用于基本气密截断流路的阀门的制作方法

专利名称：用于基本气密截断流路的阀门的制作方法
用于基本气密截断流路的阀门本发明涉及根据权利要求1的前序部分的、用于基本气密截断流路的阀门。这种尤其呈摆动阀(Pendelventil)或滑阀形式的阀门主要被用在真空技术中。从现有技术中公开了上述类型的阀门的许多不同的实施方式并且尤其应用于IC加工、半导体加工或衬底加工领域里的真空室系统，这些加工必须在保护性气氛中在尽量不存在被污染的颗粒的情况下发生。这种真空室系统尤其包括至少ー个设置用来容纳待加工或待生产的半导体元件或衬底的可抽真空的真空室，真空室具有至少ー个真空室开ロ，半导体元件或其它衬底可通过真空室开ロ进送出真空室，这种真空室系统还包括至少ー个用于将真空室抽真空的真空泵。例如，在用于半导体晶片或液晶衬底的加工设备中，高度敏感的半导体元件或液晶元件先后经过多个处理真空室，在处理真空室内，位于处理真空室内的元器件分別借助ー个加工装置被加工。不仅在处理真空室内的加工作业过程中，而且在室与室之间的传输过程中，高度敏感的半导体元件或衬底必须总是处于保护性气氛中，尤其处于排空空气的环境中。为此，一方面采用用于启闭气体供给排出的辅助阀门，另一方面采用用于启闭真空室传输开ロ以便元器件进出的转输阀门。半导体元器件所穿行的真空阀门因为所述应用领域和与之相关的尺寸设定而被称为真空转输阀门，因为其矩形开ロ横截面而也被称为矩形阀门，并且因为其常规工作方式而也被称为滑阀、矩形滑阀或转输滑阀。辅助阀门尤其被用于控制或调整在真空室与真空泵或另ー个真空室之间的气体流动。辅助阀门例如位于在处理真空室或转送室和真空泵、气氛或另ー处理真空室之间的管系内。这种也称为泵阀门的阀门的开ロ横截面一般小于真空转输阀转输中的开ロ横截面。辅助阀门根据应用领域不仅被用于完全启闭阀ロ，而且被用于通过在完全开启位置和气密关闭位置之间连续调节开ロ横截面来控制或调整流通，其也被称为调整阀。ー种可能的用于控制或调整气体流动的辅助阀门是摆动阀。在例如由US6，089，537 (Olmsted)公开的典型的摆动阀中，在第一歩中，一般呈圆形的阀瓣经过一般同样呈圆形的开ロ从开启开ロ的位置像转子那样转动到遮挡开ロ的中间位置。在滑阀的情况下，像例如在US6，416，037 (Geiser)或US6，056，266 (Blecha)中描述的那样，阀瓣及开ロ大多为矩形，并且在第一步中从开启开ロ的位置线性移动到遮挡开 ロ的中间位置。在中间位置上，摆动阀或滑阀的阀瓣处于与包围开ロ的阀座对置间隔的位置上。在第二步中，阀瓣和阀座之间的距离被縮小，从而阀瓣和阀座被均勻地相互压合并且开ロ基本被气密封闭。第二运动优选基本在垂直于阀座的方向上进行。该密封例如可通过设置在阀瓣关闭侧且被压到环绕开ロ的阀座上的密封圈来实现，或者通过在阀瓣关闭侧被压于其上的阀座上的密封圈来实现。通过在第二步中进行的关闭动作，阀瓣和阀座之间的密封圈几乎没有受到会损坏密封圈的剪切力，这是因为在第二步中的阀瓣运动基本垂直于阀座地直线进行。现有技术公开了不同的驱动系统，用于实现在摆动阀时的阀瓣转动和在滑阀时的平行经过开ロ的平移运动和垂直于开ロ的基本平移运动的組合，例如针对摆动阀的US6, 089，537 (Olmsted)和针对滑阀的 US6, 416，037 (Geiser)。US2007/0138424 (Geiser)和 US2007/0138425 (Geiser)公开ー种阀门尤其是摆动
阀或滑阀，用于基本气密截断流路。阀门包括具有第一壁的阀体，第一壁具有第一开口和第 ー阀座，还包括具有带有密封圈的关闭侧的阀瓣和至少ー个驱动装置。借助驱动装置，阀瓣可从开启位置基本平行于第一阀座转动或者移动，或者阀瓣和第一阀座之间的垂直间距可如此减小，即，通过密封圈和第一阀座之间的轴向密封接触，该流路在关闭位置上被基本气密地截断。阀瓣包括与驱动装置相连的外盘部和内盘部，外盘部在垂直于第一阀座的方向上固定密封圏，内盘部具有外周面并可相对于外盘部在基本垂直于第一阀座的方向上运动地支承。外周面被密封圈基本气密地内密封封闭。因此，在关闭位置上，压カ差作用在阀瓣上，基本在内盘部上，从而内盘部在竖向上与外盘部无关联地支承在阀体部上，尤其在第一阀座或侧向槽上。还公开了这样的滑阀，其中，关闭密封过程通过唯一的直线运动来进行。该滑阀例如是在不同实施例中描述的楔形阀门或者例如是以产品名称“M0N0VAT系列02和03”已知的且呈矩形内置阀门形式的VAT真空阀门AG公司(瑞士哈格)的转输阀门。这种阀门的结构和工作方式例如在US4, 809，950 (Geiser)和US4, 881，717 (Geiser)中有描述。在现有技术例如US6，629，682B2 (Duelli)中描述了不同的密封装置。适用于密封圈的适当材料例如以商标Viton 已知的弾性密封材料。区分为在真空阀上的动态密封和静态密封。静态密封没有直接參与阀门气密关闭过程。静态密封尤其处于真空阀接头上，即， 例如在真空阀接头和真空阀门与之接合的真空装置如处理室、输送室、真空泵或管路系统之间。静态密封一般承受比动态密封小的机械载荷，这是因为在真空阀安装在真空装置上后作用于密封的力基本是恒定的并且在真空阀完成安装后在较长时间内保持气密接触。此外，它较少遇到在阀体内的或许是侵蚀性的流通介质。对静态密封的化学影响和侵蚀影响一般小于在动态密封中的情況。动态密封尤其用于在阀座和活动的阀门闭锁件如阀瓣之间的气密密封。当阀门操作和气密关闭和又开启时，动态密封承受动态载荷并因而必然遇到一定的机械磨损。此外， 动态密封遇到流过阀门的相当多的介质。这主要在阀门闭锁件的中间位置上是这种情況， 因为在此情况下，该介质直接流过动态密封。为了在阀门闭锁件完全开启时保护动态密封并且不让动态密封直接遇到流通介质，由现有技术公开的真空阀门有的规定了在阀体内的至少部分得到保护的区域，在该区域中，阀门闭锁件可在其完全开启位置上转动离开直接流通区。但如果这样的阀门在这样的位置上工作，即，在该位置上，阀门闭锁件处于在完全开启位置和气密关闭位置之间的中间位置，从而开ロ横截面只被縮小，则动态密封必然遇到流过阀门的介质，結果，因为化学作用以及因为磨蚀而出现动态密封的严重磨损。许多エ艺过程采用了侵蚀性气体如侵蚀性等离子体流，其相当严重地化学侵蚀密封材料。