一种用于电子束真空镀膜工艺的低温泵的制作方法

技术特征：

1.一种用于电子束真空镀膜工艺的低温泵，其特征在于，所述低温泵包括一级冷头、二级冷头、活性炭吸附剂、百叶窗挡板、制冷驱动装置和泵壳，其中：

在所述一级冷头上设置有屏蔽罩和百叶窗挡板；

所述一级冷头的上端连接至二级冷头，且在所述二级冷头上设置有低温罩和活性炭吸附剂；

所述制冷驱动装置连接并驱动所述一级冷头和二级冷头制冷。

2.根据权利要求1所述用于电子束真空镀膜工艺的低温泵，其特征在于，

所述泵壳为低温泵的外壳，包覆所述一级冷头、二级冷头、活性炭吸附剂和百叶窗挡板。