专利名称：双气冷式罗茨真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种双气冷式罗茨真空泵，属于泵技术领域。
背景技术：
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式真空泵，罗茨泵的泵腔中，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为I的一对齿轮带动作彼此反向的 同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。罗茨泵在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，需要有一台前级真空泵与之串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨泵允许入口压力时，罗茨泵才能开始工作。但由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，压差小，大约在2000 5000Pa,因此需要配功率大的前级真空泵，能耗很大。
实用新型内容根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构紧凑合理、占用空间小、成本低且能耗低的双气冷式罗茨真空泵。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是所述的双气冷式罗茨真空泵，包括电机、联轴器、前盖、后盖和泵体，其特征在于泵体中设置中间隔板和一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴，电机通过联轴器与主动转子轴相连，主动转子轴通过第一同步齿轮、第二同步齿轮与从动转子轴连接，泵体由中间隔板分隔成前、后两个腔室，中间隔板上设有连接通道，每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上，前腔室、后腔室上均设有冷气进口，后腔室的排气口连接换热器的进口，换热器的出口分别通过第一返气管路、第二返气管路与前腔室冷气进口、后腔室冷气进口连通，与前腔室冷气进口连通的第一返气管路上安装气体流量调节阀。本真空泵中，换热器通过返气管路分别与前、后腔室冷气进口相通形成两气冷罗茨真空泵，通过将两气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，通过换热器带走泵体中大量的压缩热，换热器通过返气通道与泵体内的两腔室相通，对真空泵起到很好的冷却效果，使压差能够增大到20000 80000Pa，无需配备前级泵，因此能耗小、节能效果好，大大降低了使用成本；由于前腔室的真空度高，因此在与前腔室冷气进口连通的返气管路上安装调节阀以调节返气流量。在本实用新型中，由于前腔室和后腔室中会存在压差，因此采用如下优选方案在前腔室排气口在前腔室排气口与后腔室进气口间气路上的任意位置与前腔室的进气口之间设置压差阀。通过压差阀将部分气体返回大前腔室中，直至前、后腔室的压力保持平衡。本实用新型所具有的有益效果是本真空泵将两气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，换热器通过返气通道与泵体两腔室相通，能够使压差能够增大到20000 80000Pa，无需配备前级泵，因此能耗小、节能效果好，大大降低了使用成本；整个泵体结构紧凑、占用空间小，降低了生产使用成本，同时便于设备的制作与维护。
图I是本实用新型的结构示意图；图2是图I中泵体的结构示意图。图中1、联轴器；2、前盖；3、泵体；4、压差阀；5、后盖；6、排气口 ；7、第二返气管路；8、换热器；9、第一返气管路；10、调节阀；11、主动转子轴；12、轴承；13、转子；14、连接通道；15、中间隔板；16、转子；17、第一同步齿轮；18、第二同步齿轮；19、从动转子轴；20、转子；21、后腔室；22、前腔室；23、转子；24、前腔室冷气进口 ；25、后腔室冷气进口。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例做进一步描述如图1、2所示，双气冷式罗茨真空泵，包括电机、联轴器I、前盖2、5和泵体3，泵体3中设置中间隔板15和一对平行安装的主动转子轴11、从动转子轴15，电机通过联轴器I与主动转子轴11相连，主动转子轴11通过第一同步齿轮17、第二同步齿轮18与从动转子轴19连接，泵体3由中间隔板15分隔成前、后两个腔室22、21，中间隔板15上设有连接通道14，前腔室22中设置一对转子13、23，转子13和转子23相互垂直且分别安装在主动转子轴11和从动转子轴19上，前、后腔室上分别设有前腔室冷气进口 24、后腔室冷气进口 25，后腔室21中设置一对转子16、20，转子16和转子20相互垂直且分别安装在主动转子轴11和从动转子轴19上，后腔室21的排气口 6连接换热器8的进口，换热器8的出口分别通过第一返气管路9、第二返气管路7与前腔室冷气进口 24、后腔室冷气进口 25连通，第一返气管路9上安装调节阀10。除上述外，在前腔室排气口与后腔室进气口间气路上的任意位置与前腔室的进气口之间设置压差阀4。本真空泵中，换热器8通过第一返气管路9、第二返气管路7分别与前腔室冷气进口 24、后腔室冷气进口 25相通形成两气冷罗茨真空泵，通过将两气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高了泵的极限真空度，通过换热器8带走泵体中大量的压缩热，换热器通过返气通道与泵体内的两腔室相通，对真空泵起到很好的冷却效果，使压差能够增大到20000 80000Pa，无需配备前级泵，因此能耗小、节能效果好，大大降低了使用成本；由于前腔室22的真空度高，因此在与前腔室冷气进口 24连通的第一返气管路9上安装调节阀10以调节返气流量。
权利要求1.一种双气冷式罗茨真空泵，包括电机、联轴器(I)、前盖(2)、后盖(5)和泵体(3)，其特征在于泵体(3)中设置中间隔板(15)和一对平行安装的主动转子轴(11)、从动转子轴(19)，电机通过联轴器(I)与主动转子轴(11)相连，主动转子轴(11)通过第一同步齿轮(17)和第二同步齿轮(18)与从动转子轴(19)连接，泵体(3)由中间隔板(15)分隔成前、后两个腔室，中间隔板(15)上设有连接通道(14)，每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴(11)和从动转子轴(19)上，前腔室(22)、后腔室(21)上均设有冷气进口，后腔室(21)的排气口( 6 )连接换热器(8 )的进口，换热器(8 )的出口分别通过第一返气管路(9)、第二返气管路(7)与前腔室冷气进口(24)、后腔室冷气进口(25)连通，与前腔室冷气进口(24)连通的返气管路(9)上安装气体流量调节阀(10)。
2.根据权利要求I所述的双气冷式罗茨真空泵，其特征在于在前腔室排气口与后腔室进气口间气路上的任意位置与前腔室的进气口之间设置压差阀(4)。
专利摘要本实用新型属于泵技术领域，具体涉及一种双气冷式罗茨真空泵，泵体中设置中间隔板和一对平行安装的主动转子轴、从动转子轴，电机通过联轴器与主动转子轴相连，主动转子轴通过同步齿轮与从动转子轴连接，泵体由中间隔板分隔成前、后两个腔室，中间隔板上设有连接通道，每个腔室中设置一对转子，每对转子相互垂直的安装在主动转子轴和从动转子轴上，前腔室、后腔室上均设有冷气进口，后腔室的排气口连接换热器的进口，换热器的出口分别通过返气管路与前、后腔室的冷气进口连通，与前腔室冷气进口连通的返气管路上安装气体流量调节阀。通过将两气冷罗茨真空泵串联集成为一体，提高泵的极限真空度，且无需配备前级泵，能耗小，节能效果好。
文档编号F04C18/14GK202789526SQ20122028067
公开日2013年3月13日 申请日期2012年6月14日 优先权日2012年6月14日
发明者张汝华, 刘延海, 韩强, 李晓芳 申请人:淄博华中真空设备有限公司