一种真空排气台的制作方法
专利名称:一种真空排气台的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空排气台，包括真空室，为中空长条型结构；在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座使工件和真空室密封连接。本实用新型使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
【专利说明】
一种真空排气台
技术领域
[0001]本申请涉及真空排气技术领域，尤其涉及一种真空排气台。
【背景技术】
[0002]目前的真空排气台，包括真空室，真空室上端具有载物台，下端中部设置真空阀。载物台上设有尾管座，尾管座连接工件，由于尾管座沿直线排列，同一批次的工件在进行抽真空作业时，有的工件的抽口距离真空阀近，有的工件的抽口距离真空阀远，当距离阀门近的工件的真空度达到超高真空时，远端抽口工件的真空度与之相差2?3个数量级，即远端处工件内的真空度达不到超高真空，导致同一批次的工件真空度相差较大。
[0003]为了解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题，现有技术设计了下面两种类型的排气台。
[0004]第一种排气台，通过焊接的方式连接真空阀和真空室，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等问题，保证了真空系统的真空度，提高了抽排气速率，但没有从根本上解决近端工件与远端工件真空度存在差值的问题。
[0005]第二种真空管圆形排气台，把排气台的载物台做成圆形，尾管座以载物台的圆心为中心呈一个或几个同心圆排列，同一同心圆上的尾管座与阀门处的距离相等，没有近端工件与远端工件之分。但传统加热烘箱为长方体结构，处在不同同心圆上的工件与加热烘箱的距离不等，导致处在不同同心圆上的工件在加热烘箱的烘烤下出现受热不均的问题，使得同一批次工件的真空度不一致。而且，阀门处于载物台中心正下方，但工件却处于载物台的周边，造成阀门大部分的抽气被浪费，利用率低。另外，尾气管呈几个同心圆排列时，由于各同心圆的相距距离较短，造成工件与尾气管的连接与分离困难，操作不便。
[0006]因此，目前的排气台不能够很好的解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型了提供了一种真空排气台，以解决目前的排气台不能够很好的解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题。
[0008]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空排气台，真空室，为中空长条型结构;在所述真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室的相对两侧壁；
[0009]阀门，与所述真空室的排气口连接，其中，所述真空室垂直于长方向上的截面面积与所述阀门的横截面积相等；
[0010]多个尾管座，分别设置在所述多个第一开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室密封连接；
[0011 ]所述真空室通过所述阀门连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。
[0012]优选的，所述真空室为中空长方体型结构;所述真空室的腔体截面为正方形截面。
[0013]优选的，所述真空室为中空圆柱体型结构，所述真空室的腔体截面为圆形截面；
[0014]所述多个第一开口并列设置在所述真空室的长方向上。
[0015]优选的，所述真空室的流导是所述尾管座的流导的500倍?1000倍。
[0016]优选的，所述真空室的端面安装有第一真空计;所述排气口与所述阀门的连接处安装有第二真空计。
[0017]优选的，所述真空排气台还包括:载物台，所述载物台和所述真空室密封连接，并且所述载物台开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口 ；所述尾管座，对应设置在所述多个第二开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台密封连接。
[0018]优选的，所述真空排气台还包括:加热罩，设置在所述载物台的上方，所述尾管座全部位于所述加热罩下方。
[0019]优选的，所述加热罩为槽型结构，倒扣在所述载物台上方;所述加热罩的槽内顶部的加热管--对应于所述尾管座分布。
[0020]优选的，在所述加热罩的槽内顶部中，每个加热管和各自对应的尾管座的第一相对距离等于其他加热管和各自对应的尾管座的第二相对距离。
[0021 ]优选的，在所述加热罩内部的侧壁上安装有所述加热管。
[0022]通过本实用新型的一个或者多个技术方案，本实用新型具有以下有益效果或者优占.V.
