刮条和显影装置的制作方法

文档序号:11067502阅读:536来源:国知局
刮条和显影装置的制造方法

本发明涉及液晶面板制造技术领域,尤其涉及一种刮条和显影装置,该显影装置使用该刮条对显影装置中的药刀口进行清洁。



背景技术:

在液晶面板的制造中,对基板完成曝光后,需要对曝光后的无用光刻胶进行显影液冲洗,以显示出需要的图形,这一过程称为显影。在现有的显影装置中,在显影装置上安装有药刀,药刀均匀地向基板喷洒显影液,以去除无用的光刻胶,进而完成显影过程。

图1a为现有技术中使用的药刀10的截面图,在药刀的下部具有第三斜面11和第四斜面12,在第三斜面11和第四斜面12的交汇处设置有条状狭缝13,药刀通过条状狭缝向基板上喷洒显影液以完成显影过程。图1b为图1a中药刀的仰视图,在仰视图中可以看出,条状狭缝13沿着药刀长度延伸并穿过药刀的两个端面,参看图1b。在实际生产中,为节约成本和环保考虑,显影液要循环使用,随着显影液的药液劣化,药刀在喷洒显影液过程中,可能会出现药刀口被堵塞的风险,药刀口被堵塞后,喷洒在基板上的显影液不再均匀,进而出现显影缺陷,影响了产品的品质。



技术实现要素:

为了避免显影装置中的药刀的条状狭缝被堵塞产生显影缺陷,本发明提出了一种刮条和显影装置,本发明提出的显影装置使用本发明的刮条对药刀的条状狭缝进行清洁,防止条状狭缝被堵塞。

本发明提出了一种显影装置,包括用于喷洒显影液的药刀,所述药刀通过条状狭缝向外喷洒显影液,其特征在于,所述显影装置还包括刮条,所述刮条设置在所述药刀的下方,其中,所述刮条包括刮片,所述刮片伸入到所述条状狭缝中,所述刮条沿所述条状狭缝的延伸方向移动,对所述药刀进行清洁。

这种显影装置,由于增加了对药刀条状狭缝进行清洁的刮条,从而避免了药刀堵塞,保证了药刀向基板上喷出的显影液均匀性,提高了显影过程中产品的品质。

作为对本发明的显影装置的进一步改进,所述刮条沿所述条状狭缝的延伸方向匀速移动,对所述药刀进行清洁。当刮条作匀速清洁时,能够保证清洁的效果,同时保证了刮条沿条状狭缝运动时,刮条和药刀相互之间作用力的均一性,提高了刮条的使用寿命。进一步,当所述刮片伸入至所述条状狭缝中的距离为2mm,保证了刮片的清洁深度,可以获得更好的清洁效果。同时,当所述刮片伸入至所述条状狭缝中的部分在沿所述条状狭缝的宽度方向上的最大宽度比所述条状狭缝的宽度小1mm时,既避免了刮条与药刀摩擦对刮条的损害,又保证了刮条在条状狭缝中顺畅移动,保证了清洁的速度。

本发明同时提出了一种刮条,用于安装在上述所述的显影装置中,所述显影装置包括用于喷洒显影液的药刀,所述药刀通过条状狭缝向外喷洒显影液,其特征在于,所述刮条包括刮片和支持部,所述支持部设置在所述刮片的下部,所述刮片伸入到所述条状狭缝中,对所述药刀进行清洁。

这样设置的刮条,使用刮条的刮片对药刀进行清洁,使用支持部来固定刮条,这样分开设置的刮条,可以使得刮片和支持部在工作时互不影响,保证了刮条的使用寿命。

作为对刮条结构的进一步改进,所述支持部具有第一斜面和第二斜面,所述第一斜面和所述第二斜面之间形成第一角度,所述刮片设置在所述支持部的第一角度处,所述刮片自第一斜面和第二斜面朝向背离所述支持部方向延伸,所述刮片在背离所述支持部的一端呈尖角。

当第一斜面和第二斜面形成夹角时,能够使得刮条靠近药刀,当刮片顶端为尖角时,更有利于刮片伸入到条状狭缝中,以便对药刀进行清洁。

当所述第一角度为180度,有利于刮条的生产制作。

作为对支持部结构的进一步改进,所述药刀包括第三斜面和第四斜面,所述第三斜面和所述第四斜面之间形成第二角度,所述第一角度与所述第二角度相等。这样,当刮条沿条状狭缝移动时,刮条的第一斜面和第二斜面与药刀的第三斜面和第四斜面相互平行,使得支持部可以充分靠近药刀,进而保证刮片伸入到条状狭缝的深度。

