一种基于表面等离子共振的折射率传感器的制造方法
【专利摘要】一种基于表面等离子共振的折射率传感器，其特征在于：由宽带光源(1)、偏振控制器(2)、光纤SPR探头(3)、液体池(4)、光谱仪(5)组成；出射光纤的两个端口分别与光纤SPR探头(3)和光谱仪(5)相连，液体池(4)中充满传感介质，光纤SPR探头(3)位于液体池(4)内部。本发明结构简单，易于操作，可以应用于各类实际工程中。
【专利说明】一种基于表面等离子共振的折射率传感器
【技术领域】
[0001]一种基于表面等离子共振的折射率传感器，属于光纤传感【技术领域】。
【背景技术】
[0002]由于能够对物质的物理、化学和生物性质进行实时传感，表面等离子共振现象无论是从实验上或是理论上都吸引了大量的关注。共振对于金属表面绝缘环境的折射率变化非常敏感，反过来这种灵敏度又可以感知绝缘环境周围的变化。通过使用波长调节技术，我们已经展示了金属盒氧化物结合的性能可以用于基于氧化物镀膜表面等离子共振增敏折射率传感器。感响应的分析通过使用多模结构和几何光学而实现。这个结构包括以铜层作为SPR活跃的金属层，然后被TiO2氧化层所覆盖。通过使用TiO2层可以获得最强的灵敏度，另外增加TiO2层的厚度可以增加传感器的灵敏度。另外，使用氧化层可以使金属层免受氧化，以及共振波长区域的可调谐性以及气体传感的性能和生物适应性。
【发明内容】
[0003]一种基于表面等离子共振的折射率传感器。该装置能够提高传感灵敏度。具有结构简单、易于操作、灵敏度高等特点。
[0004]通过以下技术方案实现:
[0005]一种基于表面等离子共振的折射率传感器，其特征在于:由宽带光源(1)、偏振控制器(2)、SPR探头(3)、液体池(4)、光谱仪(5)组成；出射光纤的两个端口分别与光纤SPR探头(3)和光谱仪(5)相连，液体池(4)中充满传感介质，光纤SPR探头(3)位于液体池
(4)内部。本发明结构简单，易于操作，可以应用于各类实际工程中。
[0006]所述的一种基于表面等离子共振的折射率传感器，其特征在于:光纤SPR探头(3)是由纤芯、Cu层、TiO2薄膜以及包层组成的四层系统，纤芯外面镀Cu层，Cu层外面镀TiO2薄膜。
[0007]所述的一种基于表面等离子共振的折射率传感器，其特征在于:光纤SPR探头中，Cu层的厚度为30nm~60nm, TiO2薄膜厚度为5nm~10nm。
[0008]本发明的工作原理是:光纤SPR探头(3)是一个四层的系统，包括纤芯、Cu层、TiO2薄膜以及包层。对于绝缘氧化物TiO2而言，依赖于折射率的波长公式:
[0009]
【权利要求】
1.一种基于表面等离子共振的折射率传感器，其特征在于:由宽带光源(I)、偏振控制器(2)、光纤SPR探头(3)、液体池(4)、光谱仪(5)组成；出射光纤的两个端口分别与光纤SPR探头(3)和光谱仪(5)相连，液体池(4)中充满传感介质，光纤SPR探头(3)位于液体池⑷内部。
2.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子共振的折射率传感器，其特征在于:光纤SPR探头(3)是由纤芯、Cu层、TiO2薄膜以及包层组成的四层系统，纤芯外面镀Cu层，Cu层外面镀TiO2薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种表面等离子共振的折射率传感器，其特征在于:光纤SPR探头中Cu层的厚 度为30nm~60nm, TiO2薄膜厚度为5nm~10nm。
【文档编号】G01N21/41GK103900991SQ201310717572
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2013年12月17日 优先权日:2013年12月17日
【发明者】沈常宇, 刘桦楠, 魏健, 路艳芳, 陈德宝, 褚金雷 申请人:中国计量学院