[0023]本实用新型公开了一种真空排气台，包括:真空室、阀门、多个尾管座、抽真空装置;真空室，为中空长条型结构;在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座用于连接待抽真空的工件，使得工件和真空室密封连接;真空室通过阀门连接抽真空装置，以完成工件的抽排气。通过流导理论的设计，使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0024]进一步的，由于真空排气台的加热罩内部的顶部和内部侧面安装加热管，使得离阀门距离最远的尾管座上的工件可以受到上方和侧面的双重烘烤，进一步缩小了同一批工件真空度的差值，保证了同一批工件真空度的一致。
[0025]进一步的，由于该真空排气台对工位数量没有限制，同一批次可对多个工件进行抽真空操作，工件的生产周期加快，提高了生产效益。
[0026]进一步的，该真空排气台结构简单，操作方法简便。
【附图说明】
[0027]图1为本实用新型实施例中真空排气台的结构示意图；
[0028]图2为本实用新型实施例载物台和尾管座的结构示意图。
[0029]附图标记说明:真空室1、阀门2、离子栗3、排气管4、第一真空计5、第二真空计6、载物台7、尾管座8、加热罩9和加热管10。
【具体实施方式】
[0030]为了使本申请所属技术领域中的技术人员更清楚地理解本申请，下面结合附图，通过具体实施例对本申请技术方案作详细描述。
[0031]参看图1，在本实用新型实施例中，提供了一种真空排气台。
[0032]本实用新型的真空排气台包括真空室1、阀门2、离子栗3、排气管4、第一真空计5、第二真空计6、载物台7、尾管座8、加热罩9和加热管10。
[0033]其中，真空室I为大通道小流阻结构，即真空室I的截面面积越大，气体通过真空室I时受到的阻力越小，真空室I的截面面积和气体通过真空室I时受到的阻力呈反比关系。因此，本实用新型的真空室I的截面面积较大，但气体通过真空室I时受到的阻力却很小。
[0034]真空室I，为中空长条型结构。具体来说，真空室I的形状可以是中空长方体型、中空圆柱体型等等，当然也可以是其他形状。后续将对这两种形状进行具体的介绍。
[0035]在所述真空室I上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室I的相对两侧壁。
[0036]阀门2，与所述真空室I的排气口连接，其中，所述真空室I垂直于长方向上的截面面积与所述阀门2的横截面积相等。参看图1，真空室I为中空圆柱体结构(也可以看做管道结构)，那么真空室I的长方向实际上指的是中空圆柱体结构的轴线11的方向或者平行于轴线11的方向。
[0037]多个尾管座8，分别设置在所述多个第一开口处，所述尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室I密封连接；
[0038]所述真空室I通过所述阀门2连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。
[0039]具体来说，在真空室I一侧壁上设有一个排气口。排气口的具体位置在真空室I的侧壁中部。排气口与阀门2连接，阀门2的下端连接离子栗3(即抽真空装置)，离子栗3的下端与排气管4连接，用来将抽出的气体输送出去。
[0040]为了使同一批次的工件抽气速率一致，本实用新型将真空室I的腔体进行了改进，使得真空室I的截面面积和所述阀门2的横截面积相等。
[0041]真空室I的截面面积就是真空室I垂直于长方向的横截面面积，请参看图1，图1中的真空室I是中空圆柱型结构，真空室I的截面面积实际上就是和轴线垂直的截面面积。由于真空室I为中空圆柱型结构，因此无论是和阀门2连接的中部的截面，或者是两端的端口处的截面，其截面面积都是相等的，且形状都是圆形截面。
[0042]而根据流导理论来说，真空室I端口的真空度与阀门2处的真空度的差值遵从流导理论，即真空室I端口的真空度与阀门2处的真空度与他们的截面面积比值存在一定的关系。假设阀门2的端口处的横截面积SF1，真空室I端口处的截面积为F2,当F2 = F1的值很小，即F2S远小于Fdt，真空室I端口处的真空度比阀门2处的真空度低2?3个数量级；iF2: F1的值约等于I时，即真空室I端口的流导约等于离子栗3抽气口的流导(相当于阀门2处的流导)时，两者的真空度处于同一数量级。
[0043]因此，本实用新型将真空室I的端口的截面积设置成和阀门2的横截面积相等，那么真空室I与阀门2处的流导则相等，能够使真空室I的流导等于离子栗3抽气口的流导，使两者的真空度处于同一数量级。解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门2距离最远的尾管座8上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0044]另外，真空室I的流导是尾管座8处流导的500倍?1000倍。
