玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。
【背景技术】
[0002]业界使用平坦的玻璃板作为液晶显示装置或者等离子显示装置等显示器的显示部的零件。在以下的说明中，将这种玻璃板称为显示器用玻璃基板，或者仅称为玻璃基板。例如，在液晶显示装置中，通过改变对被封入到玻璃基板间的液晶所施加的电场，而改变液晶的取向，而能够实现动态图像显示。液晶显示装置在显示图像时需要改变电场，因此在玻璃基板上形成用以施加电压的透明电极。
[0003]另外，为了控制对玻璃基板上的电极所施加的电压的接通、断开，需要高品质显示的电视接收机等所使用的液晶显示装置采用了使用薄膜晶体管(TFT)的主动矩阵方式的控制。该TFT也形成在玻璃基板上。具体来说，液晶显示器是以控制光的透过量的TFT (ThinFilm Transistor)与液晶、及滤色片作为构成要素。液晶显示器中的滤色片面板的制造方法通常使用如下方法:在玻璃基板的表面形成黑色的矩阵，接着将红、绿、蓝的不同色相依次按条状或者马赛克状等彩色图案而形成。
[0004]随着显示器的高清化，配置在玻璃基板表面的黑色矩阵的线宽及间距减小。例如，为了达成显示器的高对比度化，而需要由黑色矩阵的高细线化、高清化(具体来说，小于20μπι的线宽)而实现开口率提高、及由黑色矩阵的高尺寸精度而实现遮光性提高。另外，随着显示器像素数的高密度化，图案尺寸根据滤色片的用途以及各颜色而异，作为一例，红、绿、蓝的像素的一边的尺寸从200?300 μ m进展为100 μ m，黑色矩阵的尺寸从20 μ m进展为10 μπκ进而5 μ m，对应于此而开发出细线技术。
[0005]这样，由于在显示器用玻璃基板的玻璃面上利用极薄的金属膜或半导体形成电极或主动元件，所以要求玻璃基板的玻璃表面具有极高的平坦性与极高的清洁性。
[0006]但是，显示器用玻璃基板如果是例如液晶显示装置所使用的基板(以下，称为液晶用玻璃基板)，则会呈现较薄的长方形板状的形态。液晶用玻璃基板通常厚度为
0.05mm?0.7mm的程度，而薄于1_，业界对尺寸大型化的要求逐年提高。
[0007]液晶用玻璃基板是以称为母玻璃的形态供给至液晶显示装置的制造步骤，该母玻璃所以具有的大小相当于一个液晶显示装置所需大小的玻璃基板多片的大小。该母玻璃的大小习惯用“代”来表现，例如第6代母玻璃的大小为1500mmX 1850mm。母玻璃是通过将成形为板状的玻璃板切割成特定大小而获得。而且，为了去除切割玻璃板时所产生的污渍或者切割肩等，需要对母玻璃即液晶用玻璃基板进行清洗。
[0008]在所述状况下进行的液晶用玻璃基板的玻璃表面的清洗中，使用纯水、表面活性剂等清洁剂及氟化合物等各种液体。玻璃表面的清洗所使用的液体通过喷出气流而去除，在结束清洗步骤后，经过清洁剂去除步骤、检查步骤等后出货，但有已成为制品的液晶玻璃基板的表面固着有清洁剂成分的情况。
[0009]清洁剂成分残留，该清洁剂成分的固着导致形成在玻璃基板上的电极或者元件产生不良，而导致液晶显示装置发生故障。另外，在将液晶显示所需的构件形成在液晶用玻璃基板上时也会进行清洗，但即便在这种情况下进行的清洗中，也会产生清洁剂成分固着的问题。另外，有无法实现黑色矩阵树脂对玻璃基板表面的高密接性的担忧。
[0010]因此，为了防止发生清洁剂成分固着，例如专利文献I所记载般先前是利用气刀等较薄的平面状喷出气流，从清洗后的液晶用玻璃基板的玻璃表面去除清洗所使用的清洁剂等液体。
[0011][先前技术文献]
[0012][专利文献]
[0013][专利文献I]日本专利特开2009-6299号公报
【发明内容】
[0014][发明要解决的问题]
[0015]但是，所述技术由于是由气刀形成喷出气流，所以即便利用喷出气流从玻璃基板的表面去除清洗所使用的液体，也无法完全防止发生清洁剂成分的固着。如果加快来自气刀的喷出气流的喷出速度，则清洗所使用的液体中的水会挥发，而有清洁剂成分沿着来自气刀的喷出气流的喷出方向直线状地固着的情况。如果在固着了清洁剂成分的玻璃基板上形成黑色矩阵、滤色片，就存在粘接状态变差而发生剥落的问题。另一方面，如果减缓来自气刀的喷出气流的喷出速度，则含有清洁剂的液体会残留在玻璃基板上，在去除清洁剂的清洁剂去除步骤中无法彻底去除清洁剂，而有清洁剂残留在玻璃基板上的情况。如果在玻璃基板上残留有清洁剂的状态下形成黑色矩阵、滤色片，则存在粘接状态变差而发生剥落的问题。
