纳米金属螺旋轴锥探针的制作方法
【专利摘要】一种高空间分辨率、高灵敏度、能产生强纵向偏振电场和旋转电场的纳米金属螺旋轴锥探针。该探针由纳米金属锥形结构和螺旋结构复合构成，当入射光（特别是径向偏振光）照射纳米金属螺旋轴锥探针底面时，在底面的边缘激发表面等离激元，其沿着锥表面主要是锥表面的螺旋槽向顶端传播，并不断旋转、压缩和聚焦，在顶端形成纳米聚焦的高局域强场。该强场具有很大的纵向偏振电场分量，而且具有旋转特性。另外通过改变锥形结构和螺旋结构所占的结构参数因子可以实现纳米焦场的调控。本发明可用作扫描近场显微镜、原子力显微镜等扫描探针显微镜以及针尖增强拉曼光谱仪的探针，在纳米传感、纳米成像、纳米光刻和纳米操纵等诸多领域有重要应用价值。
【专利说明】纳米金属螺旋轴锥探针
【技术领域】
[0001]本发明属于光学和光电【技术领域】，涉及纳米光电器件、表面等离子体激发、纳米聚焦和矢量场，特别是一种高空间分辨率、高灵敏度、能产生强纵向偏振电场和旋转电场的金属光电探针。
【背景技术】
[0002]产生具有大纵向偏振电场分量的纳米聚焦强场，对于提高纳米光刻、纳米传感、纳米成像和纳米操纵的分辨率和灵敏度至关重要。利用各种纳米金属结构产生和聚焦的表面等离激元，是突破传统光学衍射极限实现强纳米聚焦的有效途径。其中最常用的是纳金属轴锥结构，该结构首先将入射光能量转化为表面的离子体波，然后顺着锥形结构逐渐压缩，同时表面等离子体波的相速度和群速度不断减小，在锥形的尖端转化成高度受限的等离子体模，形成高度局域化的电磁场分布，从而得到纳米聚焦。
[0003]另一方面，利用平面金属螺旋结构，可以在远场得到具有旋转特性的矢量场，然而该方法得到的焦斑大小为数百纳米，其空间分辨率有限，难以进一步提高。
【发明内容】
[0004]本发明目的是为产生具有旋转特性、大纵向偏振电场分量的纳米聚焦矢量场，提供一种由纳米金属锥和纳米金属螺旋复合的高空间分辨率和高灵敏度的近场纳米金属螺旋轴锥探针。
[0005]本发明提供的高空间分辨率和高灵敏度的近场纳米金属螺旋轴锥探针，由纳米金属锥形结构和螺旋结构复合构成，该探针在柱状坐标系的结构方程为:
【权利要求】
1.一种高空间分辨率、高灵敏度、能产生强纵向偏振电场和旋转电场的纳米金属螺旋轴锥探针，其特征在于该纳米金属螺旋轴锥探针由纳米金属锥形结构和螺旋结构复合构成，该探针在柱状坐标系下的结构方程ACA灼为:
2.根据权利要求1所述的纳米金属螺旋轴锥探针，其特征在于由于探针锥面的螺旋结构，在探针顶端形成的纳米聚焦电场具有旋转特性。
3.根据权利要求1或2所述的纳米金属螺旋轴锥探针，其特征在于在金属材料和结构参数确定的条件下，当入射光场为径向偏振光时，在探针顶端形 成的纳米聚焦电场强度最大，且纵向偏振分量最大。
4.根据权利要求1或2所述的纳米金属螺旋轴锥探针，其特征在于通过改变锥形结构和螺旋结构所占的结构参数因子和.&能够实现纳米聚焦电场的调控；在确定不变的条件下，当时，能够得到更 强的纳米聚焦；当<2<&时，纳米聚焦电场纵向分量所占的比例较大。
【文档编号】G01Q70/10GK103439533SQ201310398918
【公开日】2013年12月11日 申请日期:2013年9月5日 优先权日:2013年9月5日
【发明者】匡登峰, 张德伦, 欧阳升 申请人:南开大学