[0045]以上是以中空圆柱体型的真空室I为例进行说明，除此之外，真空室I还可以是中空长方体型结构，那么真空室I中的长方向指的是平行于长方体中四个长方形的中心线所指的方向。而真空室I中垂直于长方向上的截面面积的形状为正方形截面，截面面积和中空长方体型结构中的正方形面积相等。
[0046]下面介绍尾管座8的排列方式。
[0047]本实用新型设置的尾管座8的数目和真空室I上的第一开口的数目相等。关于尾管座8的数量可以根据实际情况而定，本实用新型不做限制。
[0048]尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室I密封连接。
[0049]当真空室I为中空圆柱体型结构时，多个第一开口并列设置在所述真空室I的长方向上，呈等间距直线状排列，如图2所示。
[0050]当然，此处可以设置载物台7，载物台7主要用来插入尾管座8，载物台7和所述真空室I密封连接，并且所述载物台7开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口。
[0051]若设置有载物台7，那么多个尾管座8对应设置在所述多个第二开口处，所述多个尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台7密封连接。
[0052]当真空室I为中空长方体型结构时，多个第一开口可以任意设置，使得多个尾管座8可以呈任意形状排列，例如呈等间距直线排列;还可以呈等间距点阵排列等等。
[0053]当然，此处也可以设置载物台7，载物台7和所述真空室I密封连接，并且所述载物台7开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口。
[0054]若设置有载物台7，那么多个尾管座8对应设置在所述多个第二开口处，所述多个尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台7密封连接。
[0055]除了上面介绍的结构之外，本实用新型的真空排气台还可以包括加热罩9。
[0056]加热罩9设置在载物台7的上方。作为一种优选的实施方式，加热罩9具体设置在载物台7的正上方，载物台7上设置有多个尾管座8，所述多个尾管座8全部位于加热罩9下方。
[0057]下面具体介绍加热罩9的结构。
[0058]在本实用新型实施例中，加热罩9为槽型结构，倒扣在载物台7上方。另外，加热罩9由丝杠传动，可上下移动。
[0059]而在加热罩9的槽内顶部，还设计有加热管10。加热罩9的槽内顶部的加热管10—一对应于尾管座8分布。
[0060]由于尾管座8的排列方式不同，加热罩9的结构也可以根据尾管座8的排列不同而不同。
[0061]例如，尾管座8在载物台7上呈等间距点阵排列，排列出的形状为长方体型，那么对应的，加热罩9设置为长方体槽型结构，倒扣在载物台7上方。另外，加热罩9的槽型内顶部的加热管10 对应于尾管座8分布，且在加热罩9的槽内顶部中，每个加热管10距离各自对应的尾管座8的第一相对距离等于其他加热管10和各自对应的尾管座8的第二相对距离。举例来说，在所有加热管10中随机选择一个加热管10，它和对应的尾管座8的第一相对距离为LI。在剩余的其他加热管10中，每个加热管10都有各自对应的尾管座8，并且都有各自的相对距离，在此命名为第二相对距离L2。在本实用新型实施例中，第一相对距离LI =第二相对距离L2，以此类推，即在加热罩9的槽内顶部中，所有加热管10和各自的尾管座8的距离都相等。
[0062]另外，在加热罩9内部的侧壁上也安装有加热管10。侧壁上的加热管10根据载物台7上最外围的尾管座8的位置进行设定。举例来说，尾管座8在载物台7上呈等间距直线排列，那么在加热罩9内部的左右两侧也对应安装加热管10，参见图1。
[0063]以上便是本实用新型实施例中真空排气台的具体结构。在实际应用中，真空室I的设计已经能够达到同一批次工件的真空度处于同一数量级的要求，但是，由于尾管座8在载物台7上的排列方式，有的工件离阀门2近，有的工件离阀门2远，不同位置的工件抽气速率还是具有细微的差别，为了更好地保证工件的烘烤抽排气速率一样和保证同一批次工件的真空度一致。将加热罩9设计成槽型结构，倒扣在载物台7上。在加热罩9槽内顶部和内侧壁上也安装加热管10，顶部的所有加热管10与各自的尾管座8的距离都相等，在侧壁加装加热管10是为了使距离阀门2最远的工件的侧面也能够得到加热罩9的烘烤，进而缩小其和载物台7中部的工件的真空度的差值，更好地保证同一批工件真空度的一致。
[0064]为了测量真空室I内的真空度，在真空室I的端口处安装有第一真空计5。在排气口与阀门2的连接处安装有第二真空计6。
[0065]本实用新型中的真空排气台的使用方法:将同一批次的多个工件的抽气嘴一一对应的插入尾管座8内，启动离子栗3、阀门2和加热罩10将工件内的气体抽离，待真空室I腔壁的第一真空计5显示达到超高真空状态(真空度〈10—5Pa)时，工件完成抽排气，达到所需超真空状态后，关闭阀门2、离子栗3和加热罩9。
[0066]通过本实用新型的一个或者多个实施例，本实用新型具有以下有益效果或者优占.V.
