专利名称：一种电极装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电解蚀刻设备，特别是有关电解蚀刻设备的电极结构。
背景技术：
目前，在现有的电解蚀刻设备中，喷电解蚀刻液的喷管一般安装在电极的附近，在 向被电解蚀刻板喷电解蚀刻液时，电解蚀刻液在板表面上分布很不均匀，使电解蚀刻进行 得不均匀。此外，现有的电极装置结构松散、占空间大，组装不方便。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种能进行均匀电解蚀刻，且结构紧凑的电极装置。 为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是一种电极装置，包括电极，所述电 极至少一侧装连有板式出液头，板式出液头上具有进口和出口，板式出液头内有液体主通 道，液体主通道分别与进口和出口连通，所述板式出液头是与电极侧面相适配的板形体，板 式出液头内的液体主通道沿电极长度方向设置，出口沿电极长度方向布置，出口朝向电极 底部和/或电极底面下方的空间。 为了便于制造板式出液头，所述板式出液头为剖分式结构，包括板座和板盖，板座 与板盖密封固定连接，液体主通道设在板盖与板座之间，进口设在板盖上，板座上有与液体 主通道连通的液体次通道及出口 。 为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，提高电解蚀刻效率，所述出口为一条或多条 缝隙，缝隙下部的板式出液头上设有导流沿。 为了便于在电极上装、拆板式出液头，所述板式出液头通过螺钉与连接板固定连 接，连接板与电极通过螺钉固定连接。 为了在使用时保持电极与被电解蚀刻板的合适距离，提高电解蚀刻效率，所述电 极底部开有若干滚轮槽，每个滚轮槽中设置一个滚轮，电极上还开有支撑孔，支撑孔中装有 滚轮轴，每个滚轮均套装在滚轮轴上，滚轮的轮底低于电极底面。 为了在使用时保持电极与被电解蚀刻板的合适距离，提高电解蚀刻效率，所述板 式出液头的板盖上固定有第一滚轮支架，第一滚轮支架上装有滚轮轴，滚轮轴上装有若干 滚轮和隔套，隔套位于滚轮之间，滚轮的轮底低于电极的底面。 为了在使用时保持电极与被电解蚀刻板的合适距离，提高电解蚀刻效率，所述电 极上远离板式出液头的一侧固定有第二滚轮支架，第二滚轮支架上装有滚轮轴，滚轮轴上 装有若干滚轮和隔套，隔套位于滚轮之间，滚轮的轮底低于电极的底面，第二滚轮支架通过 螺钉与电极固定连接。 所述板式出液头的进口连接有进液管或进液接头。 采用上述结构后，由于采用板式出液头，电解蚀刻液可以均匀布于被电解蚀刻板 的表面，使电解蚀刻均匀进行；同时，本实用新型整体结构紧凑、占空间小，便于组装，经久 耐用。此外，电解蚀刻效率高。以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型一种电极装置的结构示意正视图； 图2是
图1的俯视图； 图3是
图1的后视图； 图4是
图1的仰视图； 图5是
图1的左视图； 图6是
图1沿A-A线的剖视图； 图7是图6沿C部放大图； 图8是图4沿B-B线的剖视图； 图8a是图4沿B_B线的另一种剖视图； 图9是本实用新型中的第二滚轮支架的立体结构示意图；
图10是本实用新型中的第一滚轮支架的立体结构示意图；
图11是本实用新型中的固定有第一滚轮支架的板式出液头板盖的结构正视图；
图12是
图11的后视图；
图13是
图11沿D-D线的剖视图；
图14是
图11沿E-E线的剖视图；
图15是本实用新型中的板式出液头板座的结构正视图；
图16是
图15的后视图；
图17是
图15沿F-F线的剖视图；
图18是
图15沿G-G线的剖视图；
图19是
图15沿H部放大图； 图20是本实用新型中的电极的立体结构示意图。
具体实施方式如
图1、2、3、4、5、6、7、8、11所示， 一种电极装置，包括电极l，所述电极1至少一侧 装连有板式出液头IO，板式出液头IO上具有进口 10-1-1和出口 10-1-2，板式出液头10内 有液体主通道10-l，液体主通道10-1分别与进口 10-1-1和出口 10-1-2连通，所述板式出 液头10是与电极1侧面相适配的板形体，板式出液头10内的液体主通道10-1沿电极1长 度方向设置，出口 10-1-2沿电极1长度方向布置，出口 10-1-2朝向电极1底部和/或电极 l底面下方的空间。 如图5、7、8、11、12、13、14、15、16、17、18、19所示，为了便于制造板式出液头IO，所 述板式出液头10为剖分式结构，包括板座10-2和板盖10-3，板座10-2与板盖10-3密封 固定连接，液体主通道10-1设在板盖10-3与板座10-2之间，进口 10-1-1设在板盖10-3 上，板座10-2上有与液体主通道10-1连通的液体次通道10-4及出口 10-1-2。当然，板座 10-2与板盖10-3也可以焊接固定；板式出液头10也可以为整体式结构，液体通道10-1、进 口 10-1-1和出口 10-1-2均可在整体式结构上加工得出。 如图7、8、15、16、17、18、19所示，为了使喷出的电解蚀刻液更加均匀，提高电解
