一种陶瓷靶材加工用烧结装置的制作方法

本实用新型涉及陶瓷靶材加工领域，特别涉及陶瓷靶材加工用烧结装置。

背景技术：

陶瓷靶是制备薄膜时使用的源材料，广泛应用于溅射镀膜、脉冲激光沉积等技术中，陶瓷靶材的制备一般要经过粉末制备、粉末成形、烧结与切割加工等几个工艺步骤，现有的陶瓷靶材加工用烧结装置的成本高，结构设计复杂，从而拆卸安装检修困难，并且烧结后需要进行自然冷却，从而速度慢效率低，并且高温易造成烫伤，安全性能低，因此，如何使得陶瓷靶材加工用烧结装置成本低、结构设计简单合理、安全性能高、拆卸安装检修简便以及烧结完后冷却速度快效率高，是本技术领域技术人员有待解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型为了解决现有技术的问题，提供了一种成本低、结构设计简单合理、安全性能高、拆卸安装检修简便以及烧结完后冷却速度快效率高的陶瓷靶材加工用烧结装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种陶瓷靶材加工用烧结装置，包括烧结罐机构、盛料架机构和底座机构，盛料架机构的一端卡设在烧结罐机构的内部，盛料架机构的另一端盖设并且固定连接在烧结罐机构上，烧结罐机构架设并且固定连接在底座机构上，所述烧结罐机构设有烧结罐主体，烧结罐主体呈内部中空的圆柱体形状，烧结罐主体的一端设有开口，烧结罐主体的开口上固定设有一圈密封橡胶圈垫，烧结罐主体的开口上设有两个烧结罐螺栓穿孔并且对称分布，烧结罐主体的另一端设有两个透气圆口并且对称分布，透气圆口内通过螺纹连接的方式固定连接有塞盖，塞盖上固定设有赛盖把手，烧结罐主体上固定设有固定框架，固定框架设置在两个透气圆口之间，烧结罐主体的内壁上固定设有多个加热管并且均匀分布，加热管呈弧形，烧结罐主体的顶部上凹陷设有四个顶部固定槽，顶部固定槽内固定设有电动伸缩杆，并且电动伸缩杆穿设过烧结罐主体的顶部，电动伸缩杆上固定设有压板，烧结罐主体的底部上开设有底部开口，烧结罐主体的底部上固定连接有通风箱，通风箱设置在底部开口的正下方，通风箱上穿设并且固定连接有风机，烧结罐主体的底部上设有底部凹槽和底部插槽，封堵插固板通过底部凹槽从而插设固定在底部插槽内。

所述烧结罐主体的表面上喷涂有隔热涂料，塞盖的表面上喷涂有隔热涂料。

所述封堵插固板设有插固板主体，插固板主体呈弧形板状结构，插固板主体的一端上固定连接有推拉板，推拉板上设有推拉板把手口，封堵插固板的表面上喷涂有隔热涂料。

所述盛料架机构设有盛料架板，盛料架板上凹陷设有四个盛料槽，盛料槽的顶口处固定设有盛料槽顶口框，盛料架板的一端上固定连接有面盖板，面盖板呈圆形板状结构，面盖板上固定设有两个面盖板把手并且对称分布，面盖板上设有两个面盖板螺栓穿孔并且对称分布，面盖板螺栓穿孔内固定连接有固定螺栓，面盖板的表面上喷涂有隔热涂料。

所述底座机构设有底座主板，底座主板的底部上固定设有多个万向滚轮并且均匀分布，底座机构设有两个弧形板，弧形板的两端上分别固定连接有一个支撑板，支撑板的底部固定连接在底座主板的顶部上，烧结罐主体架设并且固定连接在两个弧形板上。

所述盛料架板的一端卡设固定在固定框架内，面盖板盖设在烧结罐主体的开口上，并且固定螺栓固定连接在烧结罐螺栓穿孔内。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型烧结罐机构、盛料架机构和底座机构之间的搭配设置，使得此陶瓷靶材加工用烧结装置的成本低，结构设计简单合理，从而在拆卸安装检修使用操作时十分简单方便，并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置在陶瓷靶材烧结完之后可快速冷却从而使得加工效率高，并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置可防止高温烫伤，从而安全性能高。

附图说明

图1是本实用新型的立体图。

图2是本实用新型的剖视图。

图3是本实用新型的烧结罐机构的侧视图。

图4是本实用新型的封堵插固板的立体图。

图5是本实用新型的盛料架机构的俯视图。

图1～5中：1、烧结罐机构；1-1、烧结罐主体；1-2、密封橡胶圈垫；1-3、烧结罐螺栓穿孔；1-4、透气圆口；1-5、塞盖；1-6、赛盖把手；1-7、固定框架；1-8、加热管；1-9、顶部固定槽；1-10、电动伸缩杆；1-11、压板；1-12、底部开口；1-13、通风箱；1-14、风机；1-15、底部凹槽；1-16、底部插槽；1-17、封堵插固板；171、插固板主体；172、推拉板；173、推拉板把手口；2、盛料架机构；2-1、盛料架板；2-2、盛料槽；2-3、盛料槽顶口框；2-4、面盖板；2-5、面盖板把手；2-6、面盖板螺栓穿孔；2-7、固定螺栓；3、底座机构；3-1、底座主板；3-2、万向滚轮；3-3、弧形板；3-4、支撑板；a、陶瓷靶材。

