专利名称：玻璃基板的不均率测量系统及方法
技术领域：
本发明涉及向玻璃基板照射具有特定波长的光，以测量玻璃基板的不均率的系统及方法。
背景技术：
在显示装置中所使用的玻璃基板，例如在液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，简称为IXD)中所使用的玻璃基板，因缺陷(Defect)会导致其表面不均匀。如果使用这种不均匀的玻璃基板制造显示装置，则因所述玻璃基板不均匀，所述显示装置无法呈现所需的事项。结果，所述显示装置被废弃处理，从而会降低合格率。因此，在制造所述玻璃基板后、在执行其它工艺前，测量所述玻璃基板的不均率以事先检测具有缺陷的玻璃基板，变得尤为重要。下面，介绍所述玻璃基板制造过程以及不均率的测量方法。图I为一般的玻璃基板制造工艺的示意图。如图I所示，将液态的玻璃熔液投入熔炉。此时，所投入的玻璃熔液朝所示箭头的方向流动，从而制造玻璃基板。只是，当所述玻璃熔液流动的过程中，因所流动的方向会产生以线型构成的弯曲，其结果会制造出具有不均匀表面的玻璃基板。
因此，为了检测具有这种不均匀表面的玻璃基板，研发出多种测量所述玻璃基板的不均率的方法。第一测量方法使玻璃基板漂浮于水，然后使用具有特定波长的光照射所述玻璃基板，以测量所述玻璃基板的不均率。第二测量方法将纸张粘贴于玻璃基板的下面，然后使用具有特定波长的光照射所述玻璃基板，以测量所述玻璃基板的不均率。第三测量方法在所述玻璃基板的下面涂布特定物质，然后使用具有特定波长的光照射所述玻璃基板，以测量所述玻璃基板的不均率。上述的三个测量方法的共同点在于，从所述玻璃基板反射的反射光中，为了去除由所述玻璃基板的下面反射的、对测量均匀度不必要的反射光，对所述玻璃基板的下面执行了特定处理。但是，上述的测量方法还需要执行如在所述玻璃基板的下面涂布特定物质的过程和在测量结束后去除涂层的过程等额外的工艺，因此增加了测量所述不均率的时间和费用。另外，即使特定处理所述玻璃基板的下面，也难以完全去除从所述玻璃基板的下面反射的反射光，从而很难正确地测量所述玻璃基板的不均率。进一步地，因处理所述玻璃基板下面的过程，难以对测量所述玻璃基板不均率的工艺实现自动化。
发明内容
本发明的一目的在于，提供一种无需玻璃基板下面特定处理过程测量玻璃基板不均率的系统及方法。本发明的另一目的在于，提供一种从上面和下面反射的反射光中仅利用从所述上面反射的反射光测量所述玻璃基板的不均率的系统及方法。为了实现上述目的，本发明一实施例的玻璃基板的不均率测量系统包括向所述玻璃基板照射第一光的光源部；以及屏幕。其中，以所述玻璃基板为基准排列所述光源部和所述屏幕，以使从所述光源部照射的第一光被所述玻璃基板的上面和下面反射、使被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光入射至所述屏幕形成第一条带、以及使被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光入射至所述屏幕形成第二条带，所述第一条带和所述第二条带分离而成。
所述不均率测量系统还包括感应部，感应形成于所述屏幕的条带；以及不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅分离出所述第一条带，并且对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率。所述光源部包括光源，输出第二光；第一透镜，对从所述光源照射的第二光进行扩散；以及第二透镜，将被所述第一透镜扩散的第二光输出成具有设定线宽的第一光。所述光源、所述第一透镜和所述第二透镜被设置在一个壳体内，所述壳体能够朝全向(omnidirection)移动。其中，所述不均率测量系统，在固定所述玻璃基板和所述屏幕的状态下，移动所述壳体以检测所述条带被分离的最佳位置，并且将所述壳体固定在所检测的位置。所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离与从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离的比例为I : I至I : O. 5 ;所述光源部，以所述玻璃基板为基准，呈45度和80度范围之间的角度。