专利名称：半导体制造的Runcard管理系统及方法
技术领域：
本发明是有关于一种半导体制造的Runcard管理系统及方法，且特别有关于一种可以自动化且暂时性地建立与管理相应Runcard的制程定义的半导体制造的Runcard管理系统及方法。
背景技术：
在半导体制造过程中，对于研发实验、制程参数调整、或是客户要求的制程条件修正，半导体代工厂(IC Foundry)会以纸本方式产生一Runcard来详细描述相应信息，如半导体设备编号、晶圆(Wafer)数量、晶圆编号、制程程序(Recipe)、或用于实验的分划板(Reticle)等信息。
图1是显示制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)中事先定义的制程定义(Process Definition，PD)或称为主路线(MainRoute)与相应Runcard的制程定义的关系示意图。如图所示，主路线A是制造执行系统中事先定义的制程定义，制程定义A中包含了6个制程站OPA1至OPA6；Runcard B包含了3个子制程定义B10、B2O与B3O，且子制程定义B10包含制程站OPB11，子制程定义B20包含制程站PB21、OPB22与OPB23，子制程定义B30包含制程站OPB31、OPB32与OPB33。其中，每一制程站包含相关的条件、判断与制程。
在此例子中，当制程设备机台执行至制程定义A的制程站OPA3时，被Runcard B指定的批货(Lot)将进行Runcard B所定义的子制程定义，举例来说，Runcard批货中的第1、2、3片晶圆进行子制程定义B10的制程操作；Runcard批货中的第4、5、6片晶圆进行子制程定义B20的制程操作；且Runcard批货中的第1、2、3、4、5、6片晶圆进行子制程定义B30的制程操作。
对于半导体厂中的制造执行系统，如国际商业机器(IBM)公司的SIVIEW，无法提供Runcard有效的管理机制，也无法在制造执行系统的制程定义(Process Definition，PD)发行(Release)服务器中事先定义相关的处理流程，导致制造执行系统的材料管理(Material Management)服务器无法支持自动地将Runcard批货进行上下货，同时，使用者亦无法得知Runcard的处理进程、状态与结果。
此外，由于制造执行系统缺乏有效机制来管理Runcard情况，制程工程师在处理Runcard情况时必须以纸本记录的Runcard信息以人工的方式在设备机台上指定制程程序编号且使用手动模式来处理Runcard批货，从而使得制造程序拖延，违反厂区自动化的趋势。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的为提供一种在不影响制造执行系统中原有制程定义的管理机制情况下可以自动化且暂时性地建立与管理相应Runcard的制程定义的半导体制造的Runcard管理系统及方法。
为了达成本发明的上述目的，可借由本发明所提供的半导体制造的Runcard管理系统及方法来达成。
依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理系统包括一制程定义管理单元、一接收单元、一Runcard处理单元、与一制程定义发行单元。
制程定义管理单元记录原始制程定义。接收单元接收相应一Rurcard的未加工数据，并将未加工数据储存至制程定义管理单元。Runcard处理单元由制程定义管理单元读取相应Runcard的未加工数据，重组未加工数据，并将重组数据储存回制程定义管理单元。制程定义发行单元由Runcard处理单元接收重组数据，并将相应重组数据的Runcard制程定义通知与储存至制程定义管理单元。
制程定义管理单元更将相应Runcard的一制造结果储存回接收单元。此外，系统中更包括一暂置设定单元，用以透过此暂置设定单元于制程定义管理单元的原始制程定义中的一制程站设定一未来途程暂置点(Future Hold)，且制程定义管理单元更包括当于一制程机台执行至此原始制程定义中的制程站的未来途程暂置点时，将相应Runcard的重组资料显示于此制程机台。
其中，接收单元是建置于一工作群组(WorkGroup)系统中，且相应Runcard的未加工数据更包括透过此工作群组系统进行签核，且签核过的未加工数据始可储存至制程定义管理单元之中。
依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理方法包括下列步骤，首先，透过一接收单元接收相应一Runcard的未加工数据，并将未加工数据储存至制程定义管理单元。接着，以一Runcard处理单元由制程定义管理单元读取相应Runcard的未加工数据，且重组该未加工数据，从而得到相应Runcard的重组数据，并将重组数据储存回制程定义管理单元，且传送出重组数据。