具体实施方式

如图1～5所示的一种陶瓷靶材加工用烧结装置，包括烧结罐机构1、盛料架机构2和底座机构3，盛料架机构2的一端卡设在烧结罐机构1的内部，盛料架机构2的另一端盖设并且固定连接在烧结罐机构1上，烧结罐机构1架设并且固定连接在底座机构3上，所述烧结罐机构1设有烧结罐主体1-1，烧结罐主体1-1呈内部中空的圆柱体形状，烧结罐主体1-1的一端设有开口，烧结罐主体1-1的开口上固定设有一圈密封橡胶圈垫1-2，烧结罐主体1-1的开口上设有两个烧结罐螺栓穿孔1-3并且对称分布，烧结罐主体1-1的另一端设有两个透气圆口1-4并且对称分布，透气圆口1-4内通过螺纹连接的方式固定连接有塞盖1-5，塞盖1-5上固定设有赛盖把1-6手，烧结罐主体1-1上固定设有固定框架1-7，固定框架1-7设置在两个透气圆口1-4之间，烧结罐主体1-1的内壁上固定设有多个加热管1-8并且均匀分布，加热管1-8呈弧形，烧结罐主体1-1的顶部上凹陷设有四个顶部固定槽1-9，顶部固定槽1-9内固定设有电动伸缩杆1-10，并且电动伸缩杆1-10穿设过烧结罐主体1-1的顶部，电动伸缩杆1-10上固定设有压板1-11，烧结罐主体1-1的底部上开设有底部开口1-12，烧结罐主体1-1的底部上固定连接有通风箱1-13，通风箱1-13设置在底部开口1-12的正下方，通风箱1-13上穿设并且固定连接有风机1-14，烧结罐主体1-1的底部上设有底部凹槽1-15和底部插槽1-16，封堵插固板1-17通过底部凹槽1-15从而插设固定在底部插槽1-16内。

所述烧结罐主体1-1的表面上喷涂有隔热涂料，塞盖1-5的表面上喷涂有隔热涂料。

所述封堵插固板1-17设有插固板主体171，插固板主体171呈弧形板状结构，插固板主体171的一端上固定连接有推拉板172，推拉板172上设有推拉板把手口173，封堵插固板1-17的表面上喷涂有隔热涂料。

所述盛料架机构2设有盛料架板2-1，盛料架板2-1上凹陷设有四个盛料槽2-2，盛料槽2-2的顶口处固定设有盛料槽顶口框2-3，盛料架板2-1的一端上固定连接有面盖板2-4，面盖板2-4呈圆形板状结构，面盖板2-4上固定设有两个面盖板把2-5手并且对称分布，面盖板2-4上设有两个面盖板螺栓穿孔2-6并且对称分布，面盖板螺栓穿孔2-6内固定连接有固定螺栓2-7，面盖板2-4的表面上喷涂有隔热涂料。

所述底座机构3设有底座主板3-1，底座主板3-1的底部上固定设有多个万向滚轮3-2并且均匀分布，底座机构3-1设有两个弧形板3-3，弧形板3-3的两端上分别固定连接有一个支撑板3-4，支撑板3-4的底部固定连接在底座主板3-1的顶部上，烧结罐主体1-1架设并且固定连接在两个弧形板3-3上。

所述盛料架板2-1的一端卡设固定在固定框架1-7内，面盖板2-4盖设在烧结罐主体1-1的开口上，并且固定螺栓2-7固定连接在烧结罐螺栓穿孔1-3内。

当使用此陶瓷靶材加工用烧结装置时，首先将陶瓷靶材a放置入盛料槽2-2内，再将盛料架板2-1的一端卡设固定在固定框架1-7内，并且使得面盖板2-4盖设在烧结罐主体1-1的开口上，并且使得固定螺栓2-7固定连接在面盖板螺栓穿孔2-6内和烧结罐螺栓穿孔1-3内，此时封堵插固板1-17插设在底部插槽1-16内从而将底部开口1-12封堵住，再将加热管1-8、电动伸缩杆1-10和风机1-14都接通电源进行通电，再启动电动伸缩杆1-10使得压板1-11压至盛料槽2-2内的陶瓷靶材a上并且启动加热管1-8进行烧结，当烧结完成后，首先启动电动伸缩杆1-10使得压板1-11离开盛料架机构2，再将封堵插固板1-17从底部插槽1-16内取下以及将塞盖1-5从透气圆口1-4内取下，并且启动风机1-14进行通风冷却处理，最后将盛料架机构2从烧结罐机构1上取下并且取出烧结成型的陶瓷靶材a即可，密封橡胶圈垫1-2起到密封的作用，透气圆口1-4、底部开口1-12、通风箱1-13和风机1-14的搭配设置起到通风冷却的作用，封堵插固板1-17起到封堵底部开口1-12的作用，隔热涂料起到防烫伤的作用。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型烧结罐机构1、盛料架机构2和底座机构3之间的搭配设置，使得此陶瓷靶材加工用烧结装置的成本低，结构设计简单合理，从而在拆卸安装检修使用操作时十分简单方便，并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置在陶瓷靶材烧结完之后可快速冷却从而使得加工效率高，并且使得此陶瓷靶材加工用烧结装置可防止高温烫伤，从而安全性能高。