[0067]本实用新型公开了一种真空排气台，包括:真空室、阀门、多个尾管座、抽真空装置;真空室，为中空长条型结构;在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座用于连接待抽真空的工件，使得工件和真空室密封连接;真空室通过阀门连接抽真空装置，以完成工件的抽排气。通过流导理论的设计，使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0068]进一步的，由于真空排气台的加热罩的内部的顶部和内部侧面安装加热管，使得离阀门距离最远的尾管座上的工件可以受到上方和侧面的双重烘烤，进一步缩小了同一批工件真空度的差值，保证了同一批工件真空度的一致。
[0069]进一步的，由于该真空排气台对工位数量没有限制，同一批次可对多个工件进行抽真空操作，工件的生产周期加快，提高了生产效益。
[0070]进一步的，该真空排气台结构简单，操作方法简便。
[0071]尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的普通技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。
[0072]显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种真空排气台，其特征在于，包括: 真空室，为中空长条型结构;在所述真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室的相对两侧壁； 阀门，与所述真空室的排气口连接，其中，所述真空室垂直于长方向上的截面面积与所述阀门的横截面积相等； 多个尾管座，分别设置在所述多个第一开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室密封连接； 所述真空室通过所述阀门连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。2.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室为中空长方体型结构； 所述真空室的截面为正方形截面。3.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室为中空圆柱体型结构，所述真空室的截面为圆形截面； 所述多个第一开口并列设置在所述真空室的长方向上。4.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室的流导是所述尾管座的流导的500倍?1000倍。5.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室的端面安装有第一真空计； 所述排气口与所述阀门的连接处安装有第二真空计。6.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空排气台还包括: 载物台，所述载物台和所述真空室密封连接，并且所述载物台开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口； 所述多个尾管座，对应设置在所述多个第二开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台密封连接。7.根据权利要求6所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空排气台还包括: 加热罩，设置在所述载物台的上方，所述尾管座全部位于所述加热罩下方。8.根据权利要求7所述的一种真空排气台，其特征在于， 所述加热罩为槽型结构，倒扣在所述载物台上方； 所述加热罩的槽内顶部的加热管 对应于所述尾管座分布。9.根据权利要求8所述的一种真空排气台，其特征在于， 在所述加热罩的槽内顶部中，每个加热管和各自对应的尾管座的第一相对距离等于其他加热管和各自对应的尾管座的第二相对距离。10.根据权利要求8所述的一种真空排气台，其特征在于，在所述加热罩内部的侧壁上安装有所述加热管。
【文档编号】F04B37/14GK205714650SQ201620261574
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年3月31日
【发明人】徐子明, 傅绍英, 向勇, 刘雯, 闫宗楷
【申请人】成都西沃克真空科技有限公司