所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离为60mm至120mm，并且所述光源部以所述玻璃基板为基准呈45度和80度范围之间的角度的状态下，若从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离在60mm以下，则所述条带相互分离而成。所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离固定的状态下，随着所述玻璃基板和所述光源部之间的角度增加，所述玻璃基板和所述屏幕之间的距离缩小。根据本发明另一实施例的玻璃基板的不均率测量系统，包括光源，输出设定光；以及缝隙部，具有至少一个缝隙。其中，从所述光源输出的光经由所述缝隙部的缝隙照射至所述玻璃基板，照射至所述玻璃基板的光被所述玻璃基板的上面和下面反射，与被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光对应的第一条带以及与被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出第二反射光对应的第二条带分离排列。所述不均率测量系统还包括感应部，感应所述第一条带和所述第二条带；以及不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅分离出所述第一条带，并且对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率。其中，所述感应部直接对所述玻璃基板进行摄影，以感应所述条带。所述不均率测量系统还包括屏幕，入射有所述第一反射光和所述第二反射光；感应部；以及不均率测量部。其中，在所述屏幕形成有与所述第一反射光对应的所述第一条带和与所述第二反射光对应的第二条带；所述感应部感应所述条带；所述不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅对所述第一条带进行分离和分析，以测量所述玻璃基板的不均率。根据本发明再一实施例的玻璃基板的不均率测量方法包括向所述玻璃基板照射第一光；以及根据所述第一光的照射，感应与被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光对应的第一条带、以及与被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光对应的第二条带中的至少一个。其中，所述第一条带和所述第二条带相互分离而成。所述不均率测量方法还包括在所述第一条带和所述第二条带中仅分离出所述第一条带；以及对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率。向所述玻璃基板照射的步骤包括利用第一透镜扩散所述第一光；以及利用第二透镜将所扩散的第一光变化为具有设定线宽的第二光以向所述玻璃基板照射。其中，被所述玻璃基板的上面反射的第二光入射至屏幕以形成所述第一条带，被所述玻璃基板的下面 反射的第二光入射至所述屏幕以形成所述第二条带。所述光源、所述第一透镜和所述第二透镜被设置在一个壳体内，所述壳体能够朝全向移动。所述不均率测量方法还包括在固定所述玻璃基板和所述屏幕的状态下，移动所述壳体，直到所述条带分离为止；以及所述条带被分离后，固定所述壳体。其中，测量所述玻璃基板的不均率时固定所述光源部和所述屏幕的状态下，进行所述不均率测量。所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离与从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离的比例为I : I至I : O. 5 ;所述光源部，以所述玻璃基板为基准，呈45度和80度范围之间的角度。所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离为60mm至120mm，并且所述光源部以所述玻璃基板为基准呈45度和80度范围之间的角度的状态下，若从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离在60mm以下，则所述条带相互分离而成。所述感应步骤包括直接对所述玻璃基板摄影，以感应所述第一条带和所述第二条带。其中，从所述光源输出的第一光，经由具有至少一个缝隙的缝隙部，照射至所述玻璃基板。所述第一反射光和所述第二反射光入射至屏幕分别形成所述第一条带和所述第二条带，其中，从所述光源输出的第一光，经由具有至少一个缝隙的缝隙部，照射至所述玻
