专利名称：Tcp处理装置及该装置中连接端子的位置对准方法
技术领域：
本发明涉及用于测试作为IC器件之一种的TCP(Tape Carrier Package:带载封装)或COF(Chip On Film:覆晶薄膜)(以下，将TCP、 COF以及 用其它TAB(Tape Automated Bonding:巻带自动结合)安装技术制造的器件统称 为「TCP」)的TCP处理装置以及该装置中的连接端子的位置对准方法。
背景技术：
在IC器件等电子元件的制造过程中，需要有对最终制成的IC器件 或处于制造中间阶段的器件等进行性能或功能测试的电子元件测试装置，若为 TCP器件，则使用TCP测试装置。 TCP测试装置， 一般由测试机本体、测试头和TCP处理装置(以下 也称为「TCP处理机」)构成。该TCP处理机具有移送在巻带(也包含薄膜，下同) 上形成多个TCP后的载带，将载带推压到与测试头电气连接的探针(pn)be)卡板 的探针上，使TCP的测试焊点(pad)与探针接触来将多个TCP依次付诸测试的功 能。但是，为了用TCP处理机高效且准确地进行测试，必须使TCP的 测试焊点和探针卡板的各探针可靠地接触。鉴于这种情况，在实际运行TCP处理机进行测试前，为了使TCP 的测试焊点和探针卡板的各探针能够可靠接触，要预先对TCP处理机进行初始设定，并进行该设定的登记操作。 TCP处理机的初始设定，例如以如下方式进行。首先，将TCP移 送到测试位置，由推杆装置保持移送来的TCP。然后，将推杆装置移动到可用 相机清晰辨认TCP的高度，用相机拍摄TCP的测试焊点，并在监视器上显示其 图像。操作者观看监视器，可凭目测掌握TCP的旋转角。接着，为了用相机清 晰辨认探针卡板的探针，先将推杆装置移动到TCP不能被相机清晰辨认的高 度，然后用相机拍摄探针卡板的探针，并在监视器上显示其图像。操作者一边 看着监视器， 一边以手动操作使探针卡板台旋转，调整相对于TCP的旋转角的 探针卡板的旋转角。然后，将推杆装置移动到TCP与探针均可被相机清晰辨认 的高度。操作者一边看着监视器， 一边以手动操作在X轴方向和/或Y轴方向上 移动探针卡板台，从而确认TCP的全部测试焊点是否能够与探针卡板的探针接 触，将这样设定的位置作为初始设定并登记。但是，拍摄探针卡板的探针的相机，由于TCP处理机内的空间关 系，设置在探针卡板的下侧。但是，面向TCP的测试焊点的探针的接触面位于 探针卡板的上侧，因此用上述相机拍摄不到探针的接触面。所以，不能掌握探 针的接触面的位置(探针的实际位置)，难以准确地进行TCP的测试焊点和探针 卡板的探针之间的位置对准。不能准确进行TCP和探针之间的位置对准，就会 因此而在实际运行中发生接触不良、接触电阻不稳定、邻接引脚间短接等问题。
发明内容
本发明鉴于上述的实际情况而形成，其目的在于提供能够准确进 行测定部的连接端子和TCP的外部端子之间的位置对准的TCP处理装置，以及 能够准确进行TCP处理装置中的位置对准处理的方法。
为了达成上述目的，本发明首先提供TCP处理装置，该装置能够 移送形成有多个TCP的载带，将载带向具有与测试头电气连接的多个连接端子 的测定部(例如探针卡板)推压，使TCP的外部端子与上述测定部的连接端子连 接，将多个TCP依次付诸测试，其特征在于，设有能够使上述测定部移动的 测定部移动装置和/或能够改变相对于上述测定部的载带位置的巻带移动装 置；以及能够拍摄与上述测定部的连接端子接触面的位置信息相关联地设于上 述测定部的特征部和被测试TCP的规定部位(例如一个或多个外部端子、规定 的标记、器件的一部分等)的拍摄装置，用上述拍摄装置拍摄被测试TCP的规 定部位并获取该规定部位的坐标数据，同时拍摄上述测定部的特征部并获取该 特征部的坐标数据，根据上述特征部的坐标数据推断上述测定部的连接端子接 触面的位置信息，根据上述获取的被测试TCP的规定部位的坐标数据及上述推 断的连接端子接触面的位置信息，求出上述被测试TCP的外部端子和上述连接 端子接触面之间的位置偏移量，基于上述位置偏移量，通过上述测定部移动装 置和/或上述巻带移动装置使上述测定部和/或载带移动，进行上述连接端子对 于被测试TCP的外部端子的位置对准(发明1)。测定部的连接端子接触面，通常难以用拍摄装置拍摄到，但是， 采用上述发明(发明l)，能够通过可拍摄到的特征部的坐标数据来高精度地推 断出连接端子接触面的位置信息，极精确地进行TCP的外部端子和测定部的连 接端子之间的位置对准。从而，在使用TCP处理装置时，能够以短时间高效率 地进行其初始设定。上述发明(发明l)可以构成为这样上述测定部移动装置使上述测 定部在其平面方向上移动，上述巻带移动装置使载带相对于上述测定部在其平 面方向上移动(发明2)，也可以构成为这样上述测定部移动装置使上述测定部绕其垂直轴旋转而移动，上述巻带移动装置使载带相对于上述测定部绕包含 该载带的平面的垂直轴旋转而移动(发明3)，但最好构成为这样上述测定部 移动装置使上述测定部在其平面方向上以及绕垂直轴旋转而移动，上述巻带移 动装置使载带相对于上述测定部在其平面方向上以及绕包含该载带的平面的 垂直轴旋转而移动(发明4)。上述发明(发明4)最好构成为这样首先，获取上述被测试TCP的