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空排气台，包括真空室，为中空长条型结构；在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座使工件和真空室密封连接。本实用新型使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
【专利说明】
一种真空排气台
技术领域
[0001]本申请涉及真空排气技术领域，尤其涉及一种真空排气台。
【背景技术】
[0002]目前的真空排气台，包括真空室，真空室上端具有载物台，下端中部设置真空阀。载物台上设有尾管座，尾管座连接工件，由于尾管座沿直线排列，同一批次的工件在进行抽真空作业时，有的工件的抽口距离真空阀近，有的工件的抽口距离真空阀远，当距离阀门近的工件的真空度达到超高真空时，远端抽口工件的真空度与之相差2?3个数量级，即远端处工件内的真空度达不到超高真空，导致同一批次的工件真空度相差较大。
[0003]为了解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题，现有技术设计了下面两种类型的排气台。
[0004]第一种排气台，通过焊接的方式连接真空阀和真空室，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等问题，保证了真空系统的真空度，提高了抽排气速率，但没有从根本上解决近端工件与远端工件真空度存在差值的问题。
[0005]第二种真空管圆形排气台，把排气台的载物台做成圆形，尾管座以载物台的圆心为中心呈一个或几个同心圆排列，同一同心圆上的尾管座与阀门处的距离相等，没有近端工件与远端工件之分。但传统加热烘箱为长方体结构，处在不同同心圆上的工件与加热烘箱的距离不等，导致处在不同同心圆上的工件在加热烘箱的烘烤下出现受热不均的问题，使得同一批次工件的真空度不一致。而且，阀门处于载物台中心正下方，但工件却处于载物台的周边，造成阀门大部分的抽气被浪费，利用率低。另外，尾气管呈几个同心圆排列时，由于各同心圆的相距距离较短，造成工件与尾气管的连接与分离困难，操作不便。
[0006]因此，目前的排气台不能够很好的解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型了提供了一种真空排气台，以解决目前的排气台不能够很好的解决同一批次的工件在抽真空时，真空度相差较大的问题。
[0008]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空排气台，真空室，为中空长条型结构;在所述真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室的相对两侧壁；
[0009]阀门，与所述真空室的排气口连接，其中，所述真空室垂直于长方向上的截面面积与所述阀门的横截面积相等；
[0010]多个尾管座，分别设置在所述多个第一开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室密封连接；
[0011 ]所述真空室通过所述阀门连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。
[0012]优选的，所述真空室为中空长方体型结构;所述真空室的腔体截面为正方形截面。
[0013]优选的，所述真空室为中空圆柱体型结构，所述真空室的腔体截面为圆形截面；
[0014]所述多个第一开口并列设置在所述真空室的长方向上。
[0015]优选的，所述真空室的流导是所述尾管座的流导的500倍?1000倍。
[0016]优选的，所述真空室的端面安装有第一真空计;所述排气口与所述阀门的连接处安装有第二真空计。
[0017]优选的，所述真空排气台还包括:载物台，所述载物台和所述真空室密封连接，并且所述载物台开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口 ；所述尾管座，对应设置在所述多个第二开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台密封连接。
[0018]优选的，所述真空排气台还包括:加热罩，设置在所述载物台的上方，所述尾管座全部位于所述加热罩下方。
[0019]优选的，所述加热罩为槽型结构，倒扣在所述载物台上方;所述加热罩的槽内顶部的加热管--对应于所述尾管座分布。
[0020]优选的，在所述加热罩的槽内顶部中，每个加热管和各自对应的尾管座的第一相对距离等于其他加热管和各自对应的尾管座的第二相对距离。
[0021 ]优选的，在所述加热罩内部的侧壁上安装有所述加热管。
[0022]通过本实用新型的一个或者多个技术方案，本实用新型具有以下有益效果或者优占.V.
