本发明涉及一种将流动性试剂(例如，未硬化的粘合剂)供给到物体上的方法以及经该方法处理的结构体。
背景技术：
迄今为止，硬盘驱动器(hdd)用在诸如个人计算机等信息处理装置中。在硬盘驱动器中，使用头悬架。头悬架包括载重梁、安装在载重梁上的挠性件等。在挠性件的前端部附近形成有万向架部(gimbalportion)，该万向架部包括附接于其上并且构成磁头的滑块。对于滑块，设置访问硬盘的元件或转换器，以进行数据读取或数据写入。
在这样的硬盘驱动器中，重要的是实现硬盘的高密度以便以更高的精度将磁头定位到硬盘的记录表面。
为了该精确定位，存在一种两级致动器(dsa)，该两级致动器将定位马达(音圈马达)和一个或多个微致动器元件(例如，压电元件(锆钛酸铅“pzt”))一起使用。
在初始dsa的头悬架中，一个或多个微致动器元件设置在载重梁和基板之间。所述微致动器元件根据施加到其上的电压而变形，从而在摆动方向(磁道的宽度方向)高速精密地移动头悬架的前端部上的磁头。
最近，作为先进的dsa的头悬架，jp2015-001993a等公开了微致动器元件在挠性件的磁头附近并置或并排设置的并置(co-located)型。
在该并置型中，微致动器元件比毫致动器型更小，并且用于微致动器元件的端子具有大约0.1mm2的非常小的尺寸。
因此，非常重要的是控制用于将微致动器元件附接至挠性件的未硬化试剂(例如，粘合剂和焊膏)的供给速率。
图20是示出批量生产用的链板101的立体图。
在并置型头悬架的批量生产线中，将未硬化试剂施加到多个挠性元件103并排设置并链接在一起的链板101上(如图20所示)。
特别地，相对于链板101间歇地移动供给头105(供给部件)，以便将未硬化试剂限定地供给到每个挠性元件103的每个指定部，形成具有预定量的滴状。在图20中，对于某些挠性元件103，用箭头概念性地示出了试剂的限定的供给。在下文中，指定部被称为“限定部”，并且将试剂限定地供给到限定部也被称为“限定的供给”。
在这种情况下，存在下述问题：如果供给头105从准备位置或初始位置直接移动至链板101上的挠性元件103并在间歇的移动期间开始试剂的限定的供给，则试剂的供给量不稳定，使得第一限定的供给或多个限定的供给中的供给量低于指定水平。
为了解决这个问题，基于类似于jp2006-140288a、jp2007-144348a、jp2011-62579a、jph08-206560a、jp2007-038141a或jp2012-024715a中公开的技术的概念，设置废弃台107，以便在限定的供给之前进行试剂的浪费地供给。在下文中，浪费地供给也被称为“浪费的供给”，并且要进行浪费的供给的部分被称为“废弃部”。
在进行浪费的供给时，如箭头a所示，供给头105从准备位置移动至台107，并在该台107上浪费地供给试剂。然后，如箭头b所示，供给头105移动至第一挠性元件103并将试剂限定地供给到第一挠性元件103上。在下文中，供给头105以恒定的间距移动，以对每个挠性元件103进行限定的供给。
然而，利用台107进行的浪费的供给不足以稳定试剂的限定的供给的相应的供给量。
不稳定的原因之一是台107的废弃部与第一挠性元件103的限定部之间的距离大于相邻的挠性元件103的限定部之间的距离。此外，不稳定的另一个原因是台107的废弃部具有与挠性元件103上的限定部不同的形状。
在供给头105的移动期间，距离不同导致试剂随挥发等而改变特性。
废弃部与限定部之间的形状不同使浪费的供给之后供给头105的喷嘴中的剩余试剂的量与限定的供给之后剩余试剂的量不同。
因此，即使在台107处进行浪费的供给，之后对链板101上的每个挠性元件103进行限定的供给，也仍存在向第一挠性元件103的第一限定的供给的试剂的供给量不稳定的问题。
在这方面，在jp2006-140288等中，在电路板的主体上形成浪费区域以进行浪费的供给。
然而，该浪费区域需要扩大电路板的主体。
此外，jp2006-140288涉及到浪费区域与配线形成区域之间形状不同。该形状差异可能使在浪费的供给之后用作供给部件的供给头、特别是喷嘴中的剩余试剂具有不同于限定的供给之后的剩余试剂的量。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供能够在将试剂限定地供给到每个限定部时稳定供给部件的剩余试剂的性质和量的供给试剂的方法及经该方法处理的结构体。
为了实现该目的，本发明的第一方面提供一种供给试剂的方法。该方法包括将供给部件间歇地移动至结构体上限定的多个限定部，以将预定量的流动性试剂限定地供给到所述限定部中的每个限定部。结构体包括具有限定部的半成品部件和要与半成品部件分离的框架。该框架包括用于流动性试剂的废弃部。该废弃部具有与限定部相同的形式。然后，供给部件将流动性试剂以与预定量相同的量浪费地供给到废弃部，之后开始间歇地移动，以限定地供给流动性试剂。