璃基板。根据本发明的玻璃基板的不均率测量系统及方法，即使未以特定的对下面进行处理，利用所述玻璃基板本身测量所述玻璃基板的不均率，因此可以减少用于测量所述不均率的时间和费用，并且有利于自动化所述测量过程。并且，由于所述不均率测量系统及方法，明确地分离与被所述玻璃基板上面反射的第一反射光对应的第一条带以及与被所述玻璃基板下面反射的第二反射光对应的第二条带后，分析所述第一条带，因此所述不均率测量系统及方法能够正确地测量所述玻璃基板的不均率。另外，本发明不均率测量系统能够以简单的构成要素实现，因此容易实现所述系统，而且产生系统错误的概率也较小。
图I为一般的玻璃基板制造工艺的示意图。图2为本发明一实施例的玻璃基板反射形态的截面示意图。图3为本发明第一实施例的玻璃基板的不均率测量系统的简要示意图。图4为图3的玻璃基板的不均率测量系统的具体示意图。图5为本发明一实施例的光源部的结构示意图。图6为条带形状示意图。图7为本发明第二实施例的玻璃基板的不均率测量系统的示意图。图8为本发明一实施例的缝隙部的结构示意图。图9为图7的不均率测量系统的感应结果示意图。图10为本发明第三实施例的玻璃基板的不均率测量系统的示意图。附图标记说明
200:玻璃基板；200a:上面；
200b:下面300:光源部；
302:屏幕；310:第一条带；
312:第二条带；400:感应部；
402:不均率测量部；410:不均率判断部；
500:光源；502:第一透镜；
504:第二透镜；700:光源；
702:玻璃基板；704:缝隙部；
706:感应部；1000:光源；
1002:玻璃基板；1004:缝隙部；
1006:屏幕；1008:感应部。
具体实施例方式
下面，参照附图，对本发明的实施例进行详细说明。图2为本发明一实施例的玻璃基板反射形态的截面示意图。本发明的玻璃基板的不均率测量系统为测量玻璃基板200表面的不均率的系统，尤其为测量玻璃基板上面200a的不均率的系统。其中，玻璃基板200为用于显示装置的透明基板，例如用于液晶显示装置(Liquid Crystal Display，简称为LCD)的基底基板。以下，对玻璃基板200的光反射特性进行说明，然后对玻璃基板的不均率测量系统进行详细说明。首先，说明玻璃基板200的光反射特性。
如图2所示，当从光源(未图示)输出的、具有特定波长的光210入射至玻璃基板200时，所入射的光210中的一部分被玻璃基板200的上面200a反射，另一部分被玻璃基板200的下面200b反射。结果，当光210入射至玻璃基板200时，产生被玻璃基板200的上面200a反射的第一反射光212、以及被玻璃基板200的下面200b反射并且经由上面200a输出的第二反射光214。一般而言，如果玻璃基板200的上面200a和下面200b均匀，则光210中的一部分对玻璃基板200的上面200a呈现出相同的入射角Θ和反射角Θ，被玻璃基板200的下面200b反射的第二反射光214与第一反射光212平行地传播。但是，如果玻璃基板200的上面200a或下面200b不均匀，则这些现象不会同时产生，但是因玻璃基板200的上面200a和下面200b产生第一反射光212和第二反射光214是不争的事实。
—般而言，在制造显示装置的工艺中，通过派射(sputtering)方法在玻璃基板200的上面200a层叠多个膜(layers)，因此测量玻璃基板200上面200a的不均率变得尤
为重要。但是，当对玻璃基板200照射光210时，不仅会产生被上面200a反射的第一反射光212，而且还会产生被下面200b反射的第二反射光214，因此很难测量上面200a的不均率。尤其，由于第二反射光214对第一反射光212产生干涉，因此很难分离出第一反射光212。因此，本发明欲提供一种方法，尽管存在被玻璃基板200下面200b反射的第二反射光214，也不会使第二反射光214对第一反射光212产生干涉。下面，参照附图，对本发明的玻璃基板的不均率测量系统及方法进行详细说明。 图3为本发明第一实施例的玻璃基板的不均率测量系统的简要示意图。如图3所示，光源部300输出具有特定波长的光210，并照射至玻璃基板200，所照射的光210被玻璃基板200的上面200a和下面200b反射，从而输出第一反射光212和第二反射光214。其中，光210可以具有设定线宽，并且可以为可视光线、紫外线或者红外线。