技术特征：
技术总结
一种微型流体控制装置，包括:压电致动器及壳体；压电致动器具有正方形的悬浮板、外框、连接于悬浮板与外框之间的至少一支架以及压电陶瓷板，具有不大于悬浮板边长的边长，贴附于悬浮板的第一表面上；壳体具有集气板及底座，集气板为周缘具有侧壁构成集气腔室的框体结构，更具有多个贯穿设置的贯穿孔；底座封闭设置于压电致动器的底部，且具有中空孔洞，中空孔洞对应于悬浮板的中心部而设置；其中当压电致动器受电压驱动时，悬浮板亦随的弯曲振动，并将流体自底座的中空孔洞传输至集气腔室，再由多个贯穿孔排出。
技术研发人员：陈世昌;黄启峰;韩永隆;廖家淯;陈寿宏;黄哲威;廖鸿信;陈朝治;程政玮;张英伦;张嘉豪;李伟铭
受保护的技术使用者：研能科技股份有限公司
技术研发日：2016.09.05
技术公布日：2017.08.08