本发明的第二方面提供一种结构体，其具有半成品部件和要与半成品部件分离的框架，限定部形成在半成品部件上以便被限定地供给流动性试剂，废弃部形成在框架上以便被浪费地供给流动性试剂，废弃部具有与限定部相同的形式。
根据第一方面，框架包括用于流动性试剂的废弃部，并且废弃部具有与限定部相同的形式。因此，废弃部与限定部在表面特性(例如，形状)上相同，和/或废弃部与首先限定地供给试剂的第一限定部之间的位置关系与相邻的限定部之间的位置关系相同。
这不仅稳定了限定部之间的供给部件的剩余试剂的特性和量，而且还稳定了废弃部与限定部之间的供给部件的剩余试剂的特性和量，从而将每个限定部处的试剂的供给量稳定成预定量。
将包括废弃部的框架与半成品部件分离，因此，半成品部件或成品部件没有不必要地扩大。
根据第二方面，结构体包括具有用于流动性试剂的废弃部的框架，并且废弃部与限定部形式相同。因此，结构体适合于根据第一方面的方法。
附图说明
图1是示出根据本发明的第一实施方式的、从第一侧观察的头悬架的立体图；
图2是示出从设置有滑块的第二侧观察的、图1的头悬架的致动器安装部的立体图；
图3是示出没有载重梁的图1的头悬架的致动器安装部的立体图；
图4是示出使用粘合剂固定至图2的致动器安装部的微致动器元件及其周边的剖面图；
图5是示出根据第一实施方式的试剂供给装置的概要的平面图；
图6是示出图5的试剂供给装置的供给头的侧视图；
图7是示出根据第一实施方式的链板的立体图；
图8是图7的链板的部分iix的平面图；
图9是示出图8的链板的挠性元件的致动器安装部及其周边的平面图；
图10是部分示出图9的致动器安装部的限定部及其周边的放大的平面图；
图11a是部分示出图10的限定部的放大的剖面图；
图11b是以对应于图11a的平面部分示出根据第一实施方式的废弃部的放大的剖面图；
图12a是示出图11b的废弃部的一个第一废弃部位的放大的剖面图，图12b是示出该第一废弃部位的放大的平面视图；
图13a是示出图11b的废弃部的另一个第一废弃部位的放大的剖面图，图13b是示出该另一个第一废弃部位的放大的平面图；
图14a是部分示出根据第一实施方式的安装有微致动器元件的限定部的第二限定部位的放大的剖面图；
图14b是以对应于图14a的平面示出根据第一实施方式的废弃部的第二废弃部位的放大的剖面图；
图15a是示出安装有微致动器元件的图14b的废弃部的一个第二废弃部位的放大的剖面图，图15b是示出该第二废弃部位的放大的平面图；
图16a是示出安装有微致动器元件的图14b的废弃部的另一个废弃部位的放大的剖面图，图16b是示出该另一个废弃部位的放大的平面图；
图17a是示出图9的挠性元件的致动器安装部及其周边的放大的平面图，其中展示了在一侧进行限定的供给的第一限定部位；
图17b是示出图9的挠性元件的致动器安装部及其周边的放大的平面图，其中展示了在一侧进行限定的供给的第二限定部位；
图18是示出根据本发明的第二实施方式的链板的一部分的平面图，链板的该部分对应于图7的部分iix；
图19是示出根据第二实施方式的废弃部的放大的平面图；以及
图20是示出根据相关技术的链板的立体图。
具体实施方式
根据本发明的实施方式提供与用于供给试剂的方法和经该方法处理的结构体的限定部具有相同形式的废弃部，该废弃部能够正好在将试剂限定地供给到每一个限定部之前稳定供给部件的剩余试剂的特性和量。
即，根据实施方式的方法将供给头相对于挠性元件的链板的多个限定部间歇地移动，以将未硬化的试剂限定地供给到每个限定部，形成具有预定量的滴状。该链板包括具有限定部的半成品部件和要与半成品部件分离的框架。该框架包括用于粘合剂的废弃部。废弃部具有与限定部相同的形式，特别是相同的表面特性和位置关系。然后，供给头将粘合剂以与预定量相同的量浪费地供给到废弃部，之后开始间歇地移动，以限定地供给粘合剂。
链板包括半成品部件和要与半成品部件分离的框架、形成在半成品部件上以被限定地供给粘合剂的限定部以及形成在框架上以被浪费地供给粘合剂的废弃部，废弃部具有与限定部相同的形式，特别是相同的表面特性和位置关系。
在下文中，将参照附图详细说明本发明的实施方式，附图举例说明了并置型头悬架，该头悬架包括在磁头附近并排设置的微致动器元件。根据本发明的供给试剂的方法可用于将微致动器元件安装到待精密驱动的其它构件上或者具有位于基板与载重梁之间的微致动器元件的另一种类型的头悬架。此外，根据本发明的方法也可以用于jp2006-140288a、jp2007-144348a、jp2011-62579a、jph08-206560a、jp2007-038141a或jp2012-024715a中公开的其他技术。
首先，参照图1至图4总体说明并置型头悬架中的致动器安装部及其周边。
图1是示出从第一侧观察的头悬架的立体图，图2是示出从设置有滑块的第二侧观察的头悬架的致动器安装部的立体图。
图1的头悬架1设置有基板3、载重梁5、具有导体的挠性件7、致动器安装部9等。
将基板3固定到底座的臂上。基板3具有要插入形成在该臂上的孔中的凸起部3a。