规定部位的坐标数据，并获取上述测定部的特征部的坐标数据，根据该特征部 的坐标数据推断出上述测定部的连接端子接触面的位置信息，并根据上述获取
的被测试TCP的规定部位的坐标数据和上述推断的连接端子接触面的位置信 息，求出上述被测试TCP的外部端子和上述连接端子接触面之间的绕垂直轴旋 转的位置偏移量，并基于该绕垂直轴旋转的位置偏移量，通过上述测定部移动 装置和/或上述巻带移动装置使上述测定部和/或载带绕垂直轴旋转而移动，接 着，再次获取上述测定部的特征部的坐标数据，根据该特征部的坐标数据推断 出上述测定部的连接端子接触面的位置信息，并根据上述获取的被测试TCP的 规定部位的坐标数据和上述推断的连接端子接触面的位置信息，求出上述被测 试TCP的外部端子和上述连接端子接触面之间的平面方向上的位置偏移量，并 基于该平面方向上的位置偏移量，通过上述测定部移动装置和/或上述巻带移 动装置使上述测定部和/或载带在平面方向上移动(发明5)。依据上述发明(发明5)，由于分别依次进行绕垂直轴旋转的位置对 准和平面方向上的位置对准，所以能够更准确地进行TCP和测定部之间的位置 对准。上述发明(发明l)最好构成为这样用上述拍摄装置拍摄被测试 TCP的2处以上愤别是相互离开的2处以上)的规定部位，获取2处以上的规定部位的坐标数据，同时还拍摄上述测定部的2处以上(特别是相互离开的2处以上) 的特征部，获取2处以上的特征部的坐标数据(发明6)。依据这样的发明(发明6)， 与仅获取l处坐标数据时相比，能够以更高精度确定外部端子和特征部的位置。上述发明(发明6)最好构成为这样上述被测试TCP的外部端子和 上述测定部的连接端子接触面之间的绕垂直轴旋转的位置偏移量，能够根据从 上述被测试TCP的规定部位的2处以上的坐标数据得到的第1直线的角度和从 基于上述测定部的特征部的2处以上的坐标数据的上述测定部的连接端子接触 面的2处以上的位置信息得到的第2直线的角度之间的差值求出(发明7)。上述发明(发明6)最好构成为这样上述TCP处理装置还设有能够 使上述拍摄装置移动的拍摄装置移动装置，上述拍摄装置通过上述拍摄装置移 动装置产生的移动，拍摄2处以上的上述被测试TCP的规定部位和2处以上的上 述测定部的特征部(发明8)。依据这样的发明(发明8)，由于拍摄装置能够拍摄 到规定部位的相互远离位置上的多个部位和特征部的相互远离位置上的多个 部位，能够高精度地求出TCP和测定部之间的位置偏移量，并能够更准确地进 行TCP和测定部之间的位置对准。上述发明(发明l)最好构成为这样上述特征部与上述测定部中的 多个连接端子接触面的位置信息相关联(发明9)。依据这样的发明(发明9)，同 特征部仅与一个连接端子接触面的位置信息相关联相比，能够以更高精度推断 出整个测定部上的连接端子接触面的位置信息。其次，本发明提供TCP处理装置中的连接端子的位置对准方法， 在该TCP处理装置中，通过移送形成有多个TCP的载带，将载带向具有与测试 头电气连接的多个连接端子的测定部推压，并通过使TCP的外部端子与上述测 定部的连接端子连接将多个TCP依次付诸测试，其特征在于，获取被测试TCP的规定部位的坐标数据，并获取与上述测定部的连接端子接触面的位置信息相 关联地设于上述测定部的特征部的坐标数据，从上述特征部的坐标数据推断出 上述测定部的连接端子接触面的位置信息，根据上述获取的被测试TCP的规定 部位的坐标数据和上述推断的测定部的连接端子接触面的位置信息求出上述
被测试TCP的外部端子和上述连接端子接触面之间的位置偏移量，并基于上述 位置偏移量使上述测定部和/或载带移动(发明10)。上述发明(发明10)可以构成为这样上述位置偏移量是上述被测
试TCP的外部端子和上述测定部的连接端子接触面之间的平面方向上的位置 偏移量，使上述测定部和/或载带在平面方向上移动(发明11)，也可以构成为这
样上述位置偏移量是上述被测试TCP的外部端子和上述测定部的连接端子接
触面之间的绕垂直轴旋转的位置偏移量，使上述测定部和/或载带绕垂直轴旋
转而移动(发明12)，但最好构成为这样上述位置偏移量是上述被测试TCP的
外部端子和上述测定部的连接端子接触面之间的平面方向和绕垂直轴旋转的 位置偏移量，使上述测定部和/或载带在平面方向上以及绕垂直轴旋转而移动
