本实用新型属于密封的技术领域,特别涉及一种腔室密封装置。
背景技术:
目前,在液晶面板制造过程中,所有腔室内密封均使用剖面为c型设计的,此设计在高温腔室内弹性较差,c型密封装置使用不超过6个月就会变形,经盖板下压后无法还原,丢失c型的厚度,从而导致腔室密封不良,腔室密封不良会导致腔室内异物高发,直接影响设备稼动率、良品率等,对生产企业造成损失。
技术实现要素:
本实用新型的目的是提供一种腔室密封装置,具有很强的抗压性能,不易变形,可有效的改善腔室密封不良的状况,且使用寿命长。
本实用新型提供一种腔室密封装置,包括长方形框体,所述长方形框体的四条边的侧面均呈梯形,每条边的斜面上均间隔设置多个凹槽,每个凹槽内设有水平面以及与水平面一端垂直连接的竖直面,所述水平面上均设有与腔室固定的固定孔。
进一步,所述水平面为边的底面,所述垂直面从边的表面向下延伸至水平面形成的。
进一步,每条边的侧面均呈直角梯形,每条边的斜面朝向所述长方形框体的外侧。
进一步,所述长方形框体为一体成型。
进一步,所述长方形框体采用弹性材料制成的。
进一步,所述凹槽的剖面呈直角三角形。
进一步,所述长方形框体的每条边的梯形体的角部采用弧化处理。
本实用新型通过将密封装置设计为梯形结构,梯形结构具有很强的抗压性能,不易变形,自身高度不易丢失,可有效的改善腔室密封不良的状况,确保不影响产品的良率;梯形结构密封装置使用寿命长。
附图说明
图1为本实用新型密封装置结构示意图;
图2为本实用新型密封装置剖面图;
图3为本实用新型密封装置局部侧视图;
图4为本实用新型密封装置局部立体图;
图5为本实用新型密封装置局部俯视图;
图6为本实用新型密封装置密封腔室安装示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本实用新型,应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围,在阅读了本实用新型之后,本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于
本技术:
所附权利要求所限定的范围。
本实用新型提供一种腔室密封装置,如图1至图5所示,包括长方形框体,所述长方形框体的四条边10的侧面均呈梯形,每条边10的斜面上均间隔设置且朝外侧设置的多个凹槽,每个凹槽内设有水平面12以及与水平面12一端垂直连接的竖直面13,所述水平面13上设有与腔室固定的固定孔11,在本实施例中,固定孔11最好为螺孔。
其中,水平面12为边10的底面,垂直面13从边10的表面向下延伸至水平面12形成的。
设置在每条边10上的多个凹槽可以等距离设置,也可以不等距离设置,实际根据腔室外壁14进行确定。
优选地,长方形框体的四条边10的侧面均呈直角梯形,每条边10的斜面朝向所述长方形框体的外侧设置。优选地,所述长方形框体为一体成型,长方形框体采用弹性材料,本实施例长方形框体采用三元乙丙橡胶(epdm)材料。
优选地,凹槽的剖面呈直角三角形,包括水平直角边和竖直直角边,水平直角边上设有固定孔11,固定孔11用于与腔室的外壁固定连接,密封装置上螺孔的数量以及螺孔的直径根据腔室情况而定。
优选地,所述长方形框体的每条边10的梯形体的角部可做弧化处理。
将本实用新型密封装置组装安装时,如图6所示,包括如下步骤:
(1)安装前,将腔室外壁14用酒精布清扫干净,避免异物残留,导致腔室外壁14与密封装置贴合不紧密;
(2)将密封装置表面用酒精布擦拭干净,去除密封装置表面异物;
(3)将密封装置按照腔室结构进行贴合,贴合时注意腔室外壁14的螺孔位置要与密封装置的螺孔11位置匹配;本实施例选用密封装置长2900mm,宽2400mm;
(4)用螺丝15按照螺孔位置进行安装固定;
(5)安装固定完成后再次用酒精布对密封装置进行清扫;
(6)腔室盖板16下压,并腔室升温。
本实用新型通过将密封装置设计为梯形结构,梯形结构具有很强的抗压性能,不易变形,自身高度不易丢失,可有效的改善腔室密封不良的状况,确保不影响产品的良率;梯形结构密封装置使用寿命长。
1.一种腔室密封装置,其特征在于:包括长方形框体,所述长方形框体的四条边的侧面均呈梯形,每条边的斜面上均间隔设置多个凹槽,每个凹槽内设有水平面以及与水平面一端垂直连接的竖直面,所述水平面上均设有与腔室固定的固定孔。
2.根据权利要求1所述的腔室密封装置,其特征在于:所述水平面为边的底面,所述垂直面从边的表面向下延伸至水平面形成的。
3.根据权利要求1所述的腔室密封装置,其特征在于:每条边的侧面均呈直角梯形,每条边的斜面朝向所述长方形框体的外侧。
4.根据权利要求1所述的腔室密封装置,其特征在于:所述长方形框体为一体成型。
5.根据权利要求4所述的腔室密封装置,其特征在于:所述长方形框体采用弹性材料制成的。
6.根据权利要求1所述的腔室密封装置,其特征在于:所述凹槽的剖面呈直角三角形。
7.根据权利要求1所述的腔室密封装置,其特征在于:所述长方形框体的每条边的梯形体的角部采用弧化处理。