根据本发明一实施例，光源部300可以利用激光器件输出光210,如后述,可以利用透镜输出具有设定线宽的光210。被玻璃基板200反射的第一反射光212和第二反射光214入射至位于玻璃基板200上部的屏幕302。其中，屏幕302以不透明材质构成，其结果在屏幕302上形成与第一反射光212对应的干涉图案，即第一条带310 ；以及与第二反射光214对应的干涉图案，即第二条带312。另外，在本实施例的不均率测量系统中排列构成要素，以使第一条带310和第二条带312在视觉上分离而成。对此，将在后面详细说明。所述不均率测量系统仅对第一条带310和第二条带312中的第一条带310进行分析，以测量玻璃基板200的不均率。在此过程中，由于第一条带310和第二条带312被明确地分离，因此所述系统很容易获取仅与第一条带310有关的信息。简要说，本实施例的玻璃基板的不均率测量系统，为了正确测量玻璃基板200的不均率，明确地分离出与第一反射光212对应的第一条带310和与第二反射光214对应的第二条带312，然后仅利用第一条带310测量玻璃基板200的不均率。
下面，参照附图详细说明分离第一条带310和第二条带312的方法、以及多种测量不均率的方法。图4为图3的玻璃基板的不均率测量系统的具体示意图。图5为本发明一实施例的光源部的结构示意图。图6为条带形状示意图。如图4所示，本实施例的不均率测量系统包括光源部300、屏幕302、感应部400以及不均率测量部402。光源部300作为输出具有特定波长的光的器件，例如其向玻璃基板200照射具有设定线宽的第一光210,如可视光线。根据本发明一实施例，如图5所不,光源部300可以包括光源500、第一透镜502和第二透镜504。
例如，光源500为利用发光二极管的激光器，可输出可视光线、紫外线或者红外线。第一透镜502起到对从光源500输出的光520进行扩散功能，第二透镜504将所扩散的光522变化为具有设定线宽的第一光210。其中，第二透镜504可以为柱面透镜(Cylindrical Lens)。结果，光源部300可以输出具有设定线宽的第一光210。如图5所示，根据本发明一实施例，光源部300的构成要素，如光源500、第一透镜502和第二透镜504,可以被设置在一个壳体510内。如果光源部300的构成要素,如光源500、第一透镜502和第二透镜504，设置在壳体510内；则不会单独控制光源部300的构成要素，如光源500、第一透镜502和第二透镜504，而如后述对其整体控制，以使其移动。SP，壳体510可以上下左右移动。如图4所示，具有这种结构的光源部300，以玻璃基板200为基准，设置成具有预定角度Θ工(玻璃基板200的表面和光源部300之间的角度)和间隔距离a。根据本发明一实施例，如后述，为了获取相互分离的第一条带310和第二条带312，对角度Q1和间隔距离a中的至少一个进行变化。对此，将在后面详细说明。屏幕302作为形成与第一反射光212和第二反射光214对应的像的部分，即作为形成第一条带310和第二条带312的部分，将其排列成与玻璃基板200相隔预定的间隔距离b。感应部400感应形成于屏幕302的第一条带310和第二条带312，例如，用摄像机获取对第一条带310和第二条带312进行摄像以获取图像。其中，只要感应部400能够获取形成于屏幕302的第一条带310和第二条带312的图像，则感应部400的设置位置和方向不受特别限制。根据本发明另一实施例，感应部400仅获取针对形成于屏幕302第一条带310和第二条带312中的有关第一条带310的图像。由于获取第一条带310和第二条带312的图像并且在获取的图像中分离出只对第一条带310的信息的过程，相比获取并分析对第一条带310的图像的过程，更简单；因此，优选为，获取对第一条带310和第二条带312的图像。不均率测量部402，通过对第一条带310的分析测量玻璃基板200的不均率，并且包括不均率判断部410。具体而言，不均率判断部410与感应部400有线或无线连接，从感应部400接收与第一条带310和第二条带312有关的图像，仅分离出与第一条带310有关的信息。其中，第一条带310作为散乱图案，包括与玻璃基板200的缺陷有关的信息，因此不均率判断部410可以通过对第一条带310的分析测量玻璃基板200的不均率。虽然在图4中未图示，不均率测量部402可以由一个计算机来实现，并且为了给管理者提供测量结果还可以包括显示部。
