技术总结
本实用新型公开了一种用于电子束真空镀膜工艺的低温泵，所述低温泵包括一级冷头、二级冷头、活性炭吸附剂、百叶窗挡板、制冷驱动装置和泵壳，在所述一级冷头上设置有屏蔽罩和百叶窗挡板；所述一级冷头的上端连接至二级冷头，且在所述二级冷头上设置有低温罩和活性炭吸附剂；所述制冷驱动装置连接并驱动所述一级冷头和二级冷头制冷。利用该低温泵代替原有的分子泵，从而提高电子束真空镀膜机的抽真空效率，提高了电子束真空镀膜机成膜的质量。
技术研发人员：董启明
受保护的技术使用者：河北时硕微芯科技有限公司
文档号码：201721074765
技术研发日：2017.08.25
技术公布日：2018.03.27