一种晶硅太阳能电池旋转烧结炉及其烧结工艺的制作方法

文档序号:12109422阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶硅太阳能电池旋转烧结炉,其特征在于:所述烧结炉内部为叠层设计,所述叠层设计为烘干区、烧结区、冷却区三个区域上中下依次独立且叠层的排列在一起;烧结炉内部还设置有用于输送电池片的履带装置,所述履带沿着三个叠层区域旋转流动,携带电池片分别经过烘干区、烧结区、冷却区;烧结炉上还设置有有机排风装置。

2.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池旋转烧结炉,其特征在于,所述有机排风装置的排风流动方向是:CDA首先从烧结区进入,然后流入到烘干区,从烘干区的出口排出。

3.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池旋转烧结炉,其特征在于,烧结炉是圆形转盘结构,围绕固定的中心轴转动。

4.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池旋转烧结炉,其特征在于,

所述烘干区、烧结区、冷却区三个叠层区域均为圆盘形结构。

5.利用权利要求1至4任一项所述的晶硅太阳能电池旋转烧结炉进行烧结的工艺,其特征在于:所述的烘干区共有四个区,四个区的温度设定分别为280℃、320℃、340、360℃;所述烧结区分为8个区域,温度分别为530、570、620、680、700、855、945℃、880℃;所述冷却区的温度要求低于90℃。

6.利用权利要求1至4任一项所述的晶硅太阳能电池旋转烧结炉进行烧结的工艺,其特征在于:所述的烘干区共有3个区,3个区的温度设定分别为280℃、320℃、340℃;所述烧结区分为6个区域,温度分别为530、570、620、700、855、945℃;所述冷却区的温度要求低于90℃。

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