并且，所述计算机不仅可以测量不均率，而且还可以控制光源部300和屏幕302的移动。简要说，本实施例的玻璃基板的不均率测量系统，获取与相互分离而成的第一条带310和第二条带312有关的图像，在所述图像中仅对第一条带310进行分离和分析，以正确测量玻璃基板200的不均率。如上所述，为了正确测量玻璃基板200的不均率，明确地分离第一条带310和第二条带312是必不可少的。因此，为了获取相互分离第一条带310和第二条带312，本实施例的不均率测量系统需要适当地设定玻璃基板200和光源部300之间的角度Θ i、玻璃基板200和光源部300之间的间隔距离a、以及玻璃基板200和屏幕302之间的间隔距离b。下面，通过实际实验结果，对设定所述不均率测量系统的过程进行说明。首先，将光源部300和玻璃基板200之间的角度Θ I和间隔距离a分别设定成45度和IlOmm后，变化玻璃基板200和屏幕302之间的间隔距离b，以观察形成于屏幕302的第一条带310和第二条带312。实验结果，如图6(A)所示，在视觉上，第一条带310和第二条带312被分离的最佳的间隔距离b为52mm ;并且到间隔距离b约为60mm为止，第一条带310和第二条带312在没有相互干涉下，使其容易地分离。但是，间隔距离b超过60mm时，如图6 (B)所示，第一条带310和第二条带312未被明确地分离，而出现了相互干涉。将光源部300和玻璃基板200之间的间隔距离a维持在IlOmm的状态下，分别将光源部300和玻璃基板200之间的角度Θ I设定成60度、75度和85度，变化玻璃基板200和屏幕302之间的间隔距离b，以观察第一条带310和第二条带312。实验结果，第一条带310和第二条带312被明显地分离的最佳间隔距离b分别为50mm、38mm 和 5mm。继而，将光源部300和玻璃基板200之间的角度Θ 维持设定值的状态下，分别设定光源部300和玻璃基板200之间的间隔距离a，变化玻璃基板200和屏幕302之间的间隔距离b，以观察第一条带310和第二条带312。通过与上述的方式相同的方式，变化角度Θ i、间隔距离a和间隔距离b，观察了第一条带310和第二条带312。对实验结果简要说明如下，光源部300和玻璃基板200之间的角度Θ i为45度和80度之间、并且光源部300和玻璃基板200之间的间隔距离a约为60mm至120mm时，如果玻璃基板200和屏幕302之间的间隔距离b约为60mm以下，则在屏幕302上第一条带310和第二条带312视觉上被分离而成。优选为，为了防止玻璃基板200受损，将屏幕302从玻璃基板200间隔至少5mm以上，玻璃基板200和屏幕302之间的间隔距离b约为5mm至60mmo并且，根据实验结果，光源部300和玻璃基板200之间的间隔距离a与至形成于屏幕302的第一条带310部分的间隔距离b的比例为I : I至I : O. 5、光源部300和玻璃基板200之间的角度Θ i为45度和80度之间时，在屏幕302上第一条带310和第二条带312视觉上被分离而成。进一步地，为了在屏幕302上使第一条带310和第二条带312视觉上分离，随着光源部300和玻璃基板200之间的角度Θ i变大，玻璃基板200和屏幕302之间的间隔距离b
需要变小。下面，说明本实施例的玻璃基板的不均率测量系统的设置过程。首先，以玻璃基板200为基准，以特定位置和角度设置光源部300和屏幕302。然后，直到能够明确分离第一条带310和第二条带312为止，上下左右移动光源部 300。S卩，通过光源部300和玻璃基板200之间的角度Θ i和间隔距离a，检测出能够明确分离出第一条带310和第二条带312的最佳角度Q1和间隔距离a。其中，可以根据管理者的操作，自动实现光源部300的移动。继而，以所检测的角度Θ i和间隔距离a设置光源部300，以固定所述不均率测量系统。然后，所述不均率测量系统利用滚杠(roller)依次移动玻璃基板200，以测量玻璃基板200的不均率。即，所述不均率测量系统将屏幕302设置在设定的位置后，通过调整光源部300的方法，可以实现所需要的系统。根据本发明另一实施例，所述不均率测量系统固定光源部300的状态下，通过调整屏幕302的方法，可以实现所需要的系统。简要说明图2至图6如下，本实施例的玻璃基板的不均率测量系统，使用透镜方式，以玻璃基板200为基准，将光源部300和屏幕302设置于适当的位置和角度，以使第一条带310和第二条带312明确地分离。其中，可以由管理者手动完成光源部300和屏幕302的调整过程，还可以由计算机自动完成光源部300和屏幕302的调整过程。