尤其在半导体业领域的蚀刻エ艺或者涂覆エ艺中，侵蚀性气体流过在其中发生蚀刻或涂覆作业的处理真空室借助辅助阀门来调整。作为辅助阀门，优选使用摆动阀。侵蚀性气体流通的调整通过增大或减小阀门的开ロ横截面来进行。在阀门此时处于调整操作的加 ェ过程中，阀门确实被定期调整，但是不需要完全关闭阀门。因为阀瓣以其密封在开启位置和关闭位置之间的中间位置上总是突入阀ロ横截面中并且侵蚀性气体流过阀瓣及其密封，所以在调整操作中阀瓣及其密封都被侵蚀性气体严重化学侵蚀。而在这样的エ艺过程中， 调整操作占阀门使用时间的约95%，关闭操作仅占时间份额的5%。气密关闭此时必须只在维修和清理作业中进行。试验表明，在采用了调整用辅助阀门的IC加工、半导体加工或衬底加工领域的エ艺过程中，阀门调整周期与关闭周期之比约为2000000 50。因此，就是说，阀门此时未被用于气密关闭而是被用于縮小和增大阀ロ横截面的周期的份额占据绝对显著的优势。尽管只是偶然使用动态密封并且尽管该密封没有或几乎没有经受由阀门关闭所帯来的机械载荷，但因为该化学作用，动态密封因而必须定期更换。根据エ艺过程，动态密封的更换必须每星期都进行。这费时并导致加工过程的中断。半导体技术的进步也使得近年来对真空阀技术的要求越来越高。因此，新颖的半导体加工方法要求甚至以更短暂的时间间隔更换真空阀的密封。迄今由现有技术公开的真空阀门部分允许更换密封，例如通过更换呈静态密封形式的0形环。但是，其接头具有硫化成型的静态密封的真空阀门使得密封的快速更换无法实现，因而有时必须换掉整个阀瓣。因此缘故，一般如此构成上述类型的真空阀，可以进行动态密封的简单更换，例如通过取出其上设有密封的阀瓣并且换上新的阀瓣。在US7，134，642(kitz)中描述了为此设计的真空滑阀和匹配的多功能工具，该真空滑阀规定了用于简单取出阀瓣的维护开ロ以及适用于快速更换的在阀瓣和阀门驱动装置的推杆之间的交接位置。不过，相对快速简单地更换ー个或多个密封或者整个阀门闭锁件要求エ艺过程的中断，或许需要使环境空气涌入腔室和使用备用件。延长密封的使用寿命并因此延长维护更换间歇期是符合期望的。因此，本发明的ー个任务是提供ー种用于基本气密截断流路的阀门，该阀门的动态密封具有更长的使用寿命。本发明的另ー个任务是如此改进所述的由现有技术已知的阀门，S卩，阀门动态密封的使用寿命被延长。本发明的另一任务在于提供ー种阀门，阀门动态密封在阀瓣的开启位置和中间位置上仅有条件地或甚至没有受到流过阀门的介质的干预。这些任务将通过独立权利要求的特征部分特征的实现来完成。又从属权利要求中得到以替代方式或有利方式改进本发明的特征。本发明基于提供ー种密封座，它可与阀瓣和阀体停放部接合并能够再次分离。为了能用阀瓣气密关闭该阀ロ，密封座以其作为动态密封的第一密封件在所谓的接合位置上设置在阀瓣上，从而阀瓣能以第一密封件被压到阀座上以便气密关闭该阀ロ。而如果不需要借助阀瓣的气密关闭，而只要减小阀ロ的横截面并部分截断流路，则密封座能以第一密封件与阀瓣分离并在所谓的停放位置与阀体的停放部接合。如果密封座处于停放位置，则动态第一密封件被保护而免受流过阀门的介质的影响。与密封座和第一密封件分离的阀瓣现在可被用于通过至少部分遮挡阀ロ横截面和进而通过縮小和扩大开ロ横截面来调整流通，其中第一密封件没有直接遇到流过阀门的介质。因此，本发明的阀门可按照两种工作方式工作，S卩，增大和縮小开ロ横截面的第一工作方式，在这里未进行气密关闭，和完全气密关闭阀门的第二工作方式。因为在密封座此时处于停放位置的第一工作方式中第一密封件没有遇到介质流过，所以第一密封件在此ェ 作方式中没有或几乎没有经受由流过的介质所造成的化学损失或磨损。尤其在第一工作方式即调整操作占主要地位且仅仅偶尔为了尤其维护而选择用于气密关闭该阀门的第二ェ作方式的应用领域，第一密封件的使用寿命得以显著延长。因此，本发明阀门的特点取决于工作方式所占比例地在于动态密封具有明显更长的使用寿命，进而维护间歇期明显更长。 采用本发明阀门的设备的取决于维护的停机时间因此可被显著缩短。可以利用本发明阀门完全避免该エ艺过程因有密封材料而受到化学影响以及动态密封在调整操作中产生磨蚀颗粒。根据本发明的用于基本气密截断流路的阀门具有阀体，在阀体中设有用于流路的至少ー个阀ロ。流路一般是指在两个区域之间的、尤其在用于半导体加工的处理室和外围装置如泵、另ー个处理室或者外界之间的要关闭的流动路径。该流路例如是在处理室和泵之间的或者两个相互连通的处理室之间的连接通道。阀门尤其可以是用于气体导通的辅助阀门如摆动阀，或者是用于将半导体器件从ー个处理室送至下个处理室或外界的转输阀门。后述的阀门因为所述的应用领域而也被称为真空转输阀门并且因为其大多呈矩形的开 ロ横截面而也被称为矩形滑阀。但是显然，任何以其它方式使用本发明的真空阀来基本气密关断任何流路也是可行的。阀ロ具有例如基本为圆形、卵形或矩形的横截面并且具有中心轴线，该中心轴线在阀ロ区域内在流路的中心平行于流路延伸。该开ロ轴线例如垂直于由阀ロ所限定的表面。阀ロ被阀座围绕，阀座环绕开ロ延伸。例如阀座表面至少部分朝向ー个平行于开ロ轴线的方向。另外，该阀门具有包括关闭侧的可调的阀瓣及至少ー个驱动装置，可以借助该驱动装置在开启位置和关闭位置之间调整阀瓣。在开启位置和关闭位置之间的调整通过驱动装置并借助一个至少部分横向于开ロ轴线进行的横向运动来进行。换句话说，该阀瓣可借助驱动装置在至少ー个方向上转动或移动，该方向具有至少ー个垂直于开ロ轴线的方向分量。该方向分量在ー个可能的实施方式中平行于由阀座限定的表面并且该运动至少部分平行于阀座来进行，只要该阀座是垂直于开ロ轴线延伸的。不过，本发明不仅包括具有用于使阀瓣沿着轴线或者围绕轴线运动的单轴驱动装置的阀门，而且优选还具有用于还使阀瓣沿着至少ー个第二轴线或围绕至少ー个第二轴线运动的多轴驱动装置。阀瓣的关闭侧是这样ー个侧面，其在阀瓣的关闭位置上朝向阀ロ并且尤其朝向阀座。在开启位置上，阀瓣就位在设于阀ロ侧旁的阀体停放部内。停放部一般是阀门的这样的区域，在该区域中，从开ロ横截面离开的阀瓣位于开ロ的旁边。在开启位置上，阀口和流路被放开。阀门在开启位置上被完全打开。在关闭位置上，阀瓣以设置在关闭侧的闭合面遮挡阀ロ。闭合面是任何的尤其呈圆片形、圆盘形或板形的元件或部分，借此可将阀ロ的横截面至少部分遮挡住。