之后，于一制程定义发行单元由Runcard处理单元接收相应Runcard的重组数据，并将相应重组数据的一Runcard制程定义通知制程定义管理单元，致使制程定义管理单元将此Runcard制程定义进行储存。
类似地，制程定义管理单元更包括将相应Runcard的一制造结果储存回接收单元。此外，一暂置设定单元更于制程定义管理单元的一原始制程定义中的一制程站设定一未来途程暂置点，且制程定义管理单元更当于一制程机台执行至原始制程定义中的制程站的未来途程暂置点时，将相应Runcard的重组资料显示于制程机台中。
此外，当相应Runcard的制造结果储存回接收单元之后，更可以Runcard处理单元透过制程定义发行单元将制程定义管理单元中的Runcard制程定义删除，且更可以制程定义管理单元将原始制程定义中的制程站的未来途程暂置点解除。
图1为一示意图是显示事先定义的制程定义与相应Runcard的制程定义的关系。
图2为一示意图是显示依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理系统的系统架构。
图3A是显示相应一Runcard的未加工资料。
图3B是显示图3A中的未加工数据经由Runcard处理单元重整后的数据。
图4为一流程图是显示依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理方法的操作流程。
图号说明A-制程定义；B-Runcard制程定义；OPA1、...、OPA6-制程站；B10、B20、B30-子制程定义；OPB11、...、OPB33-制程站； 100-制程定义管理单元；110-制程定义库；120-Runcard未加工数据库；130-Runcard执行结果数据库； 140-Runcard重整数据库；200-工作群组系统； 210-接收单元；300-制程定义发行单元； 400-Runcard处理单元；
S51、S52、...、S54-操作步骤。
具体实施例方式
图2是显示依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理系统的系统架构。
依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理系统包括一制程定义管理单元100、一工作群组系统200、一制程定义发行单元300、与一Runcard处理单元400。
制程定义管理单元100中包括至少四个数据库(其数据结构可以表格方式记录数据)，分别为制程定义库110、Runcard未加工(Raw)数据库120、Runcard执行结果数据库130、与Runcard重整数据库140。其中，制程定义库110记录半导体铸造厂中所有的制程定义111(包括Runcard的制程定义)。Runcard未加工数据库120是储存最原始的Runcard信息(相应Runcard的未加工数据)，其可以是由客户、工程师、或打字小姐所传送或输入的Runcard电子文件。Runcard执行结果数据库130中记录Runcard批货经过相应Runcard的制程处理后的结果，其中可以包括批货编号、晶圆编号、晶圆数目、下、收货的时间、与执行的人名或系统名等等信息。Runcard重整数据库140中是记录经过Runcard处理单元400重整过后的Runcard信息。
工作群组系统200可以是一可以进行签核的系统，如Notes系统，工作群组系统200包括一接收单元210用以接收由客户、工程师、或打字小姐所传送或输入的相应Runcard的未加工数据。相应Runcard的未加工数据可以透过工作群组系统200传送至相关主管与人员进行签核，且签核通过的未加工数据可以透过接收单元210储存至制程定义管理单元100中的Runcard未加工数据库120。另外，相应此Runcard的制造结果亦会由制程定义管理单元100的Runcard执行结果数据库130传送回工作群组系统200的接收单元210。
制程定义发行单元300包括一接口(未显示)用以将使用者输入的制程定义信息转换为制程定义管理单元100所认可且认识的格式，并将转换后的制程定义发行通知并储存至制程定义管理单元100的制程定义库110中。
Runcard处理单元400是用以由制程定义管理单元100的Runcard未加工数据库120中读取相应Runcard的未加工数据，将读取的未加工数据进行重整(Re-organization)，并将重整后的数据储存回制程定义管理单元100的Runcard重整数据库140，且透过制程定义发行单元300将重整后的数据转换为相应Runcard的制程定义并发行储存至制程定义管理单元100的制程定义库110。
图3A是显示相应一Runcard的未加工资料，图3B是显示图3A中的未加工数据经由Runcard处理单元400重整后的数据。如图所示，未加工数据 我要用Recipe A在Equipment B上处理第1、2、3、5片晶圆会被Runcard处理单元400重整为Equipment B，Recipe A，1，2，3，5，并储存至制程定义管理单元100的Runcard重整数据库140之中。
