施例1和2(参见表1)中所述，清洁在针板拉幅机13中的销钉72、针板73等。[实施例1]在喷气清洁区83中，将氮气吹送到销钉72、针板73、载体主体74、轨道44a和44b以及导辊76至79上(以下称为喷气清洁)。[实施例2]除喷气清洁以外，还在蒸汽清洁区82中通过喷嘴120a至120c将蒸汽吹送到销钉72、针板73、轨道44a和44b、载体主体74以及导辊76至79上(以下称为蒸汽清洁)。[实施例3]除喷气清洁和蒸汽清洁以外，还从轨道盖54和55吹扫氮气(以下称为气体吹扫)。[实施例4]除喷气清洁、蒸汽清洁和气体吹扫以外，还在干冰清洁区85中将混合有干冰颗粒的混合空气148吹送到销钉72、针板73、载体主体74、轨道44a和44b以及导辊76至79上(以下称为干冰清洁)。[比较例1]不对销钉72、针板73、载体主体74、轨道44a和44b以及导辊76至79进行喷气清洁、蒸汽清洁、气体吹扫和干冰清洁中的任一个。[参考实施例1]只进行干冰清洁。[参考实施例2]只进行干冰清洁和气体吹扫。上述实施例1至4、比较例1和参考实施例1和2的结果示于表1中。在表1中，El至E4表示实施例1至4。CE1表示比较例1。RE1和RE2表示参考实施例1和2。"喷气"表示喷气清洁。"蒸汽"表示蒸汽清洁。"干冰"表示干冰清洁。"Y"表示进行清洁或气体吹扫。"N"表示不进行清洁或气体吹扫。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>在表1中，针板清洁效果表示将粘附到针板73上的杂质除去的何种程度。导辊清洁效果表示将粘附到导辊76至79上的杂质除去的何种程度。在效果的评价中，"A"表示完全除去杂质，并且针板73或导辊76至79保持不需维护状态一年半多。"B"表示除去杂质达到针板73或导辊76至79保持不需维护状态一年半多这种程度。"C"表示除去杂质达到针板73或导辊76至79保持不需维护状态超过一年而不超过一年半这种程度。"D"表示除去杂质达到针板73或导辊76至79保持不需维护状态超过半年而不超过一年这种程度。"E"表示除去杂质达到针板73或导辊76至79保持不需维护状态不超过半年这种程度。在实施例中，将保持不需维护状态超过半年的那些认为是有效的。除喷气清洁以外，还通过进行蒸汽清洁和气体吹扫，提高了清洁效果。特别是，通过增加气体吹扫，完全除去了杂质。如从参考实施例明显看出，单独的干冰清洁与喷气清洁一样有效。尽管参考附图通过其优选实施方案充分描述了本发明，但是对于本领域技术人员，各种变化和修改将是明显的。因此，除非这些变化和修改偏离本发明的范围，否则应当将它们解释为包含于本发明中。权利要求1.一种用于干燥膜的方法，所述方法包括下列步骤在通过固定构件固定所述膜的侧边部分的状态下，使用一对环形回路移动部分输送所述膜的同时，通过将干燥空气吹送到所述膜上而干燥所述膜，所述环形回路移动部分的每一个配置有载体主体，所述载体主体具有以预定的间隔排列的所述固定构件；和在将所述膜从所述固定构件上释放之后，通过将气体吹送到所述固定构件和所述载体主体上，清洁所述固定构件和所述载体主体。2.权利要求1所述的方法，还包括下列步骤在将所述膜从所述固定构件上释放之后，并且在所述清洁步骤之前，通过将蒸汽吹送到所述固定构件和所述载体主体上，清洁所述固定构件和所述载体主体。3.权利要求1所述的方法，还包括下列步骤将惰性气体供给到导管中，并且从所述导管吹出所述惰性气体，所述导管在所述膜被所述固定构件固定处的区域中覆盖所述载体主体。4.权利要求3所述的方法，其中所述惰性气体在所述导管上的供给位置和回收位置在将所述膜从所述固定构件释放处的膜释放位置附近。5.—种溶液流延方法，所述方法包括下列步骤通过将含有聚合物和溶剂的涂料流延到连续移动的载体上形成流延膜；将所述流延膜从所述载体上剥离作为湿膜；在通过固定构件固定所述湿膜的侧边部分的状态下，使用一对环形回路移动部分输送所述湿膜的同时，通过将干燥空气吹送到所述湿膜上干燥所述湿膜，所述环形回路移动部分的每一个具有以预定间隔配置有所述固定构件的载体主体；和在将所述湿膜从所述固定构件上释放之后，通过将气体吹送到所述固定构件和所述载体主体上，清洁所述固定构件和所述载体主体。6.—种膜干燥设备，其包含一对用于输送膜的环形回路移动部分，所述环形回路移动部分的每一个配置有载体主体，所述载体主体具有用于固定所述膜的侧边部分的固定构件，所述固定构件以预定的间隔排列在所述载体主体上；干燥部分，其用于通过将干燥空气吹送到所述膜上而干燥所述膜，所述膜是通过所述固定构件固定并且输送的；和吹气清洁部分，其用于在将所述膜从所述固定构件上释放之后，通过将气体吹送到所述固定构件和所述载体主体上而清洁所述固定构件和所述载体主体。7.权利要求6所述的膜干燥设备，还包含蒸汽清洁部分，所述蒸汽清洁部分用于通过将蒸汽吹送到所述固定构件和所述载体主体上而清洁所述固定构件和所述载体主体，所述蒸汽清洁部分被安置在相对于所述载体主体的移动方向的所述吹气清洁部分的上游。8.权利要求6所述的膜干燥设备，还包含导管，其用于覆盖位于所述干燥部分中的所述载体主体和轨道；惰性气体供给部分，其用于将惰性气体供给到所述导管中，并且从所述导管中吹出所述惰性气体；和惰性气体循环部分，其用于在通过所述惰性气体供给部分将所述导管保持在加压状态的同时，从所述导管中回收所述惰性气体，并且将所述回收的惰性气体供给到所述惰性气体供给部分中。9.权利要求8所述的膜干燥设备，其中在所述导管上的所述惰性气体的供给位置和回收位置在返回通道构件附近，所述返回通道构件被安置在所述干燥部分的出口侧的所述轨道的端部。全文摘要在针板拉幅机中，将湿膜在通过销钉刺穿所述湿膜的边缘的状态下输送并且干燥。将所述多根销钉固定到针板上。通过销钉载体支撑所述针板。将所述销钉载体设置在轨道之间。通过所述轨道引导所述销钉载体的移动。在蒸汽清洁区中，通过吹送蒸汽除去粘附到所述销钉、所述针板和所述销钉载体上的杂质。在喷气清洁区中，通过吹送氮气吹走并且除去在所述蒸汽清洁后残留的杂质和残留的水分。文档编号F26B13/10GK101275808SQ200810085889公开日2008年10月1日申请日期2008年3月28日优先权日2007年3月29日发明者中村敏和,加藤盛孝申请人:富士胶片株式会社