闭合面或是与阀瓣固定连接并构成在关闭侧延伸的阀瓣组成部分， 或是它是可运动地、尤其可在平行于开ロ轴线的方向上运动地支承在阀瓣上，或者它可与阀瓣脱离开。在关闭位置上，作为动态密封的第一密封件以气密方式接触阀座，从而在第一密封件和阀座之间存在气密接触。阀瓣气密关闭阀ロ，从而截断流路。根据本发明，该阀门具有密封座，密封座可处于至少两个典型位置。在第一位置上，密封座与阀瓣接合，并且在第二位置上，密封座与停放部接合，就是说，分别机械上可分离地暂时固定安置在那里。第一位置被称为接合位置。在密封座的接合位置上，它在阀瓣上与阀瓣的第一容座接合。第一容座一般是阀瓣上的一个元件或一部分，借此可以产生密封座和阀瓣之间的连接。为了可分离地固定该连接，阀门具有第一接合机构，可借此使密封座可分离地与阀瓣的第一容座接合并且在接合位置上被固定。术语“第一容座”和“第一接合机构”是从功能上来理解的。可行的是，第一容座和第一接合机构以同一个机械构件的形式构成，其中第一容座和接合机构两者设置在阀瓣上。但或者以下措施也是可行的，第一容座设置在阀瓣上以容纳密封座，而第一接合机构如承受弹簧作用的止动件可以位于密封座上和/或阀瓣上。第二位置被称为停放位置。在密封座的停放位置上，它在阀体的停放部内与停放部内的第二容座接合。第二容座是在阀体上的停放部内的一个元件或一部分，借此可以产生在密封座和阀体之间的连接。为了能将被容纳在停放部内的第二容座中的密封座固定， 阀门具有第二接合机构，借助第二接合机构，密封座可分离地与停放部的第二容座接合并因而可在停放位置上被固定。术语“第二容座”和“第二接合机构”也从功能上来理解，因为第二容座和第二接合机构可由一个功能単元或多个功能单元来构成。根据本发明，作为动态密封的第一密封件如此安置在密封座上，即当密封座位于阀瓣上进而处于接合位置且阀瓣借助驱动装置已被移入关闭位置吋，第一密封件气密接触阀座。因此，在接合位置和同时的关闭位置上，在第一密封件和阀座之间存在气密连接。另外，第一密封件如此设置在密封座上且如此构成密封座和闭合面，即在接合位置和在同时的关闭位置上，在第一密封件和闭合面之间存在气密连接。换句话说，在关闭位置上存在着在阀座和第一密封件之间的直接气密接触以及在第一密封件和本身封闭的闭合面之间的间接接触或直接接触。第一密封件和闭合面之间的直接接触例如可如此产生，闭合面设置在密封座上， 因此在第一密封件和密封座上的闭合面之间存在气密接触。可以将第一密封件直接安置在闭合面上，做法是，第一密封件例如硫化成型在闭合面上或者被固定在闭合面上的槽内。如果该闭合面是密封座的組成部分，则阀ロ的气密密封和流路的截断通过密封座以在其关闭位置上遮挡阀ロ的闭合面和其气密贴靠在阀座上的第一密封件来实现。配备有闭合面的密封座尤其具有圆片形、圆盘形或板形的本身面状封闭的形状，从而它可作为用于阀ロ的封闭件。第一密封件和闭合面之间的间接接触例如可以如此产生，即闭合面不是密封座的組成部分，而是固定安装或活动安装在阀瓣上。在此情况下，阀门具有密封机构，该密封机构在接合位置和关闭位置上将密封座和闭合面气密连接起来。为此，在ー个可能的实施方式中，该密封机构如此安置在尤其为环形的密封座的至少部分径向朝内的内表面上，从而该密封机构在该接合位置基本径向气密包围该闭合面的至少部分径向朝外的外表面。该闭合面可固定安置在阀瓣上并且尤其具有包括径向朝外的边缘的圆片形状，该边缘作为闭合面的外表面。但或者该闭合面活动安置在阀瓣上。在ー个可能的实施方式中，闭合面可以在垂直于关闭侧的方向上相对于阀瓣且在接合位置上相对于密封座在运动范围内运动地支承在阀瓣上。尤其该支承以弹性方式实现，从而闭合面在不承受载荷的状态中在初始位置上被保持在运动范围内。该闭合面的活动支承实现了闭合面可以在其中一个阀侧上有正压或负压时直接支承在阀座或者阀体的其它部分上。这样的关闭面可移动性例如由 US2007/0138424(Geiser)公开。为了至少在该运动范围的局部区域内保证在闭合面的外表面和密封机构之间的气密接触，该闭合面的外表面被如此设定尺寸，即它在接合位置上至少在闭合面运动范围的局部区域中被密封机构气密包围。例如该外表面在垂直于关闭侧的方向上设定有至少对应于运动范围的尺寸。所述的密封机构可以由第二密封件构成，第二密封件设置在至少部分径向朝内的密封座内表面上并且至少部分径向朝向。因而在接合位置上，第二密封件以基本径向气密的方式包围至少部分径向朝外的闭合面外表面。第二密封件例如可以是设置在周向槽内的 0形环、所谓的密封圈或者硫化的密封。或者，上述的密封机构由第一密封件构成。在此情况下，第一密封件具有两个密封功能。第一密封件为此设置在密封座的至少部分径向朝内的内表面的内边缘部中并且以沿轴向指向的局部在阀瓣的关闭位置上气密接触该阀座。该密封功能对应于常见的如上所述的动态密封。但因为设置在边缘部中，所以第一密封件也在接合位置上以至少部分沿径向朝内的局部基本径向气密地包围闭合面的至少部分径向朝外的外表面。径向一般是指这样的方向分量，它基本在ー个平行于关闭侧的平面内延伸，该平面尤其被开ロ轴线垂直穿过，而轴向一般是指垂直于关闭侧且尤其平行于开ロ轴线的方向分量。术语“径向”在本发明范围内不一定涉及圆形的横截面，而是也可以涉及矩形、卵形或其它横截面。在本发明的ー个特定的改进方案中，闭合面设置在阀瓣上并且该阀门具有密封机构，该密封机构在接合位置和关闭位置上气密连接该密封座和闭合面。密封机构如此安置在密封座的至少部分径向朝内的内表面上，即，密封机构在接合位置上基本径向气密地包围闭合面的至少部分径向朝外的外表面，如上所述。该密封机构能如上所述地由第一密封件或者第二密封件构成。但在此实施方式中，该闭合面的至少部分径向朝外的外表面充当阀瓣的第一容座。该第一接合机构在此实施方式中由呈沿径向是弹性的密封机构形式的力锁合的第一接合机构构成。该密封机构在接合位置如此弹性地包围闭合面的外表面，该密封座可在接合位置上以カ锁合方式被可分离地固定。换句话说，该密封机构在此实施方式中不仅具有密封功能，而且具有第一接合机构意义上的接合功能。在本发明的一个实施方式中，如此构成第一接合机构、第一容座、第二接合机构和第二容座，密封座在接合位置和停放位置的接合和分离通过阀瓣借助驱动装置的运动来实现。