半导体制造的Runcard管理系统中更包括一暂置设定单元(未显示)，用以透过此暂置设定单元于制程定义管理单元100的制程定义库110中对于制程定义中的特定制程站中设定一未来途程暂置点(Future Hold)。当Runcard批货执行至设有未来途程暂置点的制程站时，将会被暂停，以进行相应Runcard的制程定义。
此外，当相应Runcard的制程定义执行完毕时，Runcard处理单元400可以透过制程定义发行单元300将制程定义管理单元100的制程定义库110中的Runcard制程定义删除，且制程定义管理单元100可以将制程定义库110中在制程定义中特定制程站中事先设定的未来途程暂置点解除，其操作将于之后进行说明。
图4是显示依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理方法的操作流程。
依据本发明实施例的半导体制造的Runcard管理方法包括下列步骤，首先，如步骤S51，透过工作群组系统200中的接收单元210接收相应一Runcard的未加工数据，并将未加工数据储存至制程定义管理单元100的Runcard未加工数据库120中。注意的是，未加工数据可以先透过工作群组系统200事先进行相关的签核动作，且唯有签核通过的Runcard才会被执行，且相应的未加工数据才会储存至制程定义管理单元100的Runcard未加工数据库120之中。
另外，在相应此Runcard的批货执行之前，使用者可以透过暂置设定单元于制程定义管理单元100的制程定义库110中对于制程定义中的特定制程站中设定一未来途程暂置点，以在此制程站时进行相应Runcard的制程定义操作。
接着，如步骤S52，以Runcard处理单元400由制程定义管理单元100的Runcard未加工数据库120读取相应Runcard的未加工数据，且如步骤S53，重组读取的未加工数据，从而得到相应Runcard的重组数据，并将此重组数据储存回制程定义管理单元100的Runcard重整数据库140之中，且将重组数据传送至制程定义发行单元300。
之后，如步骤S54，制程定义发行单元300将相应重组数据的一Runcard制程定义通知制程定义管理单元100，致使制程定义管理单元100将此Runcard制程定义储存至制程定义库110之中。
接下来说明于制程设备机台端的相关操作。
如上所述，由于当Runcard批货执行至设有未来途程暂置点的制程站时，将会被暂停。此时，制程设备机台会连结至制程定义管理单元100，并依据未来途程暂置点的设定信息由Runcard重整数据库140抓取相应Runcard的重整资料，并显示于制程设备机台之上。此时，操作人员便可依据相应Runcard的重整资料进行相应的操作。
举例来说，将Runcard批货分为多个子批货，并将不同的子批货指向重整数据中指定的子制程定义，此动作为Runcard Split；当子批货执行完子制程定义之后，子批货可以重新结合为母批货，此动作为Runcard Merge；而当所有的子批货都执行完其相应的子制程定义之后，代表相应此Runcard的制程定义皆已经处理完成，此Runcard批货将会送至主制程定义中适当的下一制程站以进行后续制程操作，此动作为Runcard Complete。
当相应Runcard的制程定义执行完毕时，相应Runcard批货的制造结果会自动储存至制程定义管理单元100的Runcard执行结果数据库130，并传送回工作群组系统200的接收单元210中，以通知相关人员。此外，当相应Runcard的制程定义执行完毕时，Runcard处理单元400可以透过制程定义发行单元300将制程定义管理单元100的制程定义库110中的Runcard制程定义删除，且制程定义管理单元100可以将制程定义库110中在制程定义中特定制程站中事先设定的未来途程暂置点解除。
因此，借由本发明所提供的半导体制造的Runcard管理系统及方法，可以自动化且暂时性地建立与管理相应Runcard的制程定义，从而强化制造执行系统，如国际商业机器公司的SIVIEW的整体管理能力，并提升整体半导体代工厂的自动化目标。
权利要求
1.一种半导体制造的Runcard管理系统，包括一制程定义管理单元，记录至少一原始制程定义(PD)；一接收单元，用以接收相应一Runcard的一未加工数据，并将该未加工数据储存至该制程定义管理单元；一Runcard处理单元，由该制程定义管理单元读取相对应该Runcard的该未加工数据，重组该未加工数据，从而得到相应该Runcard的一重组数据，将该重组数据储存至该制程定义管理单元，并传送出该重组数据；以及一制程定义发行单元，由该Runcard处理单元接收相应该Runcard的该重组数据，并将相应该重组数据的一Runcard制程定义通知该制程定义管理单元，且该制程定义管理单元将该Runcard制程定义进行储存。