下面，比较本实施例的玻璃基板的不均率测量方法和现有的不均率测量方法。作为现有的不均率测量系统，使用了在所述玻璃基板下面涂布特定物质以使入射至玻璃基板的光不被所述玻璃基板下面反射的方法；还使用了将所述玻璃基板放置于水面上的方法。因此，现有技术，测量所述玻璃基板的不均率后，需要额外地执行去除在所述玻璃基板下面涂布的物质的过程。结果，用于测量所述玻璃基板的不均率的时间和费用可能会增加，使用所述玻璃基板的显示装置的合格率可能会降低。但是，本发明的玻璃基板的不均率测量系统，对玻璃基板200的下面不进行任何处理，使用玻璃基板200实现所述系统，以使在屏幕302上形成的第一条带310和第二条带相互分离。因此，在所述不均率测量系统中，不需要增加额外的工艺，其结果，能够减少用于测量所述玻璃基板的不均率的时间和费用，能够提高使用所述玻璃基板的显示装置的合格率。另外，本发明的不均率测量系统包括简单的构成要素，例如光源部300、屏幕302和感应部400，因此容易设置所述系统，而且产生错误的概率也较小。图7为本发明第二实施例的玻璃基板的不均率测量系统的示意图。图8为本发明一实施例的缝隙部的结构示意图。图9为图7的不均率测量系统的感应结果示意图。
如图7所示，本实施例的玻璃基板的不均率测量系统包括光源700、缝隙部704和感应部706。光源700输出具有特定波长的第一光710，例如激光。如图8所示，缝隙部704包括至少一个缝隙800，测量不均率时可以开放多个缝隙800中的一部分或全部。结果，从光源700输出的第一光710，经由缝隙800，变化为具有设定线宽的第二光712。经由缝隙800的第二光712入射至玻璃基板702，并且被玻璃基板702的上面和下
面反射。与感应屏幕302的第一实施例不同，感应部706感应玻璃基板702的上面，例如对所述上面进行摄影。其结果，如图9所示，可以获取显示有两个条带的图像，即显示有第一 条带900和第二条带902的图像。其中，第一条带900为与被玻璃基板702上面反射的第一反射光对应的干涉图案；第二条带902为与被玻璃基板702下面反射的第二反射光对应的干涉图案。虽未图示,将被感应部706感应的图像传输给不均率判断部,并且由所述不均率判断部分析两个条带中的第一条带900,即第一条带900和第二条带902中的第一条带900，以测量玻璃基板702的不均率。本实施例的玻璃基板的不均率测量系统，利用缝隙部704，并且通过让感应部706直接对玻璃基板702进行摄影，以获取两个条带的图像，即第一条带900和第二条带902的图像。虽未在上面进行说明，但是根据缝隙部704的位置，可以使两个条带，即第一条带900和第二条带902,明确地分离；或者可以使使两个条带，即第一条带900和第二条带902，相互干涉。因此，在本实施例的不均率测量系统中，通过调整缝隙部704或光源700的位置，以使两个条带，即第一条带900和第二条带902，明确地分离。然后，通过滚杠，移动多个玻璃基板702，以依次测量玻璃基板702的不均率。图10为本发明第三实施例的玻璃基板的不均率测量系统的示意图。如图10所示，本实施例的玻璃基板的不均率测量系统包括光源1000、缝隙部1004、屏幕1006和感应部1008。与直接感应玻璃基板702的第二实施例不同，本实施例的不均率测量系统，使用缝隙部1004，并且感应形成于屏幕1006的、与反射光1014和反射光1016对应的条带，以测量玻璃基板1002的不均率。与其他实施例不同，在本实施例中，感应部1008可以位于玻璃基板1002下面的下部。当然，根据屏幕1006的设置角度，感应部1008可以位于玻璃基板1002的上部。工业应用性在本说明书中，仅以示例性的目的，公开了上述的实施例，并且本领域普通技术人员应当得知在不脱离本发明思想的范围内，可以进行修改、替换、附加，并且这种修改、替换、附加应当落入本发明权利要求书要求保护的范围内。
权利要求
1.一种玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，包括 向所述玻璃基板照射第一光的光源部；以及屏幕， 其中，以所述玻璃基板为基准排列所述光源部和所述屏幕，以使从所述光源部照射的第一光被所述玻璃基板的上面和下面反射、使被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光入射至所述屏幕形成第一条带、以及使被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光入射至所述屏幕形成第二条带，所述第一条带和所述第二条带分离而成。