(发明13)。第三，本发明提供TCP处理装置中连接端子的位置对准方法，在 该TCP处理装置中，移送形成有多个TCP的载带，并将载带向具有与测试头电 气连接的多个连接端子的测定部推压，通过使TCP的外部端子与上述测定部的 连接端子连接将多个TCP依次付诸测试，其特征在于，获取被测试TCP的规定 部位的坐标数据，并获取与上述测定部的连接端子接触面的位置信息相关联地 设于上述测定部的特征部的坐标数据，根据上述特征部的坐标数据推断出上述 测定部的连接端子接触面的位置信息，根据上述获取的被测试TCP的规定部位 的坐标数据和上述推断的连接端子接触面的位置信息，求出上述被测试TCP的外部端子和上述测定部的连接端子接触面之间的绕垂直轴旋转的位置偏移量， 基于上述位置偏移量使上述测定部和/或载带绕垂直轴旋转而移动，再次获取 上述测定部的特征部的坐标数据，并根据上述特征部的坐标数据推断出上述测 定部的连接端子接触面的位置信息，根据上述获取的被测试TCP的规定部位的 坐标数据和上述推断测定部的连接端子接触面的位置信息，求出上述被测试
TCP的外部端子和上述测定部的连接端子接触面之间的平面方向上的位置偏 移量，基于上述位置偏移量使上述测定部和/或载带在平面方向上移动(发明 14)。上述发明(发明12 14)最好构成为这样上述被测试TCP的外部端 子和上述测定部的连接端子接触面之间的绕垂直轴旋转的位置偏移量，能够根 据从上述被测试TCP的规定部位的2处以上的坐标数据得到的第1直线的角度 和从基于上述测定部的特征部的2处以上的坐标数据的上述测定部的连接端子 接触面的2处以上的位置信息得到的第2直线的角度之间的差值求出(发明15)。依据本发明的TCP处理装置或连接端子的位置对准方法，能够极 精确地进行测定部的连接端子和TCP的外部端子之间的位置对准。
图1是表示使用本发明一实施例的TCP处理机的TCP测试装置的 正面图。
图2是表示同一实施例的TCP处理机中的推杆装置的侧面图。 图3是表示同一实施例的TCP处理机中的推杆台的平面图。 图4是表示同一实施例的TCP处理机中的探针卡板台的平面图。 图5是表示同一实施例的TCP处理机中的探针卡板台的正面图。图6是表示同一实施例的TCP处理机中的探针卡板的底面图。
图7是表示同一实施例的TCP处理机中的探针卡板的侧面图。
图8A是同一实施例的TCP处理机的初始设定时的动作流程图(之一)。
图8B是同一实施例的TCP处理机的初始设定时的动作流程图(之二)。
图8C是同一实施例的TCP处理机的初始设定时的动作流程图(之三)。
附图标记说明
1 TCP测试装置
2 TCP处理机
3 推杆装置
4 推杆台
5 载带
6b第二相机(拍摄装置)
7 探针卡板台
8 探针卡板
81探针(连接端子) 84特征部 10测试头
21 巻出盘
22 巻取盘
具体实施例方式以下，参照附图就本发明的实施例作详细说明图1是表示使用本发明一实施例的TCP处理机的TCP测试装置的正面图， 图2是表示同一实施例的TCP处理机中的推杆装置的侧面图，图3是表示同一实 施例的TCP处理机中的推杆台的平面图，图4是表示同一实施例的TCP处理机 中的探针卡板台的平面图，图5是表示同一实施例的TCP处理机中的探针卡板 台的正面图，图6是表示同一实施例的TCP处理机中的探针卡板的底面图，图7 是表示同一实施例的TCP处理机中的探针卡板的侧面图。首先，就设有本发明的实施例的TCP处理机的TCP测试装置的总 体结构进行说明。TCP测试装置1由未图示的测试机本体、与测试机本体电气 连接的测试头10和设于测试头10的上侧的TCP处理机2构成。 TCP处理机2是将形成于载带5上的多个TCP依次付诸测试的装 置，为了简化说明，本实施例中假定将TCP逐个付诸测试。但是，本发明并不 受此限定，也可设置成将载带5上纵向和/或横向排列的多个TCP同时付诸测 试。 TCP处理机2设有巻出盘21和巻取盘22，巻出盘21上巻有测试前的 载带5。载带5从巻出盘21巻出，测试后巻到巻取盘22上。在巻出盘21和巻取盘22之间，设有将从载带5剥离的保护巻带51 从巻出盘21架设到巻取盘22的3个间隔轮23a、 23b、 23c。各间隔轮23a、 23b、 23c可各自上下移动，以调整保护巻带51的张力。在巻出盘21的下侧设有巻带导向板24a、巻出限位轮25a、入侧辅 助链轮25b和入侧导引轮25c，从巻出盘21巻出的载带5通过巻带导向板24a导 引，同时借助于巻出限位轮25a、入侧辅助链轮25b和入侧导引轮25c移送到推 杆装置3。在巻取盘22的下侧设有巻带导向板24b、巻取限位轮25f、出侧辅助链轮25e和出侧导引轮25d，测试后的载带5借助于出侧导引轮25d、出侧辅助 链轮25e和巻取限位轮25f，在巻带导向板24b的导引下由巻取盘22巻回。而且，在入侧导引轮25c和出侧导引轮25d之间设有推杆装置3。如图1和图2所示，在推杆装置3的座架(推杆座架)36上，借助于支 架361装有可驱动滚珠丝杆32旋转的伺服电机31，同时，滚珠丝杆32螺纹啮合 的推杆本体部33借助于2根Z轴方向的线性移动导杆(以下称「LM导杆」)37安 装。通过驱动伺服电机31，该推杆本体部33可在线性移动导杆37导引下在上下 方向(Z轴方向)移动。该推杆本体部33的下端部设有与负压力源(图示略)连接而能够吸 附保持载带5的吸附板34。