2.根据权利要求1所述的半导体制造的Runcard管理系统，其中该制程定义管理单元更将相应该Runcard的一制造结果储存回该接收单元。
3.根据权利要求1所述的半导体制造的Runcard管理系统，更包括一暂置设定单元。
4.根据权利要求3所述的半导体制造的Runcard管理系统，更包括该暂置设定单元于该制程定义管理单元的该原始制程定义中的一制程站设定一未来途程暂置点(Future Hold)。
5.根据权利要求4所述的半导体制造的Runcard管理系统，其中该制程定义管理单元更包括当于一制程机台执行至该原始制程定义中的该制程站的该未来途程暂置点时，将相应该Runcard的该重组资料显示于该制程机台。
6.根据权利要求1所述的半导体制造的Runcard管理系统，其中该接收单元是建置于一工作群组(WorkGroup)系统。
7.根据权利要求6所述的半导体制造的Runcard管理系统，其中相对应该Runcard的该未加工数据更包括透过该工作群组系统进行签核，且签核过的该未加工数据始储存至该制程定义管理单元。
8.根据权利要求1所述的半导体制造的Runcard管理系统，其中该Runcard处理单元更透过该制程定义发行单元将该制程定义管理单元中的该Runcard制程定义进行删除。
9.根据权利要求8所述的半导体制造的Runcard管理系统，其中该制程定义管理单元更将该原始制程定义中的该制程站的该未来途程暂置点解除。
10.根据权利要求1所述的半导体制造的Runcard管理系统，其中该制程定义管理单元与该制程定义发行单元是建置于一制造执行系统(MES)中。
11.一种半导体制造的Runcard管理方法，包括下列步骤透过一接收单元接收相应一Runcard的一未加工数据，并将该未加工数据储存至一制程定义管理单元；以一Runcard处理单元，由该制程定义管理单元读取相应该Runcard的该未加工数据；以该Runcard处理单元重组该未加工数据，从而得到相应该Runcard的一重组数据，并将该重组数据储存至该制程定义管理单元，且传送出该重组数据；以及于一制程定义发行单元由该Runcard处理单元接收相应该Runcard的该重组数据，并将相应该重组数据的一Runcard制程定义通知该制程定义管理单元，致使该制程定义管理单元将该Runcard制程定义进行储存。
12.根据权利要求11所述的半导体制造的Runcard管理方法，更包括该制程定义管理单元将相应该Runcard的一制造结果储存回该接收单元。
13.根据权利要求11所述的半导体制造的Runcard管理方法，更包括以一暂置设定单元于该制程定义管理单元的一原始制程定义中的一制程站设定一未来途程暂置点(Future Hold)。
14.根据权利要求13所述的半导体制造的Runcard管理方法，更包括该制程定义管理单元当于一制程机台执行至该原始制程定义中的该制程站的该未来途程暂置点时，将相应该Runcard的该重组资料显示于该制程机台。
15.根据权利要求11所述的半导体制造的Runcard管理方法，其中该接收单元是建置于一工作群组(WorkGroup)系统。
16.根据权利要求15所述的半导体制造的Runcard管理方法，更包括将相应该Runcard的该未加工数据透过该工作群组系统进行签核，且签核过的该未加工数据始储存至该制程定义管理单元。
17.根据权利要求11所述的半导体制造的Runcard管理方法，更包括以该Runcard处理单元透过该制程定义发行单元将该制程定义管理单元中的该Runcard制程定义进行删除。
18.根据权利要求17所述的半导体制造的Runcard管理方法，更包括以该制程定义管理单元将该原始制程定义中的该制程站的该未来途程暂置点解除。
19.根据权利要求11所述的半导体制造的Runcard管理方法，其中该制程定义管理单元与该制程定义发行单元是建置于一制造执行系统(MES)中。
全文摘要
一种半导体制造的Runcard管理系统，包括一制程定义管理单元、一接收单元、一Runcard处理单元、与一制程定义发行单元。制程定义管理单元记录至少一原始制程定义。接收单元接收相应一Runcard的未加工数据，并将未加工数据储存至制程定义管理单元。Runcard处理单元由制程定义管理单元读取相应Runcard的未加工数据，重组未加工数据，并将重组数据储存回制程定义管理单元。制程定义发行单元由Runcard处理单元接收重组数据，并将相应重组数据的Runcard制程定义通知与储存至制程定义管理单元。
文档编号G01R31/26GK1507007SQ03121340
公开日2004年6月23日 申请日期2003年3月26日 优先权日2002年12月11日
发明者刘智邦, 龚浩民, 林为瑶, 许显荣, 朱孝龙, 陈依君, 周泽安, 詹昌士 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司