沿图1的箭头x的方向是载重梁5或头悬架1的前后方向或纵向方向。沿箭头y的方向是头悬架1的转动方向或摆动方向。沿相对于摆动方向的切线的方向是滑块11的宽度方向。
在载重梁5的基端部或后端部，形成有弹性部件13。挠性件7沿载重梁5设置。
如图2所示，滑块11具有用作磁头的端部，诸如mr元件的元件15设置在该磁头上，以相互转换磁信号和电信号。使用元件15，头悬架1访问插入硬盘驱动器的盘，以从该盘读取数据或向该盘写入数据。滑块11、载重梁5、挠性件7等构成头部万向架组件。
致动器安装部9包括万向架部17和一对微致动器元件19和21。万向架部17形成在挠性件7的前端部上。所述的一对微致动器元件19和21在万向架部17上分别设置在滑块11的宽度方向的两侧。
微致动器元件19和21分别是由压电元件(例如，pzt)制成的板，并且具有在摆动方向转动和定位滑块11的功能。
图3是示出在没有载重梁5的情况下从第一侧观察的致动器安装部9的立体图，图4是示出使用粘合剂43固定至致动器安装部9的微致动器元件19及其周边的剖面图。图4的截面平面在图1的x方向切割一个微致动器元件19(在下文中，“x方向”是指“图1的x方向”)。另一个微致动器元件21与微致动器元件19具有基本相同的结构，因此将仅说明作为这些元件的代表的微致动器元件19。
如图1至图4所示，万向架部17设置有舌状物23。该舌状物23具有安装在其上的滑块11。舌状物23包括静止部分23a和可移动部分23b。静止部分23a和可移动部分23b通过铰链23c彼此连接，使得可移动部分23b可相对于静止部分23a在摆动方向上移动。
舌状物23的静止部分23a具有用于微致动器元件19的第一支撑部25，并且具有参考孔30。在将微致动器元件19安装在舌状物23上时，参考孔30用于图像处理。
舌状物23的可移动部件23b具有用于微致动器元件19的第二支撑部27。在可移动部分23b上，配线部分29的端子29a形成为连接至滑块11。对配线部分29的读取迹线29b和配线部分29的写入迹线29c分别导通端子29a。
具有致动器安装部9的挠性件7包括由薄的金属箔或板制成的金属基座31。配线部分29沿该金属基座31布置。作为金属基座31的材料的金属箔的例子是厚度为约12至25μm、特别是约18μm的奥氏体钢箔。使用激光焊接等将金属基座31固定至载重梁5上。挠性件7的后端部从基板3向后延伸。
挠性件7的金属基座31在致动器安装部9中具有外伸支架33。外伸支架33弹性地支撑滑块11。
在致动器安装部9中，用于微致动器元件19的端子35形成在配线部分29的宽度方向的两侧。端子35位于第一支撑部25上。接地端子37位于第二支撑部27上。接地端子37导电地连接至金属基座31。
配线部分29的层状结构或截面结构包括绝缘层39、读取迹线29b和写入迹线29c的导体以及覆盖层41。绝缘层39由具有电绝缘性的树脂(例如，聚酰亚胺)制成。读取迹线29b和写入迹线29c的导体形成例如由铜箔制成的配线图案。覆盖层41由具有电绝缘性的树脂(例如，聚酰亚胺)制成。
例如，绝缘层39的厚度为约5至20μm，特别是约10μm，导体的厚度为约4至15μm，特别是约9μm，覆盖层41的厚度为约2至10μm，特别是约5μm。
例如，金属基座31的厚度为约12-25μm，并且小于载重梁5的厚度(例如30μm)。
微致动器元件19沿x方向延伸，该微致动器元件19的两端分别通过具有电绝缘性的第一粘合剂43固定至第一支撑部25和第二支撑部27上。
微致动器元件19具有通过具有导电性的第二粘合剂45电连接至分别位于第一支撑部25和第二支撑部27上的端子35和37的电极。
例如，第二粘合剂45是银膏的固体。银膏包括用作有机粘结剂的树脂基体和混入树脂基体中的许多导电粒子(银粒子)。未硬化的银膏在室温下或通过加热固化或硬化，使导电粒子或银粒子彼此电接触。第二粘合剂45可以是银膏的固体或其他导电粘合剂。
载重梁5在其前端部附近包括凹陷47(图1)。凹陷47从载重梁5朝向挠性件7的万向架部17突出，以具有凸面。该凸面具有与舌状物23的铰链23c接触的顶点(图3)。万向架部17围绕凹陷47与铰链23c之间的接触点p1以载重梁5倾斜地支撑。
因此，头悬架1通过使用定位马达转动底座而沿插入硬盘驱动器的盘的径向方向转动。这使磁头的滑块11移动至盘的记录表面上的目标磁道上。
此时，对微致动器元件19和21施加电压，以使元件19和21中的一个收缩并使元件19和21中的另一个伸长。这引起舌状物23沿摆动方向微小地移动，从而在摆动方向快速且精确地将元件15定位在滑块11上。
将参照图5至图8来说明供给试剂的方法的概要。在下文中，方法是指“试剂供给方法”。图5是示出试剂供给装置56的概要的平面图，图6是示出试剂供给装置56的供给头51的侧视图，图7是示出链板55的立体图，图8是示出图7的链板55的部分iix的平面图。