[0023]本实用新型公开了一种真空排气台，包括:真空室、阀门、多个尾管座、抽真空装置;真空室，为中空长条型结构;在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座用于连接待抽真空的工件，使得工件和真空室密封连接;真空室通过阀门连接抽真空装置，以完成工件的抽排气。通过流导理论的设计，使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0024]进一步的，由于真空排气台的加热罩内部的顶部和内部侧面安装加热管，使得离阀门距离最远的尾管座上的工件可以受到上方和侧面的双重烘烤，进一步缩小了同一批工件真空度的差值，保证了同一批工件真空度的一致。
[0025]进一步的，由于该真空排气台对工位数量没有限制，同一批次可对多个工件进行抽真空操作，工件的生产周期加快，提高了生产效益。
[0026]进一步的，该真空排气台结构简单，操作方法简便。
【附图说明】
[0027]图1为本实用新型实施例中真空排气台的结构示意图；
[0028]图2为本实用新型实施例载物台和尾管座的结构示意图。
[0029]附图标记说明:真空室1、阀门2、离子栗3、排气管4、第一真空计5、第二真空计6、载物台7、尾管座8、加热罩9和加热管10。
【具体实施方式】
[0030]为了使本申请所属技术领域中的技术人员更清楚地理解本申请，下面结合附图，通过具体实施例对本申请技术方案作详细描述。
[0031]参看图1，在本实用新型实施例中，提供了一种真空排气台。
[0032]本实用新型的真空排气台包括真空室1、阀门2、离子栗3、排气管4、第一真空计5、第二真空计6、载物台7、尾管座8、加热罩9和加热管10。
[0033]其中，真空室I为大通道小流阻结构，即真空室I的截面面积越大，气体通过真空室I时受到的阻力越小，真空室I的截面面积和气体通过真空室I时受到的阻力呈反比关系。因此，本实用新型的真空室I的截面面积较大，但气体通过真空室I时受到的阻力却很小。
[0034]真空室I，为中空长条型结构。具体来说，真空室I的形状可以是中空长方体型、中空圆柱体型等等，当然也可以是其他形状。后续将对这两种形状进行具体的介绍。
[0035]在所述真空室I上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室I的相对两侧壁。
[0036]阀门2，与所述真空室I的排气口连接，其中，所述真空室I垂直于长方向上的截面面积与所述阀门2的横截面积相等。参看图1，真空室I为中空圆柱体结构(也可以看做管道结构)，那么真空室I的长方向实际上指的是中空圆柱体结构的轴线11的方向或者平行于轴线11的方向。
[0037]多个尾管座8，分别设置在所述多个第一开口处，所述尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室I密封连接；
[0038]所述真空室I通过所述阀门2连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。
[0039]具体来说，在真空室I一侧壁上设有一个排气口。排气口的具体位置在真空室I的侧壁中部。排气口与阀门2连接，阀门2的下端连接离子栗3(即抽真空装置)，离子栗3的下端与排气管4连接，用来将抽出的气体输送出去。
[0040]为了使同一批次的工件抽气速率一致，本实用新型将真空室I的腔体进行了改进，使得真空室I的截面面积和所述阀门2的横截面积相等。
[0041]真空室I的截面面积就是真空室I垂直于长方向的横截面面积，请参看图1，图1中的真空室I是中空圆柱型结构，真空室I的截面面积实际上就是和轴线垂直的截面面积。由于真空室I为中空圆柱型结构，因此无论是和阀门2连接的中部的截面，或者是两端的端口处的截面，其截面面积都是相等的，且形状都是圆形截面。
[0042]而根据流导理论来说，真空室I端口的真空度与阀门2处的真空度的差值遵从流导理论，即真空室I端口的真空度与阀门2处的真空度与他们的截面面积比值存在一定的关系。假设阀门2的端口处的横截面积SF1，真空室I端口处的截面积为F2,当F2 = F1的值很小，即F2S远小于Fdt，真空室I端口处的真空度比阀门2处的真空度低2?3个数量级；iF2: F1的值约等于I时，即真空室I端口的流导约等于离子栗3抽气口的流导(相当于阀门2处的流导)时，两者的真空度处于同一数量级。
[0043]因此，本实用新型将真空室I的端口的截面积设置成和阀门2的横截面积相等，那么真空室I与阀门2处的流导则相等，能够使真空室I的流导等于离子栗3抽气口的流导，使两者的真空度处于同一数量级。解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门2距离最远的尾管座8上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0044]另外，真空室I的流导是尾管座8处流导的500倍?1000倍。