换句话说，阀瓣可借助驱动装置如此运动，即，密封座可从其在阀瓣上的接合位置进入在停放部内的停放位置，或反之。为此，驱动装置例如如此构成，阀瓣可至少在开启位置以在垂直于关闭侧的方向上的竖向运动的形式运动。密封座进入和脱离接合位置和停放位置的接合和分离至少部分通过竖向运动来实现。换句话说，驱动装置不仅可以是单轴的，从而阀瓣可以沿ー个轴线或围绕ー个轴线运动，而且可以是多轴的，从而阀瓣还可以沿至少ー 个第二轴线或围绕至少ー个第二轴线即以在垂直于关闭侧的方向上的竖向运动的形式运动。这样的驱动装置在滑阀或摆动阀中是常见的且由现有技术所公开，因为该竖向运动被用于将动态密封竖直压紧到阀座上。在本发明的一个改进方案中，如此构成停放部的第二容座，密封座可至少部分通过竖向运动移入第二容座进入停放位置和移出第二容座离开停放位置。例如，该第二接合机构呈卡ロ连接的形式，它具有至少一道具有插入ロ的縫和至少 ー个凸顶头。卡ロ连接如此设置和形成，凸顶头可借助驱动装置通过该竖向运动被插入插入ロ并且通过横向运动被弓I入缝和进而该停放位置中。在ー个特定实施方式中，阀瓣的第一容座以平移方式的第一容座的形式构成，在这里，密封座可通过竖向运动移入第一容座进入接合位置并移出第一容座离开接合位置。 换句话说，平移方式的第一容座和第一接合机构被构造用于借助基本直线的、在垂直于关闭侧的方向上且尤其平行于ロ轴线延伸的竖向运动容纳该密封座。在该实施方式的改进方案中，第一接合机构呈カ锁合的第一接合机构形式，其在接合位置上直到克服保持力之前都以保持カ将密封座保持在第一容座中。该保持尤其通过摩擦配合实现。保持力的大小如此设定，它可以借助驱动装置通过离开容座以便分离和进入容座以便接合的竖向运动被克服。例如，该カ锁合的第一接合机构由承受弹簧力的止动件构成，该止动件设置在密封座内或者在阀瓣上的第一容座内。本发明不局限于特定类型的阀门。不过，本发明呈摆动阀形式被证明是特別有利的。在此情况下，阀口和阀瓣尤其具有基本为圆形的横截面。该密封座具有环形的或圆盘形的横截面。借助驱动装置造成的横向运动尤其围绕基本平行于开ロ轴线延伸的转动轴线的弧形转动来进行。竖向运动以基本平行于开ロ轴线的直线运动的形式发生。该阀瓣可通过横向运动借助驱动装置在开启位置和中间位置之间转动。在该中间位置上，阀瓣以关闭侧至少部分遮挡阀ロ并且相对于阀座间隔対峙。因此，阀瓣在中间位置上縮小阀ロ并且因为相对于阀座间隔对峙而部分截断流路，而不能完全截断流路。因此，该阀门的开ロ横截面尤其明显被减小。另外，如此构成驱动装置，即阀瓣可利用驱动装置通过竖向运动在中间位置和关闭位置被调整。这种摆动阀的原理结构例如在US2007/01384M(GeiSer)中有描述。不过，本发明的阀门也可呈滑阀形式。在此情况下，阀口和阀瓣例如具有基本为矩形的横截面。密封座具有矩形框状横截面或矩形的闭合横截面。驱动装置的横向运动是沿着基本垂直于开ロ轴线延伸的、尤其为直线状的推进轴线的直线运动。竖向运动是基本平行于开ロ轴线的直线运动。利用驱动装置，该阀瓣可通过横向运动在开启位置和中间位置之间移动。在中间位置上，阀瓣以关闭侧至少部分遮挡了阀ロ并且相对于阀座间隔对置。因此，该阀瓣縮小阀ロ并且部分截断流路，而没有完全截断流路，这是因为阀瓣相对于阀座间隔对置的缘故。另外，该阀瓣可借助驱动装置通过竖向运动在中间位置和关闭位置被调整。不过，根据本发明，该阀门也可以是借助唯一的横向运动来关闭的阀门，它无需竖向运动就能完全关闭，例如楔形阀门。通过使密封座和进而第一密封件与阀瓣分离，它可被用于开ロ横截面的调整就是说扩大和縮小，而第一密封件和或许还有第二密封件不会直接遇到流过阀门的介质。为了完全遮蔽第二密封件而不遇到介质，本发明在改进方案中规定在停放部内有保护面。保护面如此形成，第一密封件在密封座的停放位置上被保护面包围而保护第一密封件免受沿着流路流动的介质的影响。保护面例如呈槽状。本发明的阀门实现了规定两个不同的工作方式，S卩，用于调整阀门的开ロ横截面的第一工作方式，在这里，开ロ横截面被完全打开和明显縮小，尤其可以几乎但不是气密地被关闭，以及第ニ工作方式，在第二工作方式中，阀门可被完全打开和完全关闭。第一工作方式的优点在干，动态的第一密封件在停放位置中被保护而免受化学和机械影响，因此可以显著延长第一密封件的使用寿命。为了实现这些工作方式，本发明的一个实施方式具有控制装置，该控制装置如此与该驱动装置连接并且如此构成，该阀门可按照第一工作方式和第二工作方式工作。在第一工作方式中，该密封座安置在停放位置上且该阀瓣可以在开启位置和中间位置之间被调整。在中间位置上，该阀瓣以关闭侧至少部分遮挡阀ロ，相对于阀座间隔对峙并且縮小阀 ロ，在这里，流路被部分截断。在第二工作方式中，该密封座设置在接合位置上并且阀瓣可在开启位置和关闭位置之间被调整。工作方式的更换通过驱动装置的这种调整来进行，从而位于接合位置或者停放位置上的密封座被其中一个所述接合机构保持在当前的容座上。 例如，工作方式的更换通过将密封座的局部插入呈卡ロ连接形式的第二容座和呈卡ロ连接形式的第二接合机构、通过使阀瓣转动到卡ロ连接的后槽ロ区域和通过竖直调整阀瓣来实现，从而该密封座通过克服力锁合的第一接合机构而与阀瓣分离开。因此，通过使密封座与阀瓣分离，它在停放位置上安置在停放部内。密封座可通过阀瓣的反向运动又可以从停放位置被带入接合位置。以下将结合附图示意表示的具体实施例来单纯举例详细说明本发明的阀门，其中

图1是本发明摆动阀的处于开启位置的斜视图；图2是被打开的阀体的停放部的细节斜视图；图3是处于关闭位置的阀瓣和处于接合位置的密封座的侧横截面图；图4A是在停放部内的阀瓣和在接合位置上的密封座的横截面图；图4B是在过渡至停放位置时的在停放部内的阀瓣和在接合位置上的密封座的横截面图；图4C是在几乎完成至停放位置的过渡时的在停放部内的阀瓣和在接合位置上的密封座的横截面图；图4D是已过渡至停放位置时的在停放部内的阀瓣和密封座的横截面图；图5A是在过渡至停放位置时的停放部、第二容座和处于接合位置的密封座的俯视图；图5B是在完成至停放位置的过渡时的停放部、第二容座和处于接合位置的密封座的俯视图；图6是第一容座和呈承受弹簧作用的止动件形式的第一接合机构的横截面图；图7是不带密封座的处于中间位置的阀瓣的侧横截面图；图8是处于关闭位置的阀瓣和具有唯一密封的处于接合位置的替代的密封座的侧横截面图；图9是处于关闭位置的阀瓣和处于接合位置的带有封闭的闭合面的替代的密封座的侧横截面图。图1、图2、图3、图4A、图4B、图4C、图4D、图5A、图5B、图6和图7从不同的视角