根据第一实施方式的试剂供给方法将作为流动性试剂的未硬化的粘合剂供给到第一支撑部25和第二支撑部27，形成滴状，以通过该粘合剂将微致动器元件19和21附接至第一支撑部25和第二支撑部27。
作为供给部件的例子，如图5和图6所示，在试剂供给装置56中使用分配器49和供给头51的组合。作为结构体的例子，如图7至图8所示，使用挠性元件53的链板55。挠性元件53是处于部件的安装过程的中间的半成品挠性件。
根据第一实施方式的试剂供给方法将未硬化的粘合剂限定地供给到链板55的每个挠性元件53，以便将微致动器元件19和21附接至每个挠性元件53。在将试剂限定地供给到第一挠性元件53之前，试剂供给方法将未硬化的粘合剂浪费地供给到链板55上的废弃部，其中供给的量与未硬化的粘合剂被限定地供给到限定部的预定量相同。
如图5至图6所示，除了分配器49和供给头51之外，用于根据第一实施方式的试剂供给方法的试剂供给装置56还设置有xy轴臂机构57、z轴驱动机构59、传送装置61、限定供给台63和触摸传感器65。
xy轴臂机构57具有x轴臂57a、y轴臂57b、x轴驱动马达57c以及y轴驱动马达57d。
x轴驱动马达57c使y轴臂57b沿x轴臂57a往复运动。y轴驱动马达57d使z轴驱动机构59沿y轴臂57b往复运动。
x轴驱动马达57c和y轴驱动马达57d由从控制器输出并输入其驱动电路的驱动控制信号来驱动。由此，运行xy轴臂机构57，以使供给头51沿xy轴方向移动至指定的位置。
z轴驱动机构59具有基座59a、杆59b、中间支撑部件59c、杆59d和止动件59e。
基座59a用y轴臂57b往复移动地支撑。基座59a设置有z轴驱动马达59a1，该z轴驱动马达59a1沿z轴方向往复地驱动杆59b。
杆59b具有将z轴驱动马达59a1的驱动作用传递至中间支撑部件59c和杆59d的功能。
z轴驱动机构59被构造为当来自控制器的驱动控制信号被输入其驱动电路时运行z轴驱动马达59a1。由此，运行z轴机构59，以将供给头51沿z轴方向移动至指定位置。
供给头51可从准备位置或初始位置相对于限定供给台63移动，并用于限定地且浪费地供给未硬化的粘合剂。
如图6所示，供给头51设置有具有大致柱状的注射器51a、设置在注射器51a的下端部的喷嘴51b、设置在注射器51a的顶端部的盖51c以及管51d。供给头51通过止动件59e固定在杆59d的沿垂直方向或z轴方向的末端处。
注射器51a容纳待供给的未硬化的粘合剂43。未硬化的粘合剂43将通过从分配器49引入注射器51a中的压缩空气而从喷嘴51b的末端排出。粘合剂43可以热固化、紫外线固化等。
喷嘴51b是注射器51a中的粘合剂43被排出的部分。根据第一实施方式，喷嘴51b形成多出口喷嘴。该多出口喷嘴具有与后面提及的限定部的限定部位对应的出口，以将粘合剂43供给到各个限定部位。根据第一实施方式，喷嘴51b具有四个出口，并且同时将粘合剂43的滴供给到致动器安装部9的限定部的相应的四个限定部位。可以根据限定部位的数量改变出口的数量。
喷嘴51b可以形成单出口喷嘴。该单出口喷嘴具有单个出口，以将粘合剂43连续地供给到限定部的四个限定部位。
盖51c设置有管51d。管51d从盖51c引导至分配器49，以将压缩空气运送至注射器51a。
限定供给台63形成在传送装置61上。
触摸传感器65用于供给头51在z轴方向上的原点定位。
在限定供给台63上，放置图7的链板55。
图7的链板55被用于挠性件的制造工艺中。链板55包括多个框架单元69a、69b、69c和69d。框架69a-69d中的每一个都具有框架71和半成品部件73。可以根据制造工艺等改变框架单元的数量。
框架71是将所需的部件安装在半成品部件73上之后要与半成品部件73分离的部件。
根据第一实施方式的框架71设置有外垂直部74和75、外侧面部77和78和多个中间侧面部79。外垂直部74和75包括第一定位孔81等。外侧面部77包括第二定位孔83等。中间侧面部79将框架71的由外垂直部74和75和外侧面部77和78围绕的内部分隔成框架单元69a至69d。
对于每个框架单元69a至69d，形成半成品部件73。半成品部件73包括作为并排设置并链接在一起的多个物体的挠性元件53。例如，挠性元件53的数量为数十至数百个。
每个框架单元69a至69d中的链接的挠性元件53在横向方向被分成两组。在这些组之间，存在比相邻的挠性元件53之间的第二间隙大的第一间隙。第一间隙与第二间隙之间的差异应设置成不影响粘合剂的特性。
在将所需部件安装在其上之后，将挠性元件53切断成头悬架用的挠性件。在下文中，基本对应于挠性元件53的挠性件7的附图标记也用于挠性元件53，以省去重复说明。关于限定部，将主要说明用于一个微致动器元件19的限定部的一部分。根据需要附带说明用于另一个微致动器元件21的限定部的另一个部分。
半成品部件73的框架71和挠性元件53具有通过刻蚀单个金属板或箔(例如，不锈钢箔)制成的公共金属基座85。挠性元件53中的金属基座85对应于挠性件7的金属基座31。