2.根据权利要求I所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，还包括 感应部，感应形成于所述屏幕的条带；以及 不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅分离出所述第一条带，并且对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率。
3.根据权利要求I所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，所述光源部包括 光源，输出第二光； 第一透镜，对从所述光源照射的第二光进行扩散；以及 第二透镜，将被所述第一透镜扩散的第二光输出成具有设定线宽的第一光。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于， 所述光源、所述第一透镜和所述第二透镜被设置在一个壳体内，所述壳体能够朝全向移动， 所述不均率测量系统，在固定所述玻璃基板和所述屏幕的状态下，移动所述壳体以检测所述条带被分离的最佳位置，并且将所述壳体固定在所检测的位置。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于， 所述光源部和所述玻璃基板之间的距离与从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离的比例为I : I至I : 0.5; 所述光源部，以所述玻璃基板为基准，呈45度和80度范围之间的角度。
6.根据权利要求4所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于， 所述光源部和所述玻璃基板之间的距离为60mm至120mm，并且所述光源部以所述玻璃基板为基准呈45度和80度范围之间的角度的状态下， 若从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离在60mm以下，则所述条带相互分离而成。
7.根据权利要求4所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于， 所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离固定的状态下，随着所述玻璃基板和所述光源部之间的角度增加，所述玻璃基板和所述屏幕之间的距离缩小。
8.一种玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，包括 光源，输出设定光；以及 缝隙部，具有至少一个缝隙， 其中，从所述光源输出的光经由所述缝隙部的缝隙照射至所述玻璃基板，照射至所述玻璃基板的光被所述玻璃基板的上面和下面反射，与被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光对应的第一条带以及与被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出第二反射光对应的第二条带分离排列。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，还包括感应部，感应所述第一条带和所述第二条带；以及 不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅分离出所述第一条带，并且对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率， 其中，所述感应部直接对所述玻璃基板进行摄影，以感应所述条带。
10.根据权利要求8所述的玻璃基板的不均率测量系统，其特征在于，还包括 屏幕，入射有所述第一反射光和所述第二反射光； 感应部；以及 不均率测量部， 其中，在所述屏幕形成有与所述第一反射光对应的所述第一条带和与所述第二反射光对应的第二条带；所述感应部感应所述条带；所述不均率测量部，在被所述感应部感应的条带中，仅对所述第一条带进行分离和分析，以测量所述玻璃基板的不均率。