推杆本体部33的前侧(图l中的左侧)设有张紧链轮35a，推杆本体部33的后 侧(图l中右侧)设有主链轮35b，并以所希望的张力保持载带5。如图2和图3所示，在推杆座架36上的推杆本体部33的后侧以承载 于基座38的方式设有推杆台4，推杆台4的转台即上台板48固定在推杆座架36 上。推杆台4的底座40上设有使X轴方向设轴的滚珠丝杆42a旋转的伺 服电机41 a、使Y轴方向设轴的滚珠丝杆42b旋转的伺服电机41b和使Y轴方向设 轴的滚珠丝杆42c旋转的伺服电机41c,伺服电机41b和伺服电机41c分别设于底 座40的两端部。由X轴方向的LM导杆43a、 43a导引而可在X轴方向滑动的滑块44a 与滚珠丝杆42a螺纹啮合。在滑块44a上，装有可借助于Y轴方向的LM导杆45a 在Y轴方向滑动的滑板46a。在滑板46a的上侧固定有内设滚环的旋转构件47a， 旋转构件47a可自由转动地装于上台板48。
由Y轴方向的LM导杆43b、43b导引而可在Y轴方向滑动的滑块44b 与滚珠丝杆42b螺纹啮合。在滑块44b上，装有可借助于X轴方向的LM导杆45b 在X轴方向滑动的滑板46b。在滑板46b的上侧固定有内设滚环的旋转构件47b， 旋转构件47b可自由转动地装于上台板48。由Y轴方向的LM导杆43c、 43c导引而可在Y轴方向滑动的滑块44c 与滚珠丝杆42c螺纹啮合。在滑块44c上，装有可借助于X轴方向的LM导杆45c 在X轴方向滑动的滑板46c。在滑板46c的上侧固定有内设滚环的旋转构件47c， 旋转构件47c可自由转动地装于上台板48。在具有这种结构的推杆台4中，通过驱动伺服电机41a使滑块44a、 滑板46b及滑板46c在X轴方向滑动，从而可使上台板48在X轴方向上移动。另 外，通过驱动伺服电机41b和伺服电机41c使滑块44b、滑块44c及滑板46a在同 一Y轴方向上滑动，从而可使上台板48在Y轴方向上移动。而且，通过驱动伺 服电机41a使滑块44a在X轴方向滑动，并通过驱动伺服电机41b和伺服电机41c 使滑块44b和滑块44c各自在相反的Y轴方向上滑动，使各旋转构件47a、 45b、 45c转动，从而可使上台板48在其垂直轴旋转方向上转动。这样的推杆台4可使 推杆装置3在X轴-Y轴方向上移动，并使推杆装置3在垂直轴旋转方向上旋转并 转动。另一方面，如图1所示，在推杆装置3的下侧、测试头10的上部， 设有搭载探针卡板8的探针卡板台7。这里，探针卡板台7有两种， 一种可用电 机驱动机构进行移动控制，另一种仅具有手动调整功能，假定本实施例采用具 有电机驱动机构的探针卡板台7。如图4和图5所示，在探针卡板台7的基座71上，设有使在X轴方向 设轴的滚珠丝杆712旋转的伺服电机711和4根X轴方向的LM导杆713。这4根LM导杆713上，设有可由各LM导杆713在X轴方向上滑动地导引的矩形的X底 座72。在该X底座72的一侧，形成有与滚珠丝杆712螺纹啮合的螺合部721。在X底座72上，设有使Y轴方向设轴的滚珠丝杆723转动的伺服电 机722和2根Y轴方向的LM导杆724。在这2根LM导杆724上，设有可通过各LM 导杆724在Y轴方向滑动地导引的矩形的Y底座73。在该Y底座73的一侧形成与 滚珠丝杆723螺纹啮合的螺合部731。在Y底座73上，设有使Y轴方向设轴的滚珠丝杆733转动的伺服电 机732和自由转动地支持卡板环735的连接环734。卡板环735的一部分上，形成 有与滚珠丝杆733螺纹啮合的螺合部736。探针卡板8通过4个销钉82可自由装拆 地安装于上述卡板环735上。在具有这种结构的探针卡板台7上，能够驱动伺服电机711来使X 底座72且进而使探针卡板8在X轴方向上移动，并能够驱动伺服电机722来使Y 底座73且进而使探针卡板8在Y轴方向上移动。另外，通过驱动伺服电机732而 使滚珠丝杆733转动，使螺合部736移动，使卡板环735和探针卡板8可在其垂直 轴旋转方向上转动。再有，TCP处理机2设有可自动控制伺服电机711、 722、 732的驱动的控制装置，从而能够使探针卡板8在X轴方向、Y轴方向上以及绕 垂直轴旋转而自动地移动。如图4 图7所示，探针卡板8设有多个探针81，各探针81借助于测 试头10与测试机本体电气连接。在本实施例中的探针卡板8的中央部形成有矩 形的开口部85，在开口部85的四个角部附近设有凸片83。而且，如图6所示， 在各凸片83的底面设有特征部84。如此，探针卡板8中的特征部84最好在尽可 能相互分离的位置上设置多个。再有，如图6所示，本实施例中的特征部84形成为圆形标记，但并不限定于这种形状，例如也可为十字形标记。另外，探针卡板8上的特征部