挠性元件53具有形成在金属基座85上的配线部分29。
图9是示出挠性元件53的致动器安装部9及其周边的放大的平面图，图10是示出致动器安装部9的限定部86及其周边的放大的平面图。
如图7至图10所示，挠性元件53具有致动器安装部9。致动器安装部9设置有舌状物23、第一支撑部25、第二支撑部27、端子35、端子37、外伸支架33等。
舌状物23的静止部分23a设置有参考孔84。在将微致动器元件19安装在舌状物23上时，参考孔84用于图像处理。
第一支撑部25和第二支撑部27设置有用于粘合剂的限定部86。限定部86是未硬化的第一试剂43和未硬化的第二试剂45被限定地供给到的部分。第一试剂43是非导电粘合剂，第二试剂45是导电粘合剂，例如银膏。
限定部86具有为微致动器元件19和21中的每一个在x方向上前后分别设置的第一限定部位87和第二限定部位89。
图10中的第一限定部位87是位于x方向的相应侧的限定部位87a和87b。第一限定部位87a和87b分别是未硬化的非导电试剂43的滴被供给到以便固定微致动器元件19的区域。
根据第一实施方式的第一限定部位87a和87b与一对微致动器元件19和21相称地设置在致动器安装部9上的四个相应的位置。使用多出口喷嘴51b将试剂43的滴同时供给到这四个第一限定部位87a和87b。
图10的第二限定部位89在x方向上设置成与相应的第一限定部位87相邻。第二限定部位89是覆盖对应的端子35和37的限定部位89a和89b。第二限定部位89a和89b分别是未硬化的导电试剂的滴被供给到以便将微致动器21电连接至端子35和37的区域。
根据第一实施方式的第二限定部位89a和89b设置在致动器安装部9上的四个相应的位置。使用多出口喷嘴将试剂45的滴同时供给到四个第二限定部位89a和89b。
如图8所示，框架71在其外垂直部75上具有废弃部91。在每个框架单元69a至69d上形成有该废弃部91。
废弃部91具有与限定部86相同的形式。即，废弃部91具有与限定部86相同的表面特性。表面特性包括废弃部91的平面形状、粗糙度及其他性质。根据第一实施方式，表面特性包括表面的平面形状、包括高度不同的截面形状、表面粗糙度等。表面特性可以是废弃部19的平面形状、截面形状、表面粗糙度等中的至少任意一个。
根据第一实施方式的废弃部91包括后面提及的废弃部位97和99的几个周边结构，该周边结构对应于限定部86的限定部位87和89的周边结构。可以省略废弃部91的周边结构。
废弃部91和挠性元件53上的第一限定部86之间的位置关系与彼此横向相邻的限定部86之间的位置关系相同。第一挠性元件53与框架71的外部垂直部75横向相邻。
图11a是部分示出限定部86的放大的剖面图，图11b是以对应于图11a的平面部分示出废弃部91的放大的剖面图。
如图8和图11a至图11b所示，废弃部91包括与挠性元件53的端子35和37对应的、用于浪费的供给的伪端子93和95。
废弃部91包括第一废弃部位97和第二废弃部位99和伪参考孔100。
分别地，第一废弃部位97和第二废弃部位99对应于第一限定部位87和第二限定部位89，并且伪参考孔100对应于用于限定的供给的参考孔84。
第一废弃部位97包括设置在x方向的相应侧的废弃部位97a和97b。
第一废弃部位97a和97b具有与第一限定部位87a和87b相同的表面特性，特别是相同的平面形状、截面形状和表面粗糙度。
第一废弃部位97a和97b的平面形状、截面形状和表面粗糙度中的任何一个、两个或全部都与限定部位87a和87b的略微不同，除非该差异影响喷嘴51b中的试剂的剩余量。上述相同的表面特性包括涉及到这样的差异的情况。
第一废弃部位97a和97b是未硬化的非导电试剂43在被限定地供给到第一挠性元件53的限定部86的第一限定部位87a和87b之前被浪费地供给到的区域。
第一废弃部位97a和97b形成在与第一限定部位87a和87b对应的四个位置。使用喷嘴51b(多出口喷嘴)将试剂43的滴同时浪费地供给到这四个废弃部位97a和97b。
第二废弃部位99在x方向上与第一废弃部位97相邻。第二废弃部位99包括废弃部位99a和99b，该废弃部位99a和99b包括用于在x方向的相应侧进行浪费的供给的端子93和95。第二废弃部位99a和99b与第二限定部位89a和89b具有相同的表面特性，特别是相同的平面形状、截面形状、表面粗糙度。第二废弃部位99a和99b的平面形状、截面形状和表面粗糙度中的任何一个、两个或全部都与限定部位89a和89b的略微不同，除非该差异影响喷嘴51b中的试剂的剩余量。上述相同的表面特性包括涉及到这样的差异的情况。
第二废弃部位99a和99b是未硬化的导电试剂在被限定地供给到第一挠性元件53的第二限定部位89a和89b之前被浪费地供给到的区域。
第二废弃部位99a和99b形成在与第二限定部位89a和89b对应的四个位置。使用多出口喷嘴将试剂45的滴同时浪费地供给到这四个废弃部位99a和99b。
