专利名称：过滤装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种过滤装置。
背景技术：
从半导体密封材料提取的元素根据其种类存在对半导体装置产生影响的情况。制造该半导体密封材料时，进行作为该半导体密封材料的信赖性特性确认的指标的原子吸收光谱分析(以下也称“AAS”)。对于半导体密封材料，进行AAS时，为了得到测定样本，需要将半导体密封材料作为适当的溶液吸引过滤不要的固体成分。此时使用的过滤装置采用安装有吸引器的过滤滤过器。另外，使用该过滤装置时，调整AAS中使用的检测体的时间为每I个检测体在30-60分钟之间。另外，进行AAS时I次的测定中可以使用80个检测体以上。并且，I次AAS的测定时间为每I个检测体不到30分钟。实用新型解决的课题然而，采用所述以往的过滤装置则存在如下不利情况:必须按照样品份数准备吸引装置，难以同时处理多个样品，由于AAS用样品的调整需要花费时间故延迟了原子吸收光谱分析的测定等。
实用新型内容本实用新型要解决的课题是，鉴于上述问题而提供一种能够以较短的时间对大量样本高效率地进行过滤的过滤装置。
根据本实用新型，提供一种过滤装置，具有密闭容器和、对所述密闭容器内脱气的脱气部和、配置为贯通所述密闭容器内外、过滤溶液的过滤部，所述过滤部具有导入过滤前所述溶液的导入部和、排出过滤后所述溶液的排出部，所述导入部配置在所述密闭容器的外部，所述排出部配置在所述密闭容器的内部。实用新型效果:根据本实用新型，可以提供一种能够以较短的时间对大量样本高效率地进行过滤的过滤装置。
图1是表示本实施方式所涉及的过滤装置的截面图。图2是表示本实施方式所涉及的过滤装置的俯视图。符号说明:I…过滤装置10…密闭容器12…连接部[0019]14…过滤部18…导入部19...排出部20…载置台21...储存容器3O…吸引管31...吸引泵32…脱气部33…滤过器 部34…安装部
具体实施方式
以下，采用附图说明本实施方式。另外，在全部的附图中，同样的构件加了同样的符号、适当省略说明。<过滤装置>图1是表示本实施方式所涉及的过滤装置I的截面图。如图1所示，本实施方式所涉及的过滤装置I具有密闭容器10和、对密闭容器10内脱气的脱气部32和、配置为贯通密闭容器10内外来过滤溶液的过滤部14。另外，该过滤装置I中，过滤部14具有导入过滤前的溶液的导入部18和、排出过滤后的溶液的排出部19，所述导入部18配置在密闭容器10的外部，所述排出部19配置在所述密闭容器10的内部。通过这样的构成，可以在短时间内对大量的样本进行高效率地吸引过滤。<密闭容器>密闭容器10可例示的有由顶板、底板以及4个侧壁组成的长方体。但是，密闭容器10只要能将储存容器21收纳在内部即可，没有特别限定。在密闭容器10中设置有:安装过滤部14的具有开口的安装部34和、连接吸引管30的连接部12。另外，安装部34使密闭容器10的内部空间和外部空间相互连通。关于该安装部34和连接部12，后面会有说明。另外，通过开关密闭容器10的某一面来回收被排出到密闭容器10内的滤液。密闭容器10的开关方法只要能回收被排出的滤液即可，没有特别限制。因此，取出被排出到密闭容器10内的滤液时，例如可以将该密闭容器10的顶板作为盖卸下。通过卸下该盖，可以存取密闭容器10内的储存容器21。从而，能够将所得到的滤液和储存容器21 —起从密闭容器10取出。另外，也可以是代替顶板而将侧壁作为盖卸下的形态。在此，在将密闭容器10中盖以外的部件作为容器主体时，盖和容器主体需要安装为气密状态。另外，根据本实施方式所涉及的过滤装置1，如后述那样，相对于一个密闭容器10也可以设置多个过滤部14。此时，在密闭容器10内，优选为在各过滤部14的排出部19的下方的位置上分别配置有载置台20。在该载置台20上，可以载置储存容器21，该储存容器21接收从排出部19被排出的溶液并予以储存。另外，在载置台20上载置储存容器21时，储存容器21的开口位于排出部19的下方。通过这样，能够将用过滤部14吸引过滤而得到的滤液高效率地回收在储存容器21内。[0038]另外，密闭容器10中设置有多个过滤部14时，优选为所述储存容器21和过滤部14是I对I地对应配置的。通过这样，由于可以分别接收从各过滤部14的排出部19排出的溶液并予以储存，故可以无浪费地回收所得到的滤液。<过滤部>过滤部14具有导入过滤前的溶液的导入部18、排出过滤后的溶液的排出部19、以及滤过器部33。在此，导入部18和排出部19通过滤过器部33相互连接。另外，过滤部14设置成通过设置在所述密闭容器10上的安装部34的开口，贯通密闭容器10的顶板。该安装部34上，过滤部14以气密状态安装。另外，为了和安装部34的内侧的贴紧性较好，过滤部14由比安装部34柔软的原材料形成。