84的数量合计为4个，但也不限定于此数量。各特征部84形成在与探针81的接触面(与TCP的测试焊点接触的 接触面)的坐标数据相关联的位置上。目卩，通过获取各特征部84的坐标数据， 可推断出探针81的接触面坐标数据。为了提高推断精度，各特征部84的位置最 好与多个探针81的接触面坐标数据相关联，例如，最好与位于各特征部84附近 的数个探针81的接触面坐标数据相关联。各特征部84的坐标数据和探针81的接触面坐标数据之间的关联 信息，存储在后述的图像处理部中。该信息由探针卡板8预先保存，可在探针 卡板8置入TCP处理机2时存储到TCP处理机2(图像处理部)中，也可由TCP处理 机2主动获取。如图1所示，在推杆装置3的前侧(图l中左侧)设有第一相机6a，在 测试头10的下侧设有第二相机(拍摄装置)6b，在推杆装置3的后侧(图1中右侧) 设有第三相机6c。再有，测试头10中形成有间隙，以使第二相机6b能够拍摄探 针卡板8。在推杆装置3和第三相机6c之间设有标记冲头26a和废弃冲头26b。 标记冲头26a基于测试的结果对适合的TCP在规定的位置开出l个或多个孔，废 弃冲头26b将判断为测试不合格品的TCP冲掉。各相机6a、 6b、 6c将由这些相机拍摄的图像显示在显示装置9上， 以让操作者视认。在这些相机中，第一相机6a和第三相机6c用来判断载带5上 有无TCP以及标记冲头26a所开孔的位置与数量。而第二相机6b用来获取TCP 和探针卡板8之间的位置偏移信息，可对视野内的多个对象获取位置偏移信息。另外，第二相机6b搭载在相机台61上，借助于载有相机台61的致动器可在平面视图的纵横方向(X轴-Y轴方向)及上下方向(Z轴方向)上移动。通 过第二相机6b在平面视图的纵横方向(X轴-Y轴方向)上移动，第二相机6b能够 拍摄TCP的位于相互远离位置上的多个测试焊点和探针卡板8的位于相互远离 位置上的特征部84,因此，能够以更高精度求出TCP和探针卡板8之间的位置 偏移量。另外，通过第二相机6b在上下方向(Z轴方向)移动而改变第二相机6b 的焦点位置，能够将焦点对准拍摄目标即测试焊点或特征部84的所希望部位。 从而能够获取拍摄目标部位的清晰轮廓图像，准确地求出测试焊点或特征部84 的坐标数据。再有，第二相机6b自身具有调焦功能，也可从外部控制第二相机 6b的焦点位置，将焦点对准拍摄目标即测试焊点或特征部84的所希望部位。而且，显示装置9设有图像处理部和显示第二相机6b拍摄的图像 的监视器。接着，就TCP处理机2的使用方法与动作进行说明。再有，为了简 化说明，本例中利用探针卡板8中的2个特征部84，但是本发明并不受此限定， 也可利用4个或4个以上的特征部84。使用TCP处理机2时，在实际运行TCP处理机2之前，预先需要进 行使探针卡板8移动的初始设定，以将探针卡板8的全部探针81相对于对应的测 试焊点的中央位置定位。即，在TCP品种变更时或测试不同生产批次的TCP时， 或者探针卡板8变更时，需要确定探针卡板台7的X轴位置/Y轴位置/的定转角的 基准位置，以使TCP的测试焊点和探针卡板8的探针81相接触，并登记该位置 (该位置称为「登记位置」)。图8A 图8C是上述TCP处理机2的初始设定的动作流程图。
TCP处理机2—经开始初始设定动作，就将作为基准的TCP移送到测试位 置(步骤S01)，通过第二相机6b拍摄TCP中许多测试焊点中位于一个端部的多个测试焊点(步骤S02)。再有，本实施例中，第二相机6b拍摄的是TCP的测试焊点， 但本发明并不受此限定，也可拍摄附于TCP的规定标记，或者拍摄组件的角部 等特征部位。 TCP处理机2的图像处理部基于所拍摄的图像(第1图像)获取该第 l图像包含的多个测试焊点的中心部的各坐标数据(X^，Ypd,)(步骤S03)。再有， 通过此动作得到的各坐标数据均为映射到相机台61的坐标系的数据。接着，TCP处理机2通过相机台61使第二相机6b移动，用第二相机 6b拍摄TCP的许多测试焊点中其它端部的多个测试焊点(步骤S04)。TCP处理机 2的图像处理部基于所拍摄的图像(第2图像)，获取该第2图像包含的多个测试 焊点中心部的各自的坐标数据(Xpd2, Ypd2)(步骤S05)。 TCP处理机2的图像处理部基于获取的坐标数据(Xpd,， Ypcn)和(Xpd2: Ypd2)，计算出通过第l图像所包含的测试焊点的中心部的位置坐标和第2图像所 包含的测试焊点的中心部的位置坐标的直线(测试焊点的排列)与X轴方向的直 线(图7中水平线)构成的角度(第l角度0p^)(步骤S06)。接着，TCP处理机2通过相机台61使第二相机6b移动，用第二相机 6b拍摄与上述第l图像所包含的多个测试焊点对应的特征部84(步骤S07)。 TCP 处理机2的图像处理部基于所拍摄的图像(第3图像)，获取该第3图像包含的特 征部84的坐标数据(X^,Yd)(步骤S08)。然后，推断出与该特征部84的坐标数据 (Xd,Yd)相关联的多个探针81的接触面坐标数据(Xpw,Ypw)(步骤S09)。这里，探针81的接触面不能用第二相机6b拍摄，但可借助于第二 相机6b所能明确拍摄的特征部84的坐标数据(Xd， Yd)高精度地推断出探针81 的接触面坐标数据(Xpw, Ypbl)。从而，能够极精确地进行TCP的测试焊点和探 针卡板8的探针81之间的位置对准。
