一种三电极系统电化学沉积池的制作方法

文档序号:5273397阅读:1405来源:国知局
专利名称:一种三电极系统电化学沉积池的制作方法
技术领域
本实用新型属于电化学设备领域,具体是涉及一种三电极系统电化学沉积池。
背景技术
电化学沉积法是制备功能薄膜材料的一种成熟技术,可以在各种结构复杂的基体上均匀沉积;适合用于各种形状的基体材料,特别是异型结构件。电化学沉积过程中控制工艺条件(如:电流、溶液PH值、温度、浓度、组成、沉积时间等)可精确控制沉积层的厚度,化学组成和结构。电化学沉积是一种经济的沉积方法,设备投资少、工艺简单、操作容易、环境安全,生产方式灵活,适于工业化生产。沉积池是电化学沉积设备中的重要组成部分,而目前市面上的三电极沉积池结构复杂,制造成本高且对基体材料的形状有一定要求,对片状、块状或圆柱状等形状不同的基体材料作为沉积衬底不具有普适性,从而限制了其应用。
发明内容针对上述现状,本实用新型的目的是提供一种三电极系统电化学沉积池,该三电极沉积池结构简单,功能齐全,实验操作方便,可用于多种不同形状的基体材料作为衬底开展沉积实验,实用性强。本实用新型所采用的技术方案是:一种三电极系统电化学沉积池,由玻璃杯体、杯盖及嵌在杯盖并深入玻璃杯体内的三种电极组成,所述玻璃杯体底部设有起搅拌作用的磁力搅拌子;所述三电极分别为工作电极、参比电极及对电极,工作电极位于杯盖的前端,参比电极与对电极并行排列于杯盖的后端;所述杯盖上还设有导气孔及温度计插孔;所述工作电极选用夹子工作电极或旋钮卡槽工作电极;所述夹子工作电极由嵌在塑料旋塞的铜棒、包裹于铜棒的绝缘层及连接于铜棒下端的导电夹组成;所述旋钮卡槽工作电极由嵌在塑料旋塞的铜棒、包裹于铜棒的绝缘层及连接于铜棒下端的旋钮卡槽组成;所述对电极选用石墨电极或钼电极;所述参比电极采用双盐桥系统。本实用新型的有益效果是:在进行电化学沉积实验时,将沉积池与电化学工作站之间电气连接,两种可选的工作电极可以满足夹持不同形状的基体材料作为衬底开展沉积实验,夹子工作电极主要应用于片状等较薄的基体材料,而旋钮卡槽工作电极用于块状、圆柱状等厚重的基体材料,两种工作电极更换方便;对电极可选用石墨电极或钼电极;参比电极采用双盐桥系统,保证了实验的精准度,同时可以在银/氯化银电极与饱和甘汞电极之间更换而不用改变外盐桥溶液;因此本实用新型可以使沉积实验更为方便,且与市面上的沉积池对比而言容易生产,成本更低。

图1是本实用新型三电极系统电化学沉积池俯视图。图2是图1中剖面I位置处的剖视图。[0009]图3是图1中剖面2位置处的剖视图。图4是夹子工作电极结构示意图。图5是旋钮卡槽工作电极结构示意图。附图标记说明:1_玻璃杯体;2-杯盖;3_工作电极;4_导气孔;5_参比电极;6-对电极;7_温度计插孔;8_块状或圆柱状基体材料;9_磁力搅拌子;10_温度计;11_塑料旋塞;12_铜棒;13-绝缘层;14-导电夹;15-旋钮卡槽。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落在申请所附权利要求书所限定的范围。如图1到图5所示,一种三电极系统电化学沉积池,由玻璃杯体1、杯盖2及嵌在杯盖2并深入玻璃杯体I内的三种电极组成,所述玻璃杯体I底部设有起搅拌作用的磁力搅拌子9 ;所述三电极分别为工作电极3、参比电极5及对电极6,工作电极3位于杯盖2的前端,参比电极5与对电极6并行排列于杯盖2的后端;所述杯盖2上还设有导气孔4及温度计插孔7 ;所述工作电极3选用夹子工作电极或旋钮卡槽工作电极;所述夹子工作电极由嵌在塑料旋塞11的铜棒12、包裹于铜棒12的绝缘层13及连接于铜棒12下端的导电夹14组成;所述旋钮卡槽工作电极由嵌在塑料旋塞11的铜棒12、包裹于铜棒12的绝缘层13及连接于铜棒12下端的旋钮卡槽15组成;所述对电极6选用石墨电极或钼电极;所述参比电极5采用双盐桥系统。本实用新型使用时,在确定基体材料外形的情况下选择合适的工作电极3,如片状衬底可以选用夹子工作电极,圆柱状或者小的不规则块状衬底可以选用旋钮卡槽工作电极;对电极6的选取可以依照实验环境选择石墨电极或者钼电极;参比电极5可以在银/氯化银电极与饱和甘汞电极之间切换而不用更换外盐桥溶液,使得实验方便快捷;温度计7可以在水银温度计和热偶反馈温度计之间变换。磁力搅拌子9是为需要搅拌沉积服务的。当所有电极类型完成确定后,将电极安装在杯盖2上,旋紧塑料旋塞11,并完成电化学工作站与沉积池之间的电气连接,便可进行沉积实验。本实用新型制造成本低,操作方便,适用性广。
权利要求1.一种三电极系统电化学沉积池,由玻璃杯体、杯盖及嵌在杯盖并深入玻璃杯体内的三种电极组成,其特征在于:所述玻璃杯体底部设有起搅拌作用的磁力搅拌子;所述三电极分别为工作电极、参比电极及对电极,工作电极位于杯盖的前端,参比电极与对电极并行排列于杯盖的后端;所述杯盖上还设有导气孔及温度计插孔;所述工作电极选用夹子工作电极或旋钮卡槽工作电极;所述夹子工作电极由嵌在塑料旋塞的铜棒、包裹于铜棒的绝缘层及连接于铜棒下端的导电夹组成;所述旋钮卡槽工作电极由嵌在塑料旋塞的铜棒、包裹于铜棒的绝缘层及连接于铜棒下端的旋钮卡槽组成;所述对电极选用石墨电极或钼电极;所述参比电极采用双盐桥系统。
专利摘要本实用新型涉及一种三电极系统电化学沉积池,由玻璃杯体、杯盖及嵌在杯盖并深入玻璃杯体内的三种电极组成,所述三电极分别为工作电极、参比电极及对电极,工作电极位于杯盖的前端,参比电极与对电极并行排列于杯盖的后端;所述杯盖上还设有导气孔及温度计插孔;所述工作电极选用夹子工作电极或旋钮卡槽工作电极;所述对电极选用石墨电极或铂电极;所述参比电极采用双盐桥系统。本实用新型操作简单、功能齐全,能简单快捷地更换三种电极,且装置内恒定的电极间距保证了稳定的沉积环境,温度计的引入满足了实验对温度的要求,适用性广。
文档编号C25D17/00GK202925133SQ20122055287
公开日2013年5月8日 申请日期2012年10月26日 优先权日2012年10月26日
发明者李高, 孙建庆, 王青, 林云芸, 李浩业, 白晓光 申请人:孙建庆
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