在依次设置框架单元所沿的链板55的垂直方向和依次设置挠性元件所沿的链板55的横向方向上，第一废弃部位97a和97b和第二废弃部位99a和99b的相对位置对应于第一限定部位87a和87b和第二限定部位89a和89b的相对位置。
作为废弃部91与第一挠性元件53的第一限定部86之间的位置关系的间距或距离对应于相邻的挠性元件53的限定部86之间的间距或距离。
即，喷嘴51b在废弃部91和第一限定部86之间的移动距离与在相邻的限定部86之间的移动距离相同。
在链板55的垂直方向和横向方向上，伪参考孔100在废弃部91中的位置与参考孔84在限定部86中的位置相同。
即，类似于参考孔84，伪参考孔100用于图像处理。
图12a是示出x方向上第一废弃部位97a和97b中的一个的剖面图，图12b是示出该第一废弃部位的平面图。图13a是主要示出x方向上第一废弃部位97a和97b中的另一个的剖面图，图13b是示出该另一个第一废弃部位的平面图。
图11b至图13b的废弃部91的第一废弃部位97具有与图10和图11a的限定部86的第一限定部位87相同的平面形状和截面形状。
第一伪支撑部25a和第二伪支撑部25b通过金属基座85的在废弃部91中的一部分而彼此连续，由于支撑部25和27之间没有金属基座85，限定部86的第一支撑部25和第二支撑部27不连续。第一伪支撑部25a和第二伪支撑部25b之间的连续不影响废弃部91的平面形状和截面形状。
另外，废弃部91包括与限定部86的绝缘层39和覆盖层41对应且与该绝缘层39和覆盖层41具有相同的形状的绝缘层39a和覆盖层41a。
在限定部86中，覆盖层41的沿x方向的内端部与第一支撑部25和第二支撑部27的沿x方向的相应的内端部之间的距离为相同的距离l1。在距离l1内从相应的覆盖层41测得的第一限定部位87a和87b的长度是相同的长度l2。从金属基座85的表面到覆盖层41的表面的高度是相同的高度h1。第一限定部位87a和第二限定部位87b的宽度是相同的宽度w1。
长度l2略小于距离l1。当微致动器元件19被放置在支撑部25和27上时，该结构尽可能地防止试剂43从第一支撑部25和第二支撑部27泄露出。长度l2可以与距离l1相同。
在一个限定部位87a中，在长度l2内存在由金属基座85上的绝缘层限定的台阶。在另一个限定部位87b中，绝缘层39覆盖金属基座85直到第二支撑部27的内端部，因此在长度l2内不存在任何台阶。
根据长度l2、高度h1和宽度w1，设置试剂供给装置56的喷嘴51b。
如图11a至图12a和图13a所示，第一废弃部位97a和97b具有与第一限定部位87a和87b相等的长度l2和高度h1。
在一个废弃部位97a中，与限定部位87a类似，在长度l2内存在由金属基座85上的绝缘层39限定的台阶。在另一个废弃部位97b中，与限定部位87b类似，在长度l2内不存在任何台阶。
如图12b和图13b所示，第一废弃部位97a和97b具有与第一限定部位87a和87b相等的宽度w1。
宽度w1略大于微致动器元件19的宽度。宽度w1可以小于或等于微致动器元件19的宽度。
图14a是以沿x方向的平面示出安装有微致动器元件19的限定部86的第二限定部位89a和89b的放大的剖面图，图14b是以对应于图14a的平面示出废弃部91的第二废弃部位99a和99b的放大的剖面图。图15a是以沿x方向的平面示出安装有微致动器元件19的第二废弃部位99a和99b中的一个的放大的剖面图，图15b是示出该第二废弃部位的放大的平面图。图16a是以沿x方向的平面示出安装有微致动器元件19的废弃部91的第二废弃部位99a和99b中的另一个的放大的剖面图，图16b是示出该另一个第二废弃部位的放大的平面图。
图14b至图16b的包括伪端子93和95、第二废弃部位99和微致动器元件19的废弃部91与图10和图14a的包括端子35和37、第二限定部位89和微致动器元件19的限定部86具有相同的平面形状和截面形状。另外，废弃部91的微致动器元件19可以是一个伪微致动器元件。
在第二废弃部位89a和89b中，跨过端子35和37从微致动器元件19的端部到相应的覆盖层41的长度是相同的长度l3。从相应的覆盖层41的表面到微致动器元件19的表面的高度是相同的高度h2。第二限定部位89a和89b的宽度是相同的宽度w2。
在第二限定部位89a和89b中，在长度l3内，存在粘合剂43的固体和覆盖层41之间限定的台阶和端子35和37与覆盖层41之间限定的台阶。
根据长度l3、高度h2和宽度w2，设置试剂供给装置56的喷嘴51b。
如图14a至图15a和图16a所示，第二废弃部位99a和99b具有与第二限定部位89a和89b的长度和高度相等的长度l3和高度h2。
在第二废弃部位99a和99b中，类似于第二限定部位89a和89b，存在粘合剂43a的固体与覆盖层41a之间限定的台阶和端子93和95与覆盖层41之间限定的台阶。