并以不同的具体程度示出了根据本发明的摆动阀处于不同状态的同一个实施例。因此，共同说明这些图，在这里，没有重新介绍有时在之前的附图中已描述过的附图标记和特征。图 1-图7所示的阀门呈摆动阀的形式。用于基本气密截断在图1中用箭头F象征表示的流路 F的阀门具有阀体1。在阀体1中设有用于流路F的阀ロ 2。阀ロ 2具有基本为圆形的横截面并沿着直线的开ロ轴线3笔直穿过阀体1，如在图1中用虚线3所示。即便在所示实施例中的阀门在阀体1中有两个通入阀门内的开ロ，即上开ロ和下开ロ，只将下开ロ称为阀ロ 2，因为阀ロ 2可被气密封闭。阀ロ 2被阀座4包围，阀座由环绕阀ロ 2的平面构成。阀座 4的平面在所示的实施例中被开ロ轴线3垂直穿过。
在阀体1内设有可移动的阀瓣5，阀瓣具有基本为圆形的横截面。如图1所示，阀瓣5具有斜撑式基本结构和摆臂，利用摆臂使阀瓣和驱动装置7相互接合。在阀瓣5的斜撑式基本结构上设有闭合面13，如图3所示。闭合面13在阀门如图所示地取向的情况下朝下，就是说朝向阀ロ 2。该侧面是这样的阀瓣侧面，其用于关闭阀ロ 2，因而以下被称为关闭侧6，如图3所示。闭合面13是闭合圆板，其横截面大于阀ロ 2横截面，如图3所示。就是说，可利用闭合面13完全遮挡阀ロ 2，在这里，闭合面13靠置阀座4上，见图3。闭合面13 可在垂直于关闭侧6的方向上相对于阀瓣5按照在用箭头14表示的运动范围14内运动的方式弾性支承在阀瓣5上。弹簧カ的作用方向朝下，就是说朝向阀座4和阀ロ 2。通过闭合面13相对于阀瓣5的可相对运动性，闭合面13在相对高压位于顶侧即阀瓣5侧或者在阀座4所朝向的那侧存在相对高压的情况下支承在阀座4上。因此，这样的压力差基本作用于闭合面13和阀座4，但几乎没有作用到余下的阀瓣5和驱动装置7。如图1所示，借助驱动装置7，阀瓣5能以表现为转动的横向运动χ的形式围绕基本平行于开ロ轴线3延伸的转动轴线10横向于阀ロ 2且横向于开ロ轴线3地摆转。另外， 阀瓣5能以竖向运动y的形式在垂直于关闭侧6且垂直于横向运动χ的方向上运动。竖向运动y是基本平行于开ロ轴线3的直线运动。阀瓣5可借助驱动装置7在图1所示的开启位置0和图3所示的关闭位置C之间被调整。在开启位置上，阀瓣5就位于设在阀ロ 2侧旁的阀体1停放部8中。阀ロ 2和流路F被阀瓣5及其闭合面13放开。在开启位置0上， 阀瓣横向转动离开阀ロ 2区域，从而开ロ横截面被完全放开。停放部8是阀体1内的对外封闭的部分，在阀ロ 2的侧旁，如图1所示。为了更清楚显示起见，在图1中去掉了停放部 8的遮挡，从而可看到在停放部中处于其开启位置0的阀瓣。但在该工作状态中，停放部被遮挡住。在图3所示的关闭位置上，阀瓣5以其设在关闭侧6的闭合面13封堵住阀ロ 2。
阀门具有环形密封座30，该密封座具有包围闭合面13的基本形状，如图3所示，密封座可处于两个典型位置，即图3和图8的接合位置K和图4D和图5B的停放位置P。在接合位置K，密封座30接合在阀瓣5上；而在密封座30的停放位置P，密封座30与阀体1的停放部8接合。在密封座30上如此设置作为动态密封的第一密封件31，第一密封件31在接合位置K和关闭位置C上气密接触阀座4，如图3所示。在接合位置K上，在第一密封件31和设于阀瓣5上的闭合面13之间存在气密连接。为此，阀门具有密封机构32，在接合位置K 上，该密封机构气密连接密封座30和闭合面13。密封机构32如此安置在密封座30的至少部分径向朝内的内表面35上，S卩，密封机构32在接合位置K上基本径向气密包围闭合面 13的径向朝外的外表面9，如图3所示。如上所述，闭合面13在运动范围14内活动支承在阀瓣5上。为了保证在接合位置K上在密封座30和闭合面13之间的气密连接，如此设定闭合面13的外表面9的尺寸， 即，它在接合位置(K)上至少在闭合面13的运动范围14的部分区域内被密封机构32气密包围，如图3所示。所述的密封机构32在图1-图7的实施例中由环形的第二密封件32构成。第二密封件32设置在密封座30的径向朝内的内表面35上并且径向朝内地取向。第二密封件 32在接合位置K上基本径向气密包围闭合面13的径向朝外的外表面9，如图3所示。不过，代替图3所示的具有两个密封31、32的实施方式，也可由第一密封件31构成密封机构，如在图8的替代实施方式中所示。图8对应于图3。在此情况下，第一密封件 31有双重功能。为此，第一密封件31设置在密封座30的至少部分径向朝内的内表面35的内边缘部中。它在阀瓣5的关闭位置C上以沿轴向取向的局部气密接触阀座4，如图8所示。利用至少部分沿径向朝内取向的局部，第一密封件31在接合位置K以基本径向气密的方式包围闭合面13的至少部分朝外的外表面9，也如图8所示。根据图3和根据图8的实施例可彼此互換，就是说，可以相应地采用所描述的其余特征。如果密封座30处于接合位置K，则阀门可像传统的摆动阀那样工作。阀瓣5可借助驱动装置7通过横向运动χ在图1的开启位置和中间位置之间转动。在中间位置上，阀瓣5以关闭侧6遮挡阀ロ 2，该阀瓣相对于阀座4间隔对置并且縮小阀ロ 2，从而流路F被部分截断。通过驱动装置7的竖向运动y，阀瓣5可以在中间位置和气密的关闭位置C(如图3和图8所示)之间被调整。密封座30位于接合位置K的传统工作方式的ー个优点在干，阀门可被气密关闭。 但在许多应用场合中，阀门完全关闭只是偶然需要的，因为阀门主要处于所谓的调整操作中，在调整操作中，开ロ横截面縮小或扩大，但不应被完全关闭。在调整操作中，第一密封件 31在密封座30的接合位置K上始终在化学和机械方面承受流过阀门的介质的影响，从而第一密封件31会出现更严重的磨损。因此，本发明规定，密封座30可以与阀瓣5脱离开并且可以与阀体1的停放部8接合并处于停放位置P。根据本发明，密封座30能够在密封座30的接合位置K上在阀瓣5上与阀瓣5的第一容座21接合并能够再次分离，并且能够在密封座30的停放位置P上在阀体1的停放部8内与停放部8的第二容座22接合并能够再次分离。为了实现在第一容座21和在第二容座22中的可分离接合，阀门具有对应于各自容座21和22的接合机构33、34。