通过这样，在通过脱气部32使密闭容器10内处于减压状态时，可以良好地控制连接过滤部14和安装部34的部位的气密状态。另外，本实施方式的情况下，滤过器部33只要可以过滤样本即可，没有特别限制，可以列举膜滤过器。通过这样，可以提高过滤的精度。另外，本实施方式的情况下，导入部18配置在排出部19的上方。通过这样，即使通过重力的作用，也可以使过滤前的溶液通过滤过器部33而从导入部18流向排出部19。从而，可以更进一步促进过滤速度，即可以更进一步用短时间对大量的样本高效地进行吸引过滤。图2是表示本实施方式所涉及的过滤装置I的俯视图。如图2所示，优选为相对一个密闭容器10设置多个过滤部14。通过这样，可以对多个种类的样本高效地进行吸引过滤。另外，为了高效率地装入过滤前的溶液，过滤部14中导入部18的形状可以列举有漏斗状。另外，导入部18如上述那样配置在密闭容器10的外部。另外，本实施方式所涉及的过滤部14中排出部19的形状没有特别限制，例如如图1所示，为了容易收取滤液可以设成突出到密闭容器10内部的喷管状。通过这样，滤液可以很容易地被引导到密闭容器10内。<脱气部>脱气部32具有连接部12、吸引管30以及吸引泵31。该脱气部32中，连接部12形成为管状，其设置在密闭容器10中任一个面上，并从密闭容器10的任一个面突出。另外，连接部12使密闭容器10的内部空间和外部空间相互连通。该连接部12上以气密状态安装有吸引管30的一端。吸引泵31上以气密状态安装有吸引管30的另一端。吸引泵31通过吸引管30以及连接部12吸引密闭容器10内的空气。通过这样，可以促进过滤速度，即可以在短时间内吸引过滤大量的样本。另外，本实施方式所涉及的脱气部32中，连接部12不仅限于突出的形状。另外，连接部12也可以仅仅是在侧壁上形成的开口。实施例:<样本的制作>分别将10种半导体密封材料10g、IOg地溶解在200ml丙酮里，得到原子吸光用前
处理液。<过滤装置>[0056]使用图1所示装置。另外，作为过滤滤过器，使用聚四氟乙烯膜滤过器(爱德克(日文:7* K /s' > r '^ )株式会社制，孔径0.2 μ m)。[0057]<过滤方法>首先，将上述装置的密闭容器内部脱气至0.5kPa。然后，保持0.5kPa的压力条件不变，将原子吸光用前处理液导入到导入部，进行30分钟的过滤。另外，滤液储存在载置于密闭容器内的储存容器内。< 结果 >根据实施例的过滤装置，按照每一个检测体3分钟左右来调整AAS中使用的样品。
权利要求1.一种过滤装置，其特征在于， 具有: 密闭容器； 对所述密闭容器内进行脱气的脱气部；以及 配置为贯通所述密闭容器的内外、对溶液进行过滤的过滤部， 所述过滤部具有:导入过滤前的所述溶液的导入部、以及排出过滤后的所述溶液的排出部， 所述导入部配置在所述密闭容器的外部， 所述排出部配置在所述密闭容器的内部。
2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，对应一个所述密闭容器设置有多个所述过滤部。
3.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，在所述一个密闭容器内，在所述多个过滤部的各个所述排出部的下方的位置分别配置有载置台， 各个所述载置台上能够载置储存容器，该储存容器接收从所述排出部排出的所述溶液并进行储存。
4.根据权利要求1或2所述的过滤装置，其特征在于，还具有配置在所述密闭容器内、接收从所述排出部排出的所述溶液并进行储存的储存容器。
5.根据权利要求2或3所述的过滤装置，其特征在于，在所述一个密闭容器内配置有多个所述储存容器，多个所述储存容器与所述多个过滤部一对一地对应配置、分别接收从对应的所述过滤部的所述排出部排出的溶液并进行储存。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的过滤装置，其特征在于，所述导入部配置在所述排出部的上方。
专利摘要一种过滤装置，具有密闭容器(10)、对所述密闭容器(10)内脱气的脱气部(32)、以及配置为贯通所述密闭容器(10)的内外并过滤溶液的过滤部(14)，所述过滤部(14)具有导入过滤前的所述溶液的导入部(18)和排出过滤后的所述溶液的排出部(19)，所述导入部(18)被配置在所述密闭容器(10)的外部，所述排出部(19)被配置在所述密闭容器(10)的内部。本实用新型提供的过滤装置，可以以较短的时间对大量的样本高效率地进行过滤。
文档编号B01D61/58GK203043697SQ20132002352
公开日2013年7月10日 申请日期2013年1月16日 优先权日2013年1月16日
发明者前田将克 申请人:苏州住友电木有限公司