4蚀刻效率，所述出口 10-1-2为一条或多条缝隙，缝隙下部的板式出液头IO上设有导流沿 10-1-3。当然，出口 10-1-2也可以是若干圆孔。 如图8所示，本实用新型的板式出液头10与电极1直接固定连接。如图8a所示， 为了便于在电极1上装拆板式出液头10而不轻易损坏电极1，另一种可选择的实施例是，所 述板式出液头10通过螺钉9与连接板11固定连接，连接板11与电极1通过螺钉12固定 连接。 如图4、6、8、20所示，为了在使用时保持电极与被电解蚀刻板的合适距离，提高电 解蚀刻效率，所述电极1底部开有若干滚轮槽l-l，每个滚轮槽1-1中设置一个滚轮4，电极 1上还开有支撑孔1-2，支撑孔1-2中装有滚轮轴5，每个滚轮4均套装在滚轮轴5上，滚轮 4的轮底低于电极1底面。 如
图1、4、8、10、11、13、14所示，为了在使用时保持电极与被电解蚀刻板的合适距 离，提高电解蚀刻效率，所述板式出液头10的板盖10-3上固定有第一滚轮支架2，第一滚轮 支架2上装有滚轮轴6，滚轮轴6上装有若干滚轮7和隔套8，隔套8位于滚轮7之间，滚轮 7的轮底低于电极1的底面。 如图3、4、5、6、8、9所示，为了在使用时保持电极与被电解蚀刻板的合适距离，提 高电解蚀刻效率，所述电极1上远离板式出液头10的一侧固定有第二滚轮支架2'，第二滚 轮支架2'上装有滚轮轴6'，滚轮轴6'上装有若干滚轮7'和隔套8'，隔套8'位于滚轮7' 之间，滚轮7'的轮底低于电极l的底面，第二滚轮支架2'通过螺钉9'与电极1固定连接。 如
图1、2、4、7、8所示，所述板式出液头10的进口 10_1_1连接有进液管或进液接 头3。
权利要求一种电极装置，包括电极(1)，其特征在于a、所述电极(1)至少一侧装连有板式出液头(10)，板式出液头(10)上具有进口(10-1-1)和出口(10-1-2)，板式出液头(10)内有液体主通道(10-1)，液体主通道(10-1)分别与进口(10-1-1)和出口(10-1-2)连通，b、所述板式出液头(10)是与电极(1)侧面相适配的板形体，板式出液头(10)内的液体主通道(10-1)沿电极(1)长度方向设置，出口(10-1-2)沿电极(1)长度方向布置，出口(10-1-2)朝向电极(1)底部和/或电极(1)底面下方的空间。
2. 根据权利要求l所述的电极装置，其特征在于所述板式出液头(10)为剖分式结构，包括板座(10-2)和板盖(10-3)，板座(10-2)与板盖(10-3)密封固定连接，液体主通道(10-1)设在板盖(10-3)与板座(10-2)之间，进口 (10-1-1)设在板盖(10-3)上，板座(10-2)上有与液体主通道(10-1)连通的液体次通道(10-4)及出口 (10-1-2)。
3. 根据权利要求1或2所述的电极装置，其特征在于所述出口 (10-1-2)为一条或多条缝隙，缝隙下部的板式出液头(10)上设有导流沿(10-1-3)。
4. 根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于所述板式出液头(10)通过螺钉(9)与连接板(11)固定连接，连接板(11)与电极(1)通过螺钉(12)固定连接。
5. 根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于所述电极(1)底部开有若干滚轮槽(l-l)，每个滚轮槽(1-1)中设置一个滚轮(4)，电极(1)上还开有支撑孔(l-2)，支撑孔(1-2)中装有滚轮轴(5)，每个滚轮(4)均套装在滚轮轴(5)上，滚轮(4)的轮底低于电极(1)底面。
6. 根据权利要求2所述的电极装置，其特征在于所述板式出液头(10)的板盖(10-3)上固定有第一滚轮支架(2)，第一滚轮支架(2)上装有滚轮轴(6)，滚轮轴(6)上装有若干滚轮(7)和隔套(S)，隔套(8)位于滚轮(7)之间，滚轮(7)的轮底低于电极(1)的底面。
7. 根据权利要求l所述的电极装置，其特征在于所述电极(1)上远离板式出液头(10)的一侧固定有第二滚轮支架(2')，第二滚轮支架(2')上装有滚轮轴(6')，滚轮轴(6')上装有若干滚轮(7')和隔套(8，)，隔套(8，)位于滚轮(7')之间，滚轮(7')的轮底低于电极(1)的底面，第二滚轮支架(2')通过螺钉(9')与电极(1)固定连接。
8. 根据权利要求l所述的电极装置，其特征在于所述板式出液头(10)的进口(10-1-1)连接有进液管或进液接头(3)。
专利摘要本实用新型公开了电解蚀刻用的一种电极装置，它包括电极，所述电极至少一侧装连有板式出液头，板式出液头上具有进口和出口，板式出液头内有液体主通道，液体主通道分别与进口和出口连通，所述板式出液头是与电极侧面相适配的板形体，板式出液头内的液体主通道沿电极长度方向设置，出口沿电极长度方向布置，出口朝向电极底部和/或电极底面下方的空间。本实用新型能使电解蚀刻液均匀布于被电解蚀刻板的表面，使电解蚀刻均匀进行；同时，结构紧凑、占空间小，便于组装，经久耐用。
文档编号C25F7/00GK201525901SQ20092004889
公开日2010年7月14日 申请日期2009年10月30日 优先权日2009年10月30日
发明者周丁政 申请人:常州市正成标牌设备有限公司