11.一种玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于，包括 向所述玻璃基板照射第一光；以及 根据所述第一光的照射，感应与被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光对应的第一条带、以及与被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光对应的第二条带中的至少一个， 其中，所述第一条带和所述第二条带相互分离而成。
12.根据权利要求11所述的玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于，还包括 在所述第一条带和所述第二条带中仅分离出所述第一条带；以及 对所分离出的第一条带进行分析，以测量所述玻璃基板的不均率。
13.根据权利要求12所述的玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于，向所述玻璃基板照射的步骤包括 利用第一透镜扩散所述第一光；以及 利用第二透镜将所扩散的第一光变化为具有设定线宽的第二光以向所述玻璃基板照射， 其中，被所述玻璃基板的上面反射的第二光入射至屏幕以形成所述第一条带，被所述玻璃基板的下面反射的第二光入射至所述屏幕以形成所述第二条带。
14.根据权利要求13所述的玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于， 所述光源、所述第一透镜和所述第二透镜被设置在一个壳体内，所述壳体能够朝全向移动， 所述不均率测量方法还包括 在固定所述玻璃基板和所述屏幕的状态下，移动所述壳体，直到所述条带分离为止；以及 所述条带被分离后，固定所述壳体， 其中，测量所述玻璃基板的不均率时固定所述光源部和所述屏幕的状态下，进行所述不均率测量。
15.根据权利要求13所述的玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于， 所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离与从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离的比例为I : I至I : 0.5;所述光源部，以所述玻璃基板为基准，呈45度和80度范围之间的角度。
16.根据权利要求13所述的玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于， 所述第二透镜和所述玻璃基板之间的距离为60mm至120mm，并且所述光源部以所述玻璃基板为基准呈45度和80度范围之间的角度的状态下， 若从所述玻璃基板至形成于所述屏幕的所述第一条带的部分的距离在60mm以下，则所述条带相互分离而成。
17.根据权利要求12所述的玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于，所述感应步骤包括 直接对所述玻璃基板进行摄影，以感应所述第一条带和所述第二条带， 其中，从所述光源输出的第一光，经由具有至少一个缝隙的缝隙部，照射至所述玻璃基板。
18.根据权利要求12所述的玻璃基板的不均率测量方法，其特征在于，
所述第一反射光和所述第二反射光入射至屏幕分别形成所述第一条带和所述第二条带， 其中，从所述光源输出的第一光，经由具有至少一个缝隙的缝隙部，照射至所述玻璃基板。
全文摘要
本发明涉及一种在被玻璃基板反射的反射光中仅利用被上面反射的光以测量所述玻璃基板的不均率的系统及方法，从而减少测量时间和费用。所述玻璃基板的不均率测量系统，包括光源部，向所述玻璃基板照射第一光；以及屏幕。其中，以所述玻璃基板为基准排列所述光源部和所述屏幕，以使从所述光源部照射的第一光被所述玻璃基板的上面和下面反射、使被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光入射至所述屏幕形成第一条带、以及使被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光入射至所述屏幕形成第二条带，所述第一条带和所述第二条带分离而成。
文档编号G01N21/958GK102713583SQ201180000191
公开日2012年10月3日 申请日期2011年2月25日 优先权日2010年11月25日
发明者崔成振, 朴丙澯, 李淳钟, 禹奉周, 郑载勋 申请人:塞米西斯科株式会社