如图15b和图16b所示，第二废弃部位99a和99b具有宽度w2。该宽度w2与微致动器元件19的宽度相同。然而，宽度w2可以大于或小于微致动器元件19的宽度。
将详细地说明试剂供给方法。
在图5和图6中，供给头51根据从控制器输出的控制信号从准备位置或初始位置直接移动至限定供给台63。
在限定供给台63上方，喷嘴51b定位到图8的框架71的外垂直部75上的废弃部91上。
在该定位的同时，照相机拍摄包括伪参考孔100的整个废弃部91的图像。通过该图像，基于伪参考孔100进行图像处理以定位喷嘴51b。限定供给台63可以具有用于穿过伪参考孔100的定位销。
在该位置，在将压缩空气从分配器49引入注射器51a的情况下，喷嘴51b将试剂43从其末端排出。
通过该排放，将未硬化的试剂33a的滴以与用于限定部86的预定量相同的量浪费地供给到图8和图11至图16b的四个废弃部位97a和97b。
通过该浪费的供给，即使在喷嘴51b从准备位置移动至废弃部91期间先前剩余的试剂的特性因挥发等而改变，也将喷嘴51b中先前剩余的试剂排出，以便使用新的或新鲜的试剂填充喷嘴51b。
在废弃部91处进行浪费的供给之后，将喷嘴51b定位到第一挠性元件53的与废弃部91相邻的第一限定部86。
在该定位的同时，照相机拍摄包括参考孔84(图8)的整个限定部86的图像。通过该图像，基于参考孔84进行图像处理以定位喷嘴51b。限定供给台63可以具有用于穿过参考孔84的定位销。
在该位置，在将压缩空气从分配器49引入注射器51a的情况下，喷嘴51b将试剂43从其末端排出。
通过该排放，将未硬化的试剂43的滴以预定量限定地供给到图8和图11a的四个限定部位87a和87b。
第一限定部86与废弃部91之间的间距与上述相邻的限定部86之间的间距相同。这正好在试剂43被限定地供给到每个限定部86之前使喷嘴51b中填充或剩余的试剂的特性一致。只要使喷嘴51b中填充或剩余的试剂的粘度等特性一致，间距可以彼此不同。
喷嘴51b以间距间歇地移动，以将试剂43以相同的量依次限定地供给到相应的链接挠性元件53的限定部86的四个限定部位87a和87b。
即，喷嘴51b将试剂43浪费地供给到废弃部91，之后开始间歇地移动，以限定地供给试剂43。间歇地移动是指喷嘴51b相继移动至并停在多个限定部86，使得喷嘴51b移动至一个限定部86并暂时停在该限定部86，对该限定部86进行限定的供给，之后移动至下一个限定部86并暂时停在该下一个限定部86，以对该下一个限定部86进行限定的供给。
接下来，将微致动器元件19分别放置在图14a和图14b所示的废弃部91和限定部86上。将微致动器元件19通过粘合剂43和43a的滴附接至第一支撑部25、第二支撑部27和伪第一支撑部25a、伪第二支撑部27a。
此时，也与上述类似地附接微致动器元件21。
然后，通过从动传送装置61使限定供给台63移动至第二试剂供给装置。第二试剂供给装置用于供给粘合剂45和45a，例如银膏。第二试剂供给装置具有喷嘴，该喷嘴具有与第二限定部位89对应的出口。通过该第二试剂供给装置，将试剂45的滴供给到四个第二限定部位89a和89b。除了喷嘴的出口的设置之外，第二试剂供给装置与用于试剂43的试剂供给装置相同。
此时，供给头将试剂45以与用于第二限定部位89a和89b的预定量相同的量供给到四个第二废弃部位99a和99b，之后开始间歇地移动，以将试剂45以预定量限定地供给到四个第二限定部位89a和89b。
图17a是示出挠性元件53的致动器安装部9及其周边的平面图，其中展示了在一侧进行限定的供给的第一限定部位87a和87b，图17b是示出挠性元件53的致动器安装部9及其周边的平面图，其中展示了在一侧进行限定的供给的第二限定部位89a和89b。
通过对第一限定部位87进行限定的供给，如上述图17a中所示，限定地供给试剂43。在图17a中，为了便于说明，仅对横向方向的一侧的两个第一限定部位87进行限定的供给。实际上，对两侧的四个第一限定部位87都进行限定的供给。
在微致动器元件19(21)被安装在致动器安装部9上之后，将银膏试剂45限定地供给到第二限定部位89，从而如上述图17b所示进行限定的供给。在图17b中，为了便于说明，仅对横向方向的一侧的两个第二限定部位89进行限定的供给。实际上，对两侧的四个第二限定部位89都进行限定的供给。
在图8、图11b等所示的废弃部91中，以与上述图17a和图17b的限定的供给相同的方式浪费地供给试剂。
将总结根据第一实施方式的主要效果。
根据第一实施方式，链板55具有并排设置并以恒定的间距或距离链接在一起的挠性元件53。链板55包括框架71，挠性元件53通过该框架链接。框架71在其外垂直部75上包括废弃部91。试剂的滴要被供给到废弃部91。废弃部91具有与限定部86相同的形式。废弃部91与第一限定部86之间的位置关系与相邻的限定部86之间的位置关系相同，在间歇的移动期间首先给第一限定部86供给试剂。即，废弃部91在框架71的垂直方向上设置在与限定部86相同的高度处，并且在框架71的横向方向上与限定部86一起以相同的间距设置。