[0016]因此，本发明的目的在于提供通过利用清洗单元去除玻璃基板上的含有清洁剂的液体而能够抑制黑色矩阵剥落的玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。
[0017][解决问题的技术手段]
[0018]本发明的一个形态是一种表面形成黑色矩阵树脂的滤色片用玻璃基板的制造方法，其具有以下形态。优选为:
[0019][形态I]
[0020]一种滤色片用玻璃基板的制造方法，其特征在于具备如下步骤:
[0021]清洗步骤，对玻璃基板供给包含添加有表面活性材料的无机碱系清洗剂的清洗液并进行清洗，
[0022]冲洗步骤，使冲洗液渗透至所述清洗步骤中附着在所述玻璃基板的表面的清洗液，及
[0023]去除步骤，通过将所述冲洗步骤中渗透有所述冲洗液的所述清洗液通入从所述玻璃基板的一端跨至另一端所设置的清洗单元，而去除该清洗液。
[0024][形态2]
[0025]根据形态I的制造方法，其中关于所述去除步骤，在将所述玻璃基板通入所述清洗单元前后的步骤中的至少后一步骤中，为了防止所述清洗液干燥，而对所述玻璃基板的表面供给液体。
[0026][形态3]
[0027]根据形态I或2的制造方法，其中关于所述去除步骤，
[0028]将清洗过所述玻璃基板的所述清洗液回收，并测定所回收的清洗液的浓度，
[0029]测得的所述清洗液的浓度越低，越增强将所述清洗单元压抵于所述表面的力。
[0030][形态4]
[0031]根据形态I至3中任一项的制造方法，其中在利用所述清洗单元去除所述清洗液的前后步骤中，对所述表面添加水而抑制所述表面的干燥。
[0032][形态5]
[0033]根据形态I至4中任一项的制造方法，其中关于所述去除步骤，
[0034]在利用所述清洗单元去除所述清洗液后，利用所述液体清洗所述玻璃基板，并测定清洗过的所述液体的导电率，
[0035]测得的所述液体的导电率越高，越增强将所述清洗单元压抵于所述表面的力。
[0036]本发明的另一个形态是表面形成黑色矩阵树脂的滤色片用玻璃基板的制造装置，其具有以下形态。
[0037][形态6]
[0038]根据形态I至5中任一项所述的制造方法，其中所述清洗单元是使相对于即将进行所述冲洗步骤前的清洗液的温度而温度差为0°C以上且25°C以下的冲洗液在所述冲洗步骤的初期渗透而去除。
[0039][形态7]
[0040]一种滤色片用玻璃基板的制造装置，其特征在于具备如下装置:
[0041]清洗装置，其对玻璃基板供给包含添加有表面活性材料的无机碱系清洗剂的清洗液并进行清洗，及
[0042]去除装置，其使冲洗液渗透到附着在所述玻璃基板的表面的清洗液中，并通过将渗透有所述冲洗液的所述清洗液通入从所述玻璃基板的一端跨至另一端所设置的清洗单元，而去除所述清洗液。
[0043][发明的效果]
[0044]根据本发明，能够利用清洗单元物理性地去除玻璃基板上的含有清洁剂的液体，并且抑制黑色矩阵的剥落。
【附图说明】
[0045]图1是用来说明本实施形态的玻璃基板的制造方法的一例的概要的流程图。
[0046]图2是本实施形态的逐片清洗装置的一例的示意图。
[0047]图3是本实施形态的清洗单元的一例的俯视图。
[0048]图4是图3所示的清洗单元的侧视图。
[0049]图5是本实施形态中使用的夹棍的一例的俯视图。
[0050]图6是表示被回收到清洗剂回收储罐中的清洗液的浓度与将夹辊压抵于玻璃片的力的关系的一例的图表。
【具体实施方式】
[0051]<玻璃片的组成>
[0052]玻璃片(玻璃基板)是用于制造例如包括液晶显示器等平板显示器(FPD)在内的显示器的玻璃。以下，以FH)用玻璃片为例进行说明。该玻璃片是通过在表面配置黑色矩阵及使红色(R)/绿色(G)/蓝色(B)的光透过的波长选择元件即RGB像素，而形成滤色片。黑色矩阵通过遮断RGB像素区域以外的背光装置的漏光，防止相互邻接的RGB像素的混色，而提高显示对比度。也就是说，滤色片的光的透过区域是根据黑色矩阵的形状及配置而决定。玻璃片的厚度例如为0.1mm?0.7mm。玻璃片的尺寸例如为680mmX 880mm (G4尺寸)、2200mm X 2500mm (G8 尺寸)。
[0053]用于制造FH)的玻璃片适宜为无碱玻璃或微碱玻璃。在玻璃片为无碱玻璃的情况下，玻璃的组成例如为
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