利用第一接合机构33，密封座30能可分离地与阀瓣5的第一容座21相接合，因而在接合位置K上被可分离地固定。利用第二接合机构34，密封座30能可分离地与停放部8 的第二容座22相接合，因而在停放位置P上被可分离地固定。阀瓣5的第一容座21以平移方式的第一容座21的形式构成，如图3、图4A、图4C、 图4D、图6和图7所示。就是说，通过阀瓣5的直线运动，实现了密封座30容纳到第一容座 21中。密封座30可通过竖向运动y移入第一容座21而进入接合位置K，并可移出容座21 而离开接合位置K，见图4C和图4D。为了将密封座30保持在第一容座21中、进而保持在其接合位置K上，设有第一接合机构33，第一接合机构呈カ锁合的第一接合机构33形式，如图6所示。在接合位置K上，力锁合的第一接合机构33以保持力在直到克服保持力之前都将密封座30保持在第一容座21内，在此，保持力可借助驱动装置7通过离开容座21以便分离的竖向运动y被克服。在图6所示的实施例中，力锁合的第一接合机构呈承受弹簧力的止动件33形式，其设置在密封座30内。第一容座21由环绕密封座30设置在阀瓣5上的多个指21构成，如图7所示，图7示出不带密封座30的阀瓣5。在所述指21中形成有凹形的朝向内侧的空缺33c，见图6和图7。在密封座30内有多个承受弹簧カ的止动件33 中的一个止动件，这些止动件33的数量对应于指21和空缺33c的数量。承受弹簧力的止动件33分別由一个弹簧33a和ー个承受弹簧33a力的小球3 組成。小球3 具有对应于空缺33c的形状并且在密封座30被插入第一容座21时通过弹簧33a受压，从而密封座30借助呈承受弹簧カ的止动件形式的力锁合的第一接合机构33以カ锁合方式被固定在第一容座21内。因此，密封座30处于接合位置K上。密封座30与第一容座21的分离如图 4C和图4D所示。利用第二接合机构34被固定在停放部8内的密封座30利用借助驱动装置7的向上进行的竖向运动y(由图4D中的箭头所示)通过阀瓣5的竖直调整从第一容座 21中被抽出，这是因为承受弹簧カ的止动件33的保持力被克服。这通过从图4C过渡至图 4D来示出。该密封座进入接合位置K的接合按照相反的順序完成。就是说，通过所述第一容座21和第一接合机构33，可以使(按照以下描述方式)固定在阀体1上的密封座30通过驱动装置7的竖向运动y脱离开阀瓣5，离开其接合位置K。为了能将密封座30在其停放位置P可分离地固定在该阀体上的受保护的停放部 8内，如图4A至图5所示，设有第二容座22和第二接合机构34。在阀体1的停放部8内形成有保护面12，该保护面基本对应于密封座30的第一密封件31的形状。保护面12以朝上朝向关闭侧6指向闭合面13的环形槽的形式形成在阀体1的停放部8中，如图2所示。在图2中尽量去除了停放部8的遮盖，由此能看到位于阀门内的保护面12。此外，在停放部8内形成有第二容座22。用于将密封座30容纳在停放部内的第二容座22因为其有利的设计构造而也构成第二接合机构34的一部分。以环绕保护面12的方式，在停放部8内形成4个插入ロ 42，如图2、图5A和图5B所示。4个插入ロ 42分别过渡至一道縫41，该缝沿着横向运动χ方向延伸，见图1。插入口 42在功能上构成第二容座 22。与插入ロ 42和縫41相对应，在密封座上设有4个凸顶头43，见图4A、图5A和图 5B。密封座30的这些凸顶头43可通过驱动装置的竖向运动y被插入插入口 42。插入由从图4A过渡至图4B以及从图4B过渡至图4C来表示。如果密封座30的凸顶头43通过驱动装置7的竖向运动y被插入插入口 42，见图4C和图5A，则这些凸顶头43可借助驱动装置7通过横向运动χ被引入缝41中，因而被引入后槽ロ区域中，如从图5A至图5B的过渡所示。在后槽ロ区域中，密封座30在竖向运动y的方向上被固定。如果现在在竖向运动y 方向上调整驱动装置7，如上所述且如图4D所示，则密封座30没有同时进行竖向运动y，而是保持固定在第二容座22内。因此，密封座30与阀瓣5和第一容座21分开，这是因为力锁合的第一接合机构33解除了密封座30和阀瓣5之间的连接。密封座30此时处于后槽 ロ区域内的状态是停放位置P。换句话说，第二接合机构34以卡ロ连接的方式构成，其在停放部8内具有4道各有ー个插入口 42的縫41和在密封座30上的4个凸顶头43。卡ロ连接是如此设置和构成的，4个凸顶头43可通过竖向运动y被插入插入ロ 42并且通过横向运动χ被引入4道縫 41。密封座30因此可被置入停放位置P。就是说，如此构成停放部8的第二容座22，密封座30可至少部分通过竖向运动y移入第二容座22进入停放位置P并且移出第二容座22 离开停放位置P。密封座30进入和离开接合位置K和停放位置P的接合和分离至少部分通过竖向运动y和通过横向运动χ进行。就是说，在所示的实施例中如此构成第一接合机构 33、第一容座21、第二接合机构34和第二容座22，以使密封座30在接合位置K和停放位置 P上的接合和分离通过阀瓣5借助驱动装置7运动来进行。在密封座30的停放位置P上，第一密封件31被保护面12包围以保护第一密封件31免受沿流路F流动的介质的影响。因此，第一密封件31在停放位置P上被保护而免受化学影响和磨损以及其它机械影响。现在，阀门在此工作方式中可按照所谓的调整操作来エ 作，在这里，阀瓣5已允许以其闭合面13通过借助驱动装置7的横向运动χ和竖向运动y 调整阀瓣5来实现阀ロ 2的尽量关闭，但不是完全气密关闭。在图7中示出没有密封座30 的阀瓣5，其在停放位置P上位于停放部8内。如图所示，也可没有密封座30地通过靠置在阀座4上的闭合面13实现阀ロ 2的关闭，但因为缺少密封而不能保证气密密封。不过，在许多应用场合在阀门的大部分使用时间内也不需要气密密封。此外，所示的阀门具有用于驱动装置7的集成式控制装置50，如图1所示。控制装置50如此与驱动装置7相连并且如此构成，S卩，阀门可按照第一工作方式和第二工作方式工作。在第一工作方式中，密封座30安置在停放位置P上并且阀瓣5可在开启位置0和中间位置之间被调整，在所述中间位置，阀瓣5以关闭侧6至少部分封堵阀ロ 2、与阀座4间隔对置且阀瓣5此时縮小阀ロ 2且部分截断了流路(F)。在第二工作方式中，密封座30安置在接合位置K并且阀瓣5可以在开启位置0和关闭位置C之间被调整。