[0045]以上是以中空圆柱体型的真空室I为例进行说明，除此之外，真空室I还可以是中空长方体型结构，那么真空室I中的长方向指的是平行于长方体中四个长方形的中心线所指的方向。而真空室I中垂直于长方向上的截面面积的形状为正方形截面，截面面积和中空长方体型结构中的正方形面积相等。
[0046]下面介绍尾管座8的排列方式。
[0047]本实用新型设置的尾管座8的数目和真空室I上的第一开口的数目相等。关于尾管座8的数量可以根据实际情况而定，本实用新型不做限制。
[0048]尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室I密封连接。
[0049]当真空室I为中空圆柱体型结构时，多个第一开口并列设置在所述真空室I的长方向上，呈等间距直线状排列，如图2所示。
[0050]当然，此处可以设置载物台7，载物台7主要用来插入尾管座8，载物台7和所述真空室I密封连接，并且所述载物台7开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口。
[0051]若设置有载物台7，那么多个尾管座8对应设置在所述多个第二开口处，所述多个尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台7密封连接。
[0052]当真空室I为中空长方体型结构时，多个第一开口可以任意设置，使得多个尾管座8可以呈任意形状排列，例如呈等间距直线排列;还可以呈等间距点阵排列等等。
[0053]当然，此处也可以设置载物台7，载物台7和所述真空室I密封连接，并且所述载物台7开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口。
[0054]若设置有载物台7，那么多个尾管座8对应设置在所述多个第二开口处，所述多个尾管座8用于连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台7密封连接。
[0055]除了上面介绍的结构之外，本实用新型的真空排气台还可以包括加热罩9。
[0056]加热罩9设置在载物台7的上方。作为一种优选的实施方式，加热罩9具体设置在载物台7的正上方，载物台7上设置有多个尾管座8，所述多个尾管座8全部位于加热罩9下方。
[0057]下面具体介绍加热罩9的结构。
[0058]在本实用新型实施例中，加热罩9为槽型结构，倒扣在载物台7上方。另外，加热罩9由丝杠传动，可上下移动。
[0059]而在加热罩9的槽内顶部，还设计有加热管10。加热罩9的槽内顶部的加热管10—一对应于尾管座8分布。
[0060]由于尾管座8的排列方式不同，加热罩9的结构也可以根据尾管座8的排列不同而不同。
[0061]例如，尾管座8在载物台7上呈等间距点阵排列，排列出的形状为长方体型，那么对应的，加热罩9设置为长方体槽型结构，倒扣在载物台7上方。另外，加热罩9的槽型内顶部的加热管10 对应于尾管座8分布，且在加热罩9的槽内顶部中，每个加热管10距离各自对应的尾管座8的第一相对距离等于其他加热管10和各自对应的尾管座8的第二相对距离。举例来说，在所有加热管10中随机选择一个加热管10，它和对应的尾管座8的第一相对距离为LI。在剩余的其他加热管10中，每个加热管10都有各自对应的尾管座8，并且都有各自的相对距离，在此命名为第二相对距离L2。在本实用新型实施例中，第一相对距离LI =第二相对距离L2，以此类推，即在加热罩9的槽内顶部中，所有加热管10和各自的尾管座8的距离都相等。
[0062]另外，在加热罩9内部的侧壁上也安装有加热管10。侧壁上的加热管10根据载物台7上最外围的尾管座8的位置进行设定。举例来说，尾管座8在载物台7上呈等间距直线排列，那么在加热罩9内部的左右两侧也对应安装加热管10，参见图1。
[0063]以上便是本实用新型实施例中真空排气台的具体结构。在实际应用中，真空室I的设计已经能够达到同一批次工件的真空度处于同一数量级的要求，但是，由于尾管座8在载物台7上的排列方式，有的工件离阀门2近，有的工件离阀门2远，不同位置的工件抽气速率还是具有细微的差别，为了更好地保证工件的烘烤抽排气速率一样和保证同一批次工件的真空度一致。将加热罩9设计成槽型结构，倒扣在载物台7上。在加热罩9槽内顶部和内侧壁上也安装加热管10，顶部的所有加热管10与各自的尾管座8的距离都相等，在侧壁加装加热管10是为了使距离阀门2最远的工件的侧面也能够得到加热罩9的烘烤，进而缩小其和载物台7中部的工件的真空度的差值，更好地保证同一批工件真空度的一致。
[0064]为了测量真空室I内的真空度，在真空室I的端口处安装有第一真空计5。在排气口与阀门2的连接处安装有第二真空计6。
[0065]本实用新型中的真空排气台的使用方法:将同一批次的多个工件的抽气嘴一一对应的插入尾管座8内，启动离子栗3、阀门2和加热罩10将工件内的气体抽离，待真空室I腔壁的第一真空计5显示达到超高真空状态(真空度〈10—5Pa)时，工件完成抽排气，达到所需超真空状态后，关闭阀门2、离子栗3和加热罩9。
[0066]通过本实用新型的一个或者多个实施例，本实用新型具有以下有益效果或者优占.V.