TCP处理机2通过相机台61使第二相机6b移动，用第二相机6b拍摄 与上述第2图像包含的多个测试焊点对应的特征部84(步骤S10)。 TCP处理机2 的图像处理部基于所拍摄的图像(第4图像)，获取该第4图像包含的特征部84的
坐标数据(Xe2,Ye2)(步骤S11)。然后，推断出与该特征部84的坐标数据(&2， Yc2)
相关联的多个探针81的接触面坐标数据(Xpb2，Ypb2)(步骤S12)。 TCP处理机2的图像处理部基于推断的探针81的接触面坐标数据 (Xpbl, YpbD和(Xpb2, Ypb2)，计算通过与第3图像对应的探针81的接触面的位置坐 标和与第4图像对应的探针81的接触面的位置坐标的直线(探针81的排列)与X 轴方向的直线构成的角度(第2角度epb2X步骤S13)。接着，TCP处理机2计算出步骤S06、 S13得到的第l角度0pdi和第2 角度0pb2的差值Ae(步骤S14)。然后，如果得到的差值A0的绝对值大于规定值 D(步骤S15，"是")，贝UTCP处理机2基于差值Ae使探针卡板台7转动(步骤S16)， 如果差值Ae的绝对值为规定值D以下(步骤S17,"是")，则停止探针卡板台7的转 动(步骤S18)。另一方面，在步骤S15中，如果差值Ae的绝对值为规定值D以下 (步骤S15,"否")，则不使探针卡板台7转动，进入步骤S19。接着，TCP处理机2借助于相机台61使第二相机6b移动，用第二相 机6b再次拍摄与上述第l图像包含的多个测试焊点对应的特征部84(步骤S19)。 因此，在步骤S15中使探针卡板8绕垂直轴旋转而移动，即使目标探针81在第二 相机6b的视野之外，也能再次拍摄。TCP处理机2的图像处理部基于所拍摄的 图像(第5图像)，获取该第5图像包含的特征部84的坐标数据(X。， Y^(步骤
S20)。然后，推断出与该特征部84的坐标数据(Xe3，Ye3滩关联的多个探针81的
接触面坐标数据(Xpb3, Ypb3)(步骤S21)。同样，TCP处理机2借助于相机台61使第二相机6b移动，用第二相机6b再次拍摄与上述第2图像包含的多个测试焊点对应的特征部84(步骤S22)。 TCP处理机2的图像处理部基于所拍摄的图像(第6图像)，获取该第6图像包含的
特征部84的坐标数据(Xe4，Ye4)(步骤S23)。然后，推断出与该特征部84的坐标数 据(&4, Ye4)相关联的多个探针81的接触面坐标数据(Xpb4， Ypb4)(步骤S24)。接着，TCP处理机2根据测试焊点的2个位置的坐标数据(X-, Ypdl)、 (X^， Ypd2)和探针81的接触面的2个位置的坐标数据(Xpb3， Ypb3)、 (Xpb4, Ypb4)，算出测试焊点和探针81的接触面之间的X分量与Y分量的差值AX、AY(步 骤S25)。然后，如果得到的差值AX、 AY的绝对值大于规定值P(步骤S26,"是")， 则TCP处理机2基于差值AX、 AY使探针卡板台7在X轴方向和/或Y轴方向上移 动(步骤S27)，如果差值AX、 AY的绝对值成为规定值P以下(步骤S28,"是")， 则停止探针卡板台7的移动(步骤S29)，并登记探针卡板台7的该位置(步骤S30)。 另一方面，在步骤S26中，如果差值AX、 AY的绝对值为规定值P以下(步骤S26, "否")，则不使探针卡板台7移动，并登记该位置(步骤S30)。这样，TCP处理机 2的初始设定结束。如上所述，使用本实施例的TCP处理机2，能够自动地、且利用特 征部84而极精确地进行TCP的测试焊点和探针卡板8的探针81之间的位置对 准。特别是在本实施例中，能够分别进行绕垂直轴旋转的位置对准和X轴方向、 Y轴方向上的位置对准，从而能够更准确地进行TCP的测试焊点和探针卡板8 的探针81之间的位置对准。因此，能够以短时间高效率地进行TCP处理机2的 初始设定。以上说明的实施例是为了使本发明容易理解而描述的，描述内容 并不构成对本发明的限定。因此，上述实施例中公开的各要素之涵义包含属于 本发明技术范围的所有设计变更和等同物。