在接合位置K和停放位置P上的密封座30的接合以及分离，就是说从其中ー个工作方式过渡到另ー个工作方式，通过控制用于调整阀瓣5的驱动装置7按照上述方式进行。如图1-图7以及图8所示的和所述的具体实施例只用于结合示意图来示范表示本发明。当然，本发明不局限于该实施例及其特征组合。因此，例如以下措施也可以在本发明范围内，闭合面13设置在密封座30上，并且在第一密封件31和闭合面13之间存在直接的气密接触。密封座30在此情况下尤其具有圆盘形横截面。这样的实施例如图9所示。在此情况下可以省掉第二密封件。其余特征对应于上述实施例的特征。另外，应当以功能性来理解的特征能以具有该功能性特征的唯一零部件的形式来实现，反之亦然。因此，例如阀瓣5的第一容座21可由闭合面13的至少部分径向朝外的外表面9构成，力锁合的第一接合机构33由密封机构31或32、尤其由来自根据图1-图7的第一实施例的第二密封件32 或者由来自根据图8的第二实施例的第一密封件31构成。这些密封31或32在径向上是弹性的，从而这些密封机构31或32在接合位置K上如此弹性包围密封面13的外表面9， 即，密封座30在接合位置K上被可分离地固定。在此情况下，可省掉图6所示的第一接合机构33和第一容座21。其余特征可保持不变。
权利要求
1.一种用于基本气密地截断流路(F)的阀门，其具有 阀体(1)， 在所述阀体(1)内的用于所述流路(F)的阀ロ 0)，所述阀ロ具有开ロ轴线(3)， 包围所述阀ロ( 的阀座G)， 具有关闭侧(6)的阀瓣(5)， 至少一个驱动装置(7)，所述阀瓣(5)借助所述驱动装置并利用至少部分横向于所述开ロ轴线(3)进行的横向运动(χ)能够在下述的开启位置(0)和关闭位置(C)之间转动或者移动，-在所述开启位置(0)，所述阀瓣(5)就位在所述阀体(1)的设于所述阀ロ(2)侧旁的停放部(8)内并且放开所述阀ロ(2)和所述流路(F)，-在所述关闭位置(C)，所述阀瓣( 利用设置在所述关闭侧(6)的闭合面(1 遮挡所述阀ロ O)，第一密封件(31)气密接触所述阀座G)，并且所述阀瓣( 气密关闭所述阀 ロ(2)并且截断所述流路(F)， 其特征在干，所述阀门具有密封座(30)， 在所述密封座(30)的接合位置(K)，所述密封座能够在所述阀瓣( 上与所述阀瓣的第一容座01)接合并能够再次分离，并且 在所述密封座(30)的停放位置(P)，所述密封座能够在所述阀体(1)的所述停放部 (8)内与所述停放部(8)的第二容座0 接合并能够再次分离，其中， 第一密封件(31)如此安置在所述密封座(30)上，即，所述第一密封件(31)在所述接合位置(K)和所述关闭位置(C)气密接触所述阀座G)，其中，至少在所述接合位置(K)和所述关闭位置(C)，在所述第一密封件(31)和所述闭合面(1 之间存在气密连接， 所述阀门具有第一接合机构(33)，所述密封座(30)借助所述第一接合机构能够以可分离的方式与所述阀瓣( 的所述第一容座01)接合，并因而能够被固定在所述接合位置 ⑷， 所述阀门具有第二接合机构(34)，所述密封座(30)借助所述第二接合机构能够以可分离的方式与所述停放部(8)的所述第二容座0 接合，并因而能够被固定在所述停放位置(P)。
2.根据权利要求1所述的阀门，其中，如此构成所述第一接合机构(33)、所述第一容座 (21)、所述第二接合机构(34)和所述第二容座0 ，即，所述密封座(30)在所述接合位置 ⑷和所述停放位置⑵的接合和分离是通过所述阀瓣(5)的借助所述驱动装置(7)的运动来进行的。
3.根据权利要求2所述的阀门，其中， 如此构成所述驱动装置(7)，S卩，所述阀瓣(5)至少在所述开启位置(0)能够按照在垂直于所述关闭侧(6)的方向上的竖向运动(y)的形式运动，并且 所述密封座(30)进入和离开所述接合位置⑷和所述停放位置⑵的接合和分离至少部分是通过所述竖向运动(y)来进行的。
4.根据权利要求3所述的阀门，其中，如此构成所述停放部(8)的所述第二容座(22)， 即，所述密封座(30)至少部分通过所述竖向运动(y)能够朝向所述第二容座0 移动而进入所述停放位置(P)并且能够从所述第二容座02)出发离开所述停放位置(P)。
5.根据权利要求4所述的阀门，其中，所述第二接合机构(34)构成为卡ロ连接，所述卡ロ连接包括至少ー个具有插入口 0 的縫Gl)和至少ー个凸顶头(43)，其中，所述卡 ロ连接如此设置和构成，即，所述凸顶头能够通过所述竖向运动(y)插入所述插入口 (42)，并且所述凸顶头能够通过所述横向运动(χ)进入所述缝(41)，因而进入所述停放位置⑵。
6.根据权利要求3至5之一所述的阀门，其中，所述阀瓣(5)的所述第一容座01)构成为平移方式的第一容座(21)，其中，所述密封座(30)通过所述竖向运动(y)能够朝向所述第一容座01)移动而进入所述接合位置(K)并且能够从所述容座01)出发离开所述接合位置⑷。
7.根据权利要求6所述的阀门，其中，所述第一接合机构(33)构成为カ锁合方式的第一接合机构(33)，直到保持力被克服之前，所述第一接合机构在所述接合位置(K)利用所述保持カ将所述密封座(30)保持在所述第一容座01)中，其中，所述保持力能够被为了分离而借助所述驱动装置(7)离开所述容座01)的竖向运动(y)所克服。
8.根据权利要求7所述的阀门，其中，所述カ锁合方式的第一接合机构被构成为承受弹簧作用的止动件(33)，所述止动件设置在所述密封座(30)或所述第一容座01)内。
9.根据权利要求1至8之一所述的阀门，其中， 所述闭合面(1 设置在所述密封座(30)上，并且 在所述第一密封件(31)和所述闭合面(1 之间存在气密接触。
10.根据权利要求1至8之一所述的阀门，其中， 所述闭合面(13)设置在所述阀瓣(5)上，并且 所述阀门具有密封机构(31 ；32)，所述密封机构在所述接合位置(K)和所述关闭位置 (C)气密连接所述密封座(30)和所述闭合面(13)。
11.根据权利要求10所述的阀门，其中， 所述密封机构(31 ；32)如此设置在所述密封座(30)的至少部分径向朝内的内表面 (35)上，以使所述密封机构(31 ；3 在所述接合位置(K)基本径向气密地包围所述闭合面 (13)的至少部分径向朝外的外表面(9)。
