用于单晶炉下驱动装置的减震装置的制作方法

文档序号:16771804发布日期:2019-01-29 18:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于单晶炉下驱动装置的减震装置,所述单晶炉包括底座(1)和下驱动装置(2),所述下驱动装置(2)的底端设置有承载板(3),所述承载板固定连接在底座上,其特征在于:

所述底座(1)和承载板(3)之间设置有用于吸收从外界传来的震动,以避免下驱动装置(2)受到外界震动的影响的下减震件(4)。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:所述承载板通过至少两个固定件连接在底座上。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:所述固定件为螺钉(5),所述下减震件套装在螺钉上。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:还包括上减震件,所述上减震垫套装在螺钉的上端部,且所述上减震垫与承载板的上端面压接。

5.根据权利要求4所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:所述螺钉的上端部还套装有垫片,所述垫片与上减震件的上端面压接。

6.根据权利要求4所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:所述上减震件(6)和下减震件(4)均为减震垫。

7.根据权利要求6所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:所述减震垫由橡胶材质制成。

8.根据权利要求6所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:所述上减震件(6)和下减震件(4)的厚度一致。

9.根据权利要求2所述的用于单晶炉下驱动装置的减震装置,其特征在于:所述固定件设置有四个。

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