一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置的制作方法

本实用新型涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置。

背景技术：

光阻剂又称光刻胶，在半导体器件制造过程中，光刻工艺的应用非常频繁，光刻胶的用量也非常大，当光刻胶内存有残留气泡的时，会使得光刻胶无法充分与被加工产品充分接触，从而影响产品质量。

现有技术中，一般通过将光阻剂放置在一个容器，并使容器振动以使得光阻剂内部的气泡向容器的上方运动，并最终由容器顶部的缝隙排出，这种方式中的光阻剂始终与空气接触，无法有效地对光阻剂进行脱气泡。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中通过振动的方式对光阻剂脱气泡，其无法有效地对光阻剂进行脱气泡的问题，而提出的一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，包括顶端开口的除泡罐和真空泵，所述除泡罐的侧壁顶端固定连通有气管，所述气管远离除泡罐的一端与真空泵的进气端固定连通，所述除泡罐的外侧壁顶端螺纹连接有罐盖，所述除泡罐的顶部开设有环形的安装槽，所述安装槽的内部嵌设有与安装槽相匹配的橡胶圈，所述罐盖的内顶部开设有环形的容纳槽，所述橡胶圈的顶端延伸至容纳槽的内部，所述橡胶圈的顶部与容纳槽的内顶部相抵，且橡胶圈的内侧壁和外侧壁分别与容纳槽的两个内侧壁相抵，所述罐盖的顶部固定连通有进料管，所述除泡罐的底部固定连通有出料管，所述进料管和出料管上分别固定连通有第一阀门和第二阀门，所述进料管的上方设置有用于进料的导料机构，所述除泡罐的底部固定连接有四个均匀分布的支撑块。

优选的，所述导料机构包括软管，所述软管的底端与进料管的顶端固定连通，所述软管的顶端固定连通有倒圆台状的导料筒，所述导料筒的内壁顶端固定连接有密封圈，所述导料筒的一侧设置有用于支撑所述导料筒的支撑机构。

优选的，所述支撑机构包括L型的连接块，所述连接块的水平端与导料筒的外侧壁固定连接，所述罐盖的顶部固定连接有固定块，所述固定块的顶部开设有连接槽，所述连接块的竖直端插接在连接槽的内部。

优选的，所述连接块的底端固定连接有半球状的导向块。

优选的，所述除泡罐的内底部设为第一斜面，所述橡胶圈的顶端设为两个对称设置的第二斜面。

优选的，所述罐盖的顶部边缘处固定连接有两个对称设置的把手。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，具备以下有益效果：

该水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，通过设置第一阀门、第二阀门和导料机构，当需要对光阻剂进行排气泡时，打开第一阀门并关闭第二阀门，将装有光阻剂的试剂瓶打开后，试剂瓶的瓶口向上，将导料筒与试剂瓶的瓶口套接，使试剂瓶的开口插入导料筒，且密封圈的内壁与试剂瓶的外侧壁相抵，将试剂瓶和导料筒旋转180°，使试剂瓶的开口位于密封圈的下方，并将连接块的竖直端插入连接槽，有效地避免了光阻剂在倒出时会洒落的问题，光阻剂经过软管和进料管进入除泡罐，关闭第一阀门，启动真空泵，真空泵逐渐抽取除泡罐内部的空气，光阻剂内部的气泡向上运动并由真空泵排出，从而达到有效地对光阻剂进行脱气泡的效果。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型能够有效地对光阻剂进行脱气泡，且有效地避免了光阻剂在倒出时会洒落的问题。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置的结构示意图；

图2为图1中A部分的结构示意图。

图中：1除泡罐、2真空泵、3罐盖、4橡胶圈、5进料管、6支撑块、7导向块、8出料管、9第一阀门、10第二阀门、11软管、12导料筒、13密封圈、14连接块、15固定块、16把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-2，一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，包括顶端开口的除泡罐1和真空泵2，除泡罐1的侧壁顶端固定连通有气管，气管远离除泡罐1的一端与真空泵2的进气端固定连通，除泡罐1的外侧壁顶端螺纹连接有罐盖3，罐盖3与除泡罐1螺纹连接，便于将罐盖3与除泡罐1安装与拆卸，从而便于人们对除泡罐1的内部进行清洗，除泡罐1的顶部开设有环形的安装槽，安装槽的内部嵌设有与安装槽相匹配的橡胶圈4，罐盖3的内顶部开设有环形的容纳槽，橡胶圈4的顶端延伸至容纳槽的内部，橡胶圈4的顶部与容纳槽的内顶部相抵，且橡胶圈4的内侧壁和外侧壁分别与容纳槽的两个内侧壁相抵，罐盖3的顶部固定连通有进料管5，除泡罐1的底部固定连通有出料管8，进料管5和出料管8上分别固定连通有第一阀门9和第二阀门10，第一阀门9和第二阀门10分别对进料管5和出料管8进行密封，当真空泵2工作时，外部空气无法通过进料管5或出料管8进入除泡罐1的内部，进料管5的上方设置有用于进料的导料机构，除泡罐1的底部固定连接有四个均匀分布的支撑块6。

导料机构包括软管11，软管11的底端与进料管的顶端固定连通，软管11的顶端固定连通有倒圆台状的导料筒12，导料筒12的内壁顶端固定连接有密封圈13，导密封圈13采用橡胶材质，料筒12的一侧设置有用于支撑导料筒12的支撑机构，导料机构能够有效地避免了试剂瓶内部的光阻剂与外部空气接触而产生更多的气泡，且避免了光阻剂在倒出时会洒落。

支撑机构包括L型的连接块14，连接块14的水平端与导料筒12的外侧壁固定连接，罐盖3的顶部固定连接有固定块15，固定块15的顶部开设有连接槽，连接块14的竖直端插接在连接槽的内部，支撑机构对导料筒12进行支撑，当进料时，无需人工手动拿住导料筒12。

连接块14的底端固定连接有半球状的导向块7，导向块7起导向作用，便于使连接块14的竖直端插入连接槽的内部。

除泡罐1的内底部设为第一斜面，第一斜面起导向作用，便于橡胶圈4的顶端与容纳槽套接，橡胶圈4的顶端设为两个对称设置的第二斜面，第二斜面起导向作用，便于除泡罐1内部光阻剂完全由出料管8进行出料。

罐盖3的顶部边缘处固定连接有两个对称设置的把手16，把手16便于人们将罐盖3与除泡罐1安装与拆卸。

本实用新型中，通过设置第一阀门9、第二阀门10和导料机构，当需要对光阻剂进行排气泡时，打开第一阀门9并关闭第二阀门10，将装有光阻剂的试剂瓶打开后，试剂瓶的瓶口向上，将导料筒12与试剂瓶的瓶口套接，使试剂瓶的开口插入导料筒12，且密封圈13的内壁与试剂瓶的外侧壁相抵，将试剂瓶和导料筒12旋转180°，使试剂瓶的开口位于密封圈13的下方，并将连接块14的竖直端插入连接槽，有效地避免了光阻剂在倒出时会洒落的问题，光阻剂经过软管11和进料管5进入除泡罐1，关闭第一阀门9，启动真空泵2，真空泵2逐渐抽取除泡罐1内部的空气，光阻剂内部的气泡向上运动并由真空泵2排出，从而达到有效地对光阻剂进行脱气泡的效果。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。