然后，喷嘴51b以间距进行间歇的移动。在以与限定的供给的预定量相同的量对废弃部91进行试剂的浪费的供给之后，喷嘴51b开始间歇的移动，以将试剂以预定量限定地供给到限定部86。
因此，在移除喷嘴51b中先前剩余的试剂之后进行限定的供给，该剩余的试剂的特性可能在喷嘴51b从准备位置移动期间因挥发等而改变。
浪费的供给的量与根据第一实施方式的限定的供给的预定量相同。只要浪费的供给之后的喷嘴51b中剩余的粘合剂的状况与限定的供给之后的状况相同，可以增加或减少浪费的供给的量，以便与限定的供给的预定量基本相同。
废弃部91具有与限定部86相同的形状等。因此，分配器49和用作供给部件的供给头51中、特别是喷嘴51b中的剩余试剂在浪费的供给之后与喷嘴51b中在限定的供给之后的剩余试剂的状况相同。例如，在浪费的供给和限定的供给之后这两种情况下，喷嘴51b中剩余基本相同的量。
喷嘴51b从废弃部91平行地移动至第一限定部86，移动的间距与从一个限定部86平行地移动至下一个限定部86的间距相同。在各限定部86处，喷嘴51b中的剩余试剂的状况相同。
因此，第一实施方式正好在将试剂限定供给到每个限定部86之前稳定了喷嘴51b中剩余试剂的特性或量。结果，第一实施方式将每个限定部86处试剂的供给量稳定在预定量。
由于链板55的框架71要与挠性元件53分离，因此挠性元件53没有不必要地扩大，因此挠性件7没有不必要地扩大。
根据第一实施方式的链板55具有形成在框架71的外垂直部75上的废弃部91，以浪费地供给试剂。废弃部91具有与限定部86相同的形式。此外，废弃部91与第一限定部86之间的位置关系与相邻的限定部86之间的位置关系相同。在间歇的移动期间首先给第一限定部86供给试剂。
因此，链板55允许浪费的供给有效地通过根据第一实施方式的试剂供给方法进行。
第一实施方式允许应用各种变化。
可以对粘合剂43和45中任意一种进行浪费的供给。
根据第一实施方式，制造过程被配置为依次进行下述步骤：供给非导电粘合剂、安装元件和供给导电粘合剂。该过程可以使用另一种构造和/或根据产品(例如，头悬架)的结构以不同的顺序进行各步骤。例如，该制造过程可以依次进行：导电粘合剂的供给、元件的安装以及非导电粘合剂的供给，或者元件的安装、导电粘合剂的供给和非导电粘合剂的供给。
在供给部件中，喷嘴51b的形状可以自由地设置，只要供给部件允许进行限定的供给和浪费的供给。例如，供给部件可以将未硬化的粘合剂以直线而不是滴状进行供给。作为供给部件，可以将各种喷嘴(例如，喷墨喷嘴)用于试剂供给方法。
结构体不限于挠性元件53的链板55，而可以是另一个物体，例如设置有多个限定部的电路板。
多个限定部可以涉及相邻的限定部之间的间距和/或垂直位置的略微变化。
每一个限定部都可以具有单个限定部位，而不是多个限定部位87和89。
流动性试剂不限于非导电或导电粘合剂，而可以是另一种试剂，例如，要供给到目标部位处的油墨。
废弃部与限定部的形式相同是指，相同的表面特性(例如，表面形状)和相对于相邻的限定部的相同的位置关系中的任意一种或两种。
如果废弃部与限定部的表面特性相同，则废弃部可以在相对于相邻的限定部的位置关系方面与限定部略不相同。
如果废弃部与限定部相对于相邻的限定部的位置关系相同，则废弃部可以在表面特性方面与限定部略不相同。
废弃部可以是允许使用多出口喷嘴在其上进行浪费的供给的单个平面区域，这样的废弃部也是具有与限定部相同的形式的一种实施方式。
图18是示出根据本发明的第二实施方式的链板的一部分的平面图，链板的该部分对应于图7的部分iix。图19是示出根据第二实施方式的废弃部的平面图。
根据第二实施方式，伪舌状物23a形成在框架71的外垂直部75上。该伪舌状物23a的截面形状与图11b的截面形状相同。伪舌状物23a的平面形状是体现舌状物23的形状。
因此，伪舌状物23a设置有伪端子93和95、伪参考孔100和滑块11用的伪端子29aa。
与第一实施方式类似，包括伪舌状物23a的废弃部91具有与限定部86相同的形式。废弃部91与第一限定部86之间的位置关系与相邻的限定部86之间的位置关系相同。即，伪舌状物23a与舌状物23平行地并排设置，使得废弃部91的伪舌状物23a与第一限定部86的第一舌状物23之间的间距与相邻的限定部86的相邻的舌状物23之间的间距相同。
在伪端子93和95的周围，设置绝缘层39a和覆盖层41a，并且类似于图11a至图16b来设置距离l1、长度l2和l3、高度h1、宽度w1和w2。
然后，第二实施方式通过与第一实施方式相同的方式进行浪费的供给和限定的供给。
根据第二实施方式，使用与舌状物23具有相同形状的伪端子23a的图像通过用于定位喷嘴51b的图像处理来以更高的精度将喷嘴51b定位到伪端子23a。
另外，第二实施方式还提供与第一实施方式相同的效果。
类似于第一实施方式，各种变化适用于第二实施方式。