12.根据权利要求11所述的阀门，其中， 所述闭合面(13)按照能够在一定运动范围(14)内在垂直于所述关闭侧(6)的方向上相对于所述阀瓣( 运动并能够在所述接合位置(K)相对于所述密封座(30)在ー运动范围内(14)运动的方式支承在所述阀瓣( 上，尤其是弾性地支承在所述阀瓣( 上，并且 如此设定所述闭合面(13)的所述外表面(9)的尺寸，即，所述外表面至少在所述闭合面(13)的运动范围(14)的局部区域内被处于所述接合位置⑷的所述密封机构(31 ；32) 气密包围。
13.根据权利要求7所述的阀门，其中， 所述闭合面(13)设置在所述阀瓣(5)上， 所述阀门具有密封机构(31 ；32)，所述密封机构在所述接合位置(K)和所述关闭位置 (C)气密连接所述密封座(30)和所述闭合面(13)， 所述密封机构(31 ；32)如此设置在所述密封座(30)的至少部分径向朝内的内表面 (35)上，即，所述密封机构(31 ；3 在所述接合位置(K)基本径向气密地包围所述闭合面 (13)的至少部分径向朝外的外表面(9)， 所述阀瓣(5)的所述第一容座01)由所述闭合面(13)的至少部分径向朝外的外表面(9)构成，并且 所述カ锁合方式的第一接合机构(33)是由在径向上弹性的所述密封机构(31 ；32)构成的，其中所述密封机构(31 ；3 在所述接合位置(K)如此弹性包围所述闭合面(1 的所述外表面(9)，S卩，所述密封座(30)能够以可分离的方式固定在所述接合位置(K)。
14.根据权利要求10至13之一所述的阀门，其中， 所述密封机构由第二密封件(32)构成，-所述第二密封件(3 设置在所述密封座(30)的至少部分径向朝内的内表面(35)上且至少部分沿径向朝内地取向，并且-所述第二密封件在所述接合位置(K)基本径向气密地包围所述闭合面(1 的至少部分径向朝外的外表面(9)， 或者，所述密封机构由所述第一密封件(31)构成，-所述第一密封件(31)设置在所述密封座(30)的至少部分径向朝内的内表面(35)的内边缘部中，-所述第一密封件在所述阀瓣(5)的所述关闭位置(C)利用沿轴向取向的局部来气密接触所述阀座G)，并且-所述第一密封件在所述接合位置(K)利用至少部分沿径向朝内的局部来基本径向气密包围所述闭合面(1 的至少部分径向朝外的外表面(9)。
15.根据权利要求3至8之一或权利要求13所述的阀门，其中，所述阀门以下述类型阀门之ー的形式构成 摆动阀，其中，-所述阀ロ( 和所述阀瓣( 具有基本为圆形的横截面， -所述密封座(30)具有环形或碟形的横截面，-所述横向运动(χ)是围绕基本平行于所述开ロ轴线(3)延伸的转动轴线(10)的转动运动，-所述竖向运动(y)是基本平行于所述开ロ轴线(3)的直线运动， -所述阀瓣( 借助所述驱动装置(7)通过所述横向运动(χ)在所述开启位置(0)和中间位置之间转动，在所述中间位置，所述阀瓣( 借助所述关闭侧(6)至少部分地遮挡所述阀ロ⑵并且相对于所述阀座⑷间隔对置，并且在所述中间位置，所述阀瓣(5)縮小所述阀ロ(2)并部分截断所述流路(F)，并且-所述阀瓣( 能够借助所述驱动装置(7)通过所述竖向运动(y)在所述中间位置和所述关闭位置(C)之间调整； 滑阀，其中，-所述阀ロ( 和所述阀瓣( 具有基本为矩形的横截面，-所述密封座(30)具有矩形框状横截面或者矩形的闭合横截面， -所述横向运动(χ)是沿着基本垂直于所述开ロ轴线(3)延伸的推进轴线的直线运动， -所述竖向运动(y)是基本平行于所述开ロ轴线(3)的直线运动， -所述阀瓣( 能够借助所述驱动装置(7)通过所述横向运动(χ)在所述开启位置(0) 和中间位置之间移动，在所述中间位置，所述阀瓣( 借助所述关闭侧(6)至少部分遮挡所述阀ロ⑵并且相对于所述阀座⑷间隔对置，并且在所述中间位置，所述阀瓣(5)縮小所述阀ロ(2)并部分截断所述流路(F)，并且-所述阀瓣( 能够借助所述驱动装置(7)通过所述竖向运动(y)在所述中间位置和所述关闭位置(C)之间调整。
16.根据权利要求1至15之一所述的阀门，所述阀门具有控制装置(50)，所述控制装置如此与所述驱动装置(7)连接并如此构成，即，所述阀门能够按照第一工作方式和第二工作方式工作，其中， 在所述第一工作方式，所述密封座(30)安置在所述停放位置(P)，并且所述阀瓣(5) 能够在所述开启位置(0)和中间位置之间调整，在所述中间位置，所述阀瓣(5)借助所述关闭侧(6)至少部分遮挡所述阀ロ(2)并且相对于所述阀座间隔对置，并且在所述中间位置，所述阀瓣(5)縮小所述阀ロ(2)并部分截断所述流路(F)，并且 在所述第二工作方式，所述密封座(30)安置在所述接合位置(K)，并且所述阀瓣(5) 能够在所述开启位置(0)和所述关闭位置(C)之间调整。
17.根据权利要求1至16之一所述的阀门，其中，在所述停放部(8)内如此形成保护面 (12)，即，所述第一密封件(31)在所述密封座(30)的所述停放位置(P)被所述保护面(12) 包围，以保护所述第一密封件(31)免受沿所述流路(F)流动的介质的影响。
全文摘要
本发明涉及用于气密截断流路(F)的阀门。该阀门具有阀体(1)、阀瓣(5)和驱动装置(7)，阀瓣(5)可借助该驱动装置在开启位置(O)和关闭位置(C)之间被调整。根据本发明，该阀门具有密封座(30)，该密封座可在接合位置(K)在该阀瓣(5)上与该阀瓣的第一容座(21)接合并能够再次分离并且在停放位置(P)在阀体(1)的停放部(8)内与停放部(8)的第二容座(22)接合并能够再次分离。第一密封件(31)如此安置在密封座(30)上，第一密封件(31)在接合位置(K)和关闭位置(C)气密接触阀座(4)，在第一密封件(31)和设于阀瓣(5)上的闭合面(13)之间存在气密接合。借助第一接合机构(33)，密封座(30)在接合位置(K)上可分离地与阀瓣(5)的第一容座(21)接合。密封座(30)借助第二接合机构(34)在停放位置(P)上可分离地与停放部(8)的第二容座(22)接合。
文档编号F16K51/02GK102575777SQ201080036687
公开日2012年7月11日 申请日期2010年7月21日 优先权日2009年8月19日
发明者M·兰普雷克特 申请人:Vat控股公司