晶片清洗用离心清洗脱水装置的制作方法

文档序号:16481546发布日期:2019-01-04 22:44阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及晶片清洗用离心清洗脱水装置,包括清洗箱,清洗箱内从上到下依次设置有清洗腔、污水腔和净水腔,清洗腔正面设置有箱门,清洗箱顶部设置有驱动电机,驱动电机通过转轴连接有位于清洗腔内的转盘,转盘上设置有若干上下通透的晶片固定孔,晶片固定孔内设置有晶片治具,转盘一侧上下方设置有喷水管,喷水管上设置有喷水方向朝向转盘的喷头,喷水管通过导水管连接有位于净水腔内的高压泵,转盘另一侧上下方设置有喷气管,喷气管上设置有喷气方向朝向转盘的喷气头,喷气管通过导气管连接有位于清洗箱顶部的热风机;本实用新型结构新颖、使用方便,晶片清洗干燥效果好,效率高。

技术研发人员:周朱华;王祖勇
受保护的技术使用者:嘉兴晶控电子有限公司
技术研发日:2018.03.09
技术公布日:2019.01.04

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