[0067]本实用新型公开了一种真空排气台，包括:真空室、阀门、多个尾管座、抽真空装置;真空室，为中空长条型结构;在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座用于连接待抽真空的工件，使得工件和真空室密封连接;真空室通过阀门连接抽真空装置，以完成工件的抽排气。通过流导理论的设计，使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
[0068]进一步的，由于真空排气台的加热罩的内部的顶部和内部侧面安装加热管，使得离阀门距离最远的尾管座上的工件可以受到上方和侧面的双重烘烤，进一步缩小了同一批工件真空度的差值，保证了同一批工件真空度的一致。
[0069]进一步的，由于该真空排气台对工位数量没有限制，同一批次可对多个工件进行抽真空操作，工件的生产周期加快，提高了生产效益。
[0070]进一步的，该真空排气台结构简单，操作方法简便。
[0071]尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的普通技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。
[0072]显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种真空排气台，其特征在于，包括: 真空室，为中空长条型结构;在所述真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，所述多个第一开口和所述排气口分别位于所述真空室的相对两侧壁； 阀门，与所述真空室的排气口连接，其中，所述真空室垂直于长方向上的截面面积与所述阀门的横截面积相等； 多个尾管座，分别设置在所述多个第一开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述真空室密封连接； 所述真空室通过所述阀门连接所述抽真空装置，以完成工件的抽排气。2.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室为中空长方体型结构； 所述真空室的截面为正方形截面。3.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室为中空圆柱体型结构，所述真空室的截面为圆形截面； 所述多个第一开口并列设置在所述真空室的长方向上。4.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室的流导是所述尾管座的流导的500倍?1000倍。5.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空室的端面安装有第一真空计； 所述排气口与所述阀门的连接处安装有第二真空计。6.根据权利要求1所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空排气台还包括: 载物台，所述载物台和所述真空室密封连接，并且所述载物台开设有和所述多个第一开口对应的多个第二开口； 所述多个尾管座，对应设置在所述多个第二开口处，且连接待抽真空的工件，使得所述工件和所述载物台密封连接。7.根据权利要求6所述的一种真空排气台，其特征在于，所述真空排气台还包括: 加热罩，设置在所述载物台的上方，所述尾管座全部位于所述加热罩下方。8.根据权利要求7所述的一种真空排气台，其特征在于， 所述加热罩为槽型结构，倒扣在所述载物台上方； 所述加热罩的槽内顶部的加热管 对应于所述尾管座分布。9.根据权利要求8所述的一种真空排气台，其特征在于， 在所述加热罩的槽内顶部中，每个加热管和各自对应的尾管座的第一相对距离等于其他加热管和各自对应的尾管座的第二相对距离。10.根据权利要求8所述的一种真空排气台，其特征在于，在所述加热罩内部的侧壁上安装有所述加热管。
【文档编号】F04B37/14GK205714650SQ201620261574
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年3月31日
【发明人】徐子明, 傅绍英, 向勇, 刘雯, 闫宗楷
【申请人】成都西沃克真空科技有限公司
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