作为对刮片结构的进一步改进,所述第一斜面与所述第二斜面相交于第一相交线,所述尖角与所述第一相交线之间的距离大于2mm。尤其当所述刮片包括与所述第一斜面相交的第五斜面,还包括与所述第二斜面相交的第六斜面,所述第五斜面和所述第六斜面相交形成所述尖角时,这种刮片呈三角形状,当尖角与第一相交线之间的距离大于2mm时,可以保证刮片伸入到条状狭缝中的深度能够达到2mm,保证了清洁深度,提高了清洁效率。

总之,本发明提出的显影装置,由于其具有用于对药刀进行清洁的刮条,可以定期对药刀的条状狭缝进行清洁,避免了药刀的堵塞,保证了药刀向基板上喷洒的显影液的均匀性,提高了显影过程中产品的品质。尤其当刮条上的刮片伸入到条状狭缝的距离为2mm时,可以充分对条状狭缝进行清洁,保证了清洁效果,并且当伸入到条状狭缝中的刮片的宽度与条状狭缝的宽度小1mm时,既保证了刮条的顺畅移动,又减少了药刀对刮条的损害,提高了刮条的使用寿命。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:

图1a为现有技术显影装置中药刀的截面示意图;

图1b为图1a的仰视图;

图2为本发明提出的显影装置的剖面结构示意图;

图3为图2中A部分的放大示意图;

图4为本发明提出的刮条的第一种剖面结构示意图;

图5为本发明提出的刮条的第二种剖面结构示意图。

在附图中,相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

图2为本发明提出的显影装置的结构示意图,图3为图2中A部分的局部放大图,结合图2和图3,显影装置包括药刀10和刮条20,图2和图3显示的状态为刮条20对药刀10进行清洁时的药刀10和刮条20的位置关系示意图,刮条20包括刮片22和支持体21,支持体21包括第一斜面211和第二斜面212,第一斜面211和第二斜面212之间形成第一角度θ,药刀10的第三斜面11和第四斜面12之间形成第二角度β,在图2中,第一角度θ与第二角度β相等,这样就能使得刮条20充分接近药刀10,从而保证刮片22能够充分伸入到条状狭缝13中,当刮片22伸入到条状狭缝13中的距离为2mm时,即图2中的D为2mm时,可以充分对条状狭缝进行清洁,保证了清洁的效果。

在图3中,条状狭缝13的宽度为M,刮片22伸入到条状狭缝13中的部分在沿条状狭缝13的宽度M方向上的最大宽度N比M小1mm,这样就能保证刮片22在条状狭缝13中顺畅移动,保证了清洁速度,也避免了刮片22和药刀10之间的相互作用力过大对刮片22造成损害,影响刮片22的寿命。

刮片22沿条状狭缝13的延伸方向运动,对条状狭缝13进行清洁,尤其当刮片22沿条状狭缝13的延伸方向作匀速运动时,能够保证清洁的效果,同时保证了刮条沿条状狭缝运动时,刮条和药刀相互之间作用力的均一性,不仅保证了清洁速度,也提高了刮条的使用寿命。

图4显示了刮条20的剖面结构示意图,刮条20包括刮片22和支持体21,支持体21包括第一斜面211和第二斜面212,第一斜面211和第二斜面212相交于第一相交线213,并形成第一角度θ,第一角度θ与药刀10中的第二角度β相等,这样就能使得刮条20充分接近药刀10,从而保证刮片22能够充分伸入到条状狭缝13中。刮片22设置在第一角度θ处,刮片22自第一斜面211和第二斜面212朝向背离支持体21的方向延伸,并且刮片22在背离支持体21的一端形成尖角223。在刮条20中,刮片22具有第五斜面221和第六斜面222,第五斜面221与第一斜面211相交,第六斜面222与第二斜面212相交,第五斜面221和第六斜面222相交形成尖角223,因此,刮片22呈三角形状,尖角223使得刮片22更容易伸入到条状狭缝中,当尖角223与第一相交线213之间的距离大于2mm时,可以保证刮片伸入到条状狭缝中的深度能够达到2mm,保证了清洁深度,提高了清洁效率。

图5显示了刮条20’的剖面结构示意图,与刮条20不同的是,刮条20’的第一角度θ’呈180度,即第一斜面211’和第二斜面212’处于同一平面上,刮条20’也可实现刮条20的功能,而且由于第一角度θ’呈180度,这样就更利于刮条20’的生产制造。

刮条20可使用一体成型来制作,从而保证尺寸精度和产品合格率。

最后说明的是,以上实施例仅用于说明本发明的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

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