例如，上述实施例中，将TCP和探针卡板8的绕垂直轴旋转的位置 对准和平面方向上的位置对准设定为分开进行，但本发明并不受此限定，这二 者也可同时进行。具体而言，也可以这样进行基于由步骤S03、 S05获取的 测试焊点的坐标数据(Xp仏Ypd!)、 (Xpd2， Ypd2)和由步骤S09、 S12推断的探针81 的接触面坐标数据(Xpbi,YpM)、 (Xpb2,Ypb2)，求出绕垂直轴旋转的位置偏移量以 及X轴方向和Y轴方向上的位置偏移量，并基于这两个位置偏移量使探针卡板 台7在垂直轴旋转/X轴方向/Y轴方向上移动，进行测试焊点和探针81之间的位 置对准。因此，可以更加縮短TCP和探针卡板8之间的位置偏移修正的操作时 间。另外，上述实施例中，通过探针卡板台7产生的探针卡板8的移动 来进行TCP及探针卡板8的位置对准，但是，本发明并不受此限定，可以通过 由推杆台4产生的推杆装置3、载带5的移动进行，也可以通过由探针卡板台7 产生的探针卡板8的移动和由推杆台4产生的推杆装置3、载带5的移动这二者进 行。
产业上的利用可能性本发明可在TCP处理装置的初始设定时、准确进行测定部(探针卡 板)的连接端子和TCP的外部端子之间的位置对准操作时利用。
权利要求
1.一种TCP处理装置，能够移送形成有多个TCP的载带，将载带向具有与测试头电气连接的多个连接端子的测定部推压，通过使TCP的外部端子与所述测定部的连接端子连接而将多个TCP依次付诸测试，其特征在于，设有能够使所述测定部移动的测定部移动装置和/或改变载带相对于所述测定部的位置的卷带移动装置，以及能够拍摄与所述测定部的连接端子接触面的位置信息相关联且设于所述测定部的特征部和被测试TCP的规定部位的拍摄装置，通过所述拍摄装置拍摄被测试TCP的规定部位而获取该规定部位的坐标数据，同时拍摄所述测定部的特征部而获取该特征部的坐标数据，根据所述特征部的坐标数据推断所述测定部的连接端子接触面的位置信息，根据所获取的被测试TCP的规定部位的坐标数据和所推断的连接端子接触面的位置信息，求出所述被测试TCP的外部端子和所述连接端子接触面之间的位置偏移量，基于所述位置偏移量，通过所述测定部移动装置和/或所述卷带移动装置使所述测定部和/或载带移动，进行所述连接端子对于被测试TCP的外部端子的位置对准。
2. 根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于，所述测定部移动装 置是能够使所述测定部在其平面方向上移动的装置，所述巻带移动装置是能够 使载带相对于所述测定部在其平面方向上移动的装置。
3. 根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于，所述测定部移动装置是能够使所述测定部绕其垂直轴旋转而移动的装置，所述巻带移动装置是能 够使载带相对于所述测定部绕包含该载带的平面的垂直轴旋转而移动的装置。
4. 根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于，所述测定部移动装 置是能够使所述测定部在其平面方向上以及绕其垂直轴旋转而移动的装置，所 述巻带移动装置是能够使载带相对于所述测定部在其平面方向上以及绕包含 该载带的平面的垂直轴旋转而移动的装置。
5. 根据权利要求4所述的TCP处理装置，其特征在于，首先，获取所述被测试TCP的规定部位的坐标数据，同时获取所述测定部 的特征部的坐标数据，根据该特征部的坐标数据推断所述测定部的连接端子接 触面的位置信息，并根据所获取的被测试TCP的规定部位的坐标数据和所推断 的连接端子接触面的位置信息求出所述被测试TCP的外部端子和所述连接端 子接触面之间的绕垂直轴旋转的位置偏移量，基于该绕垂直轴旋转的位置偏移 量通过所述测定部移动装置和/或所述巻带移动装置使所述测定部和/或载带绕 垂直轴旋转而移动，接着，再次获取所述测定部的特征部的坐标数据，根据该特征部的坐标数 据推断所述测定部的连接端子接触面的位置信息，并根据所获取的被测试TCP 的规定部位的坐标数据和所推断的连接端子接触面的位置信息求出所述被测 试TCP的外部端子和所述连接端子接触面之间的平面方向上的位置偏移量，基 于该平面方向上的位置偏移量，通过所述测定部移动装置和/或所述巻带移动 装置使所述测定部和/或载带在平面方向上移动。
6. 根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于，通过所述拍摄装置 拍摄被测试TCP的2处以上的规定部位并获取2处以上的规定部位的坐标数据， 同时拍摄所述测定部的2处以上的特征部并获取2处以上的特征部的坐标数据。
7. 根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于，所述被测试TCP的 外部端子和所述测定部的连接端子接触面之间的绕垂直轴旋转的位置偏移量， 根据从所述被测试TCP的规定部位的2处以上的坐标数据得到的第1直线的角 度与从基于所述测定部的特征部的2处以上的坐标数据的所述测定部的连接端 子接触面的2处以上的位置信息得到的第2直线的角度之间的差值求出。
8. 根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于， 所述TCP处理装置还设有能够使所述拍摄装置移动的拍摄装置移动装置， 所述拍摄装置通过因所述拍摄装置移动装置产生的移动，拍摄2处以上的所述被测试TCP的规定部位和2处以上的所述测定部的特征部。
9. 根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于，所述特征部与所述 测定部中的多个连接端子接触面的位置信息相关联。
10. —种连接端子的位置对准方法，在所述TCP处理装置中能够移送形成 有多个TCP的载带，将载带向具有与测试头电气连接的多个连接端子的测定部 推压，通过使TCP的外部端子与所述测定部的连接端子连接而将多个TCP依次 付诸测试，其特征在于，获取被测试TCP的规定部位的坐标数据，获取与所述测定部的连接端子接触面的位置信息相关联且设于所述测定 部的特征部的坐标数据，根据所述特征部的坐标数据推断所述测定部的连接端子接触面的位置信息，根据所获取的被测试TCP的规定部位的坐标数据和所推断的测定部的连 接端子接触面的位置信息，求出所述被测试TCP的外部端子和所述连接端子接 触面之间的位置偏移量，基于所述位置偏移量使所述测定部和/或载带移动。
11. 根据权利要求10所述的连接端子的位置对准方法，其特征在于，所述 位置偏移量是所述被测试TCP的外部端子和所述测定部的连接端子接触面之 间的平面方向上的位置偏移量，并使所述测定部和/或载带在平面方向上移动。
12. 根据权利要求10所述的连接端子的位置对准方法，其特征在于，所述 位置偏移量是所述被测试TCP的外部端子和所述测定部的连接端子接触面之 间的绕垂直轴旋转的位置偏移量，并使所述测定部和/或载带绕垂直轴旋转而 移动。
13. 根据权利要求10所述的连接端子的位置对准方法，其特征在于，所述 位置偏移量是所述被测试TCP的外部端子和所述测定部的连接端子接触面之 间的平面方向上和绕垂直轴旋转的位置偏移量，并使所述测定部和/或载带在 平面方向上以及绕垂直轴旋转而移动。
14. 一种连接端子的位置对准方法，在所述TCP处理装置中能够移送形成 有多个TCP的载带，将载带向具有与测试头电气连接的多个连接端子的测定部 推压，通过使TCP的外部端子与所述测定部的连接端子连接而将多个TCP依次 付诸测试，其特征在于，获取被测试TCP的规定部位的坐标数据，获取与所述测定部的连接端子接触面的位置信息相关联且设于所述测定 部的特征部的坐标数据，根据所述特征部的坐标数据推断所述测定部的连接端 子接触面的位置信息，根据所获取的被测试TCP的规定部位的坐标数据和所推断的连接端子接 触面的位置信息，求出所述被测试TCP的外部端子和所述测定部的连接端子接 触面之间的绕垂直轴旋转的位置偏移量，基于所述位置偏移量使所述测定部和/或载带绕垂直轴旋转而移动， 再次获取所述测定部的特征部的坐标数据，根据所述特征部的坐标数据推 断所述测定部的连接端子接触面的位置信息，根据所获取的被测试TCP的规定部位的坐标数据和所推断的测定部的连 接端子接触面的位置信息，求出所述被测试TCP的外部端子和所述测定部的连 接端子接触面之间的平面方向上的位置偏移量，基于所述位置偏移量使所述测定部和/或载带在平面方向上移动。
15.根据权利要求12 14中任一项所述的连接端子的位置对准方法，其特 征在于，所述被测试TCP的外部端子和所述测定部的连接端子接触面之间的绕 垂直轴旋转的位置偏移量，根据从所述被测试TCP的规定部位的2处以上的坐 标数据得到的第1直线的角度与从基于所述测定部的特征部的2处以上的坐标 数据的所述测定部的连接端子接触面的2处以上的位置信息得到的第2直线的 角度之间的差值求出。
全文摘要
用第二相机6b拍摄被测试TCP的测试焊点，获取该测试焊点的坐标数据，同时获取与探针卡板8的探针81的接触面的位置信息相关联地设于探针卡板8的特征部84的坐标数据，根据该特征部84的坐标数据推断出探针81的接触面的位置信息，并根据所获取的测试焊点的坐标数据和所推断的探针81的接触面的位置信息，求出测试焊点和探针81的接触面之间的位置偏移量，基于该位置偏移量通过探针卡板台7使探针卡板8移动，自动地进行探针81对于被测试TCP的测试焊点的位置对准。因此，能够极精确地进行TCP的测试焊点和探针卡板8的探针81之间的位置对准。
文档编号G01B11/00GK101583840SQ20068005631
公开日2009年11月18日 申请日期2006年11月9日 优先权日2006年11月9日
发明者小野泽正贵, 市川雅理 申请人:株式会社爱德万测试