一种用于阵列基板检测的检测台的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于阵列基板检测的检测台，包括带有多个凹槽的活动平台，以及用于传送阵列基板的末端器，所述末端器包括多个设于活动平台凹槽相应位置的传送臂及其底部的支撑底座，所述活动平台的非凹槽表面设有背光。此外，所述传送臂的背面也设有背光，并可180°旋转与活动平台构成整体背光。本实用新型通过将末端器（YE）设计为可旋转且可上下做垂直运动的含有背光设计的装置，有效解决了在活动平台凹槽处无法添加背光设计的难题，做到待测基板下面完全覆盖背光的设计，使在背光条件下测试所有像素成为可能。本实用新型所述结构不会对活动平台的原有功能造成任何干扰，其结构、制造方法简单，易于实现。
【专利说明】一种用于阵列基板检测的检测台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及阵列基板的检测装置，特别涉及一种带背光的用于阵列基板检测的检测台。
【背景技术】
[0002]阵列基板检测(Array Test)设备目前用到的检测台结构如附图1所示，包括带有多个凹槽的活动平台1，凹槽处有末端器，该末端器包括传送臂2-1和支撑底座2-2，传送臂2-1高于活动平台I表面，该末端器只能做直线运动，负责传送基板，当基板由真空进样室(Loadlock)传送至检测室时检测台的活动平台上升至测试位置，使基板与探针框架(Proberframe)接触后进行测试。检测室内部是真空、黑暗条件，阵列基板(TFT Glass)测试就是在这种条件下进行，但目前无法在阵列(Array)段预先得到背光条件下所有像素的TFT特性。
[0003]有鉴于此，特提出本实用新型。
实用新型内容
[0004]为解决测试阵列基板(TFT Glass)在阵列(Array)段所有像素(Pixel)的光敏特性，本实用新型提出了一种新型的用于阵列基板检测的检测台，该检测台能够完成具备背光条件下的测试，达到测试光敏特性的要求。
[0005]本实用新型具体采用如下技术方案:
[0006]一种用于阵列基板检测的检测台，包括带有多个凹槽的活动平台，以及用于传送阵列基板的末端器，所述末端器包括多个设于活动平台凹槽相应位置的传送臂及其底部的支撑底座，所述活动平台的非凹槽表面设有背光。
[0007]本实用新型首次在活动平台的非凹槽表面添加背光设计，从而能够实现在阵列基板检测时使用背光的条件进行检测。
[0008]更进一步地，本实用新型还同时提出了一种改进技术方案:
[0009]本实用新型所述的检测台，传送臂的背面同时设有背光，并可180°旋转与活动平台构成整体背光。
[0010]由于活动平台上设有用于接纳传送臂的凹槽，因此，即使想到在现有活动平台上加设背光，因凹槽内无添加背光装置，导致依然无法有效完成背光条件下的阵列基板检测。本实用新型通过同时在传送臂的背面设有背光，且设计传送臂能够180°旋转，当传送基板结束，传送臂可经180°旋转后与活动平台构成整体背光，无缝弥补凹槽处的背光缺失。
[0011]为了实现传送臂的180°旋转，本实用新型同时提供了相应的结构支持。
[0012]本实用新型所述活动平台的凹槽下方设有圆柱状空腔，所述支撑底座内设有传送臂的旋转装置及垂直直线电机。当传送臂传送基板结束，垂直直线电机驱动传送臂降至凹槽下方的圆柱空腔，经由旋转装置驱动，在圆柱空腔内完成传送臂的180°旋转。
[0013]其中，所述旋转装置为设与各传送臂末端的微型马达。该微型马达为现有结构，其控制也为本领域技术人员所掌握，本实用新型对此不作特别限定。
[0014]本实用新型中，所述背光不局限与某种特别的形式，仅作为优选方案，本实施例所述背光由LED灯簇提供，这种LED灯簇聚焦较好，其强弱，发光区域等容易控制。具体LED灯簇的安装设计为现有技术。
[0015]本实用新型所述的检测台还设有水平直线电机，该电机能够驱动传送臂直线运动，完成基板的传送。
[0016]本实用新型所述的检测台，其传送臂的结构为矩柱状，正面设有橡胶圈(0-ring)，靠橡胶圈与阵列基板之间的摩擦力将阵列基板由真空进样室(Loadlock)传送至检测室。
[0017]此外，为了适用于多种应用需求，本实用新型所述检测台中，活动平台的背光与控制器相连，经由控制器控制背光的发光区域，实现不同尺寸基板的检测。
[0018]上述结构中，所述凹槽与传送臂的数量可依据实际价格成本和应用效果综合考虑而定，如本实用新型所限定的为2?6组，其中优选为4组。
[0019]使用上述检测台进行工作的具体方法如下:当末端器(YE)将基板(Glass)从真空送样室(Loadlock)传送至检测室时，活动平台上升并将基板抬起与探针框架(Probeframe)接触,末端器(YE)利用支撑底座内的垂直直线电机下降至可旋转位置，然后传送臂利用末端的微型马达旋转180°将设计有背光的底面旋转至正面，然后将传送臂上升至和活动平台表面齐平位置，并根据不同尺寸点亮相应位置的背光，从而实现背光条件下的阵列检测(Array Test)。测试完毕后传送臂下降至可旋转位置旋转180°将托运Glass的表面旋转至正面，再升高至传递Glass位置，然后活动平台下降，紧接着末端器将Glass传至真空送样室(Loadlock),完成整个过程。
[0020]采用上述技术方案，本实用新型得到了一种带有背光的全新检测台，解决了阵列基板(TFT Glass)在测试时模拟背光的条件以及活动平台(Stage)沟槽位置无背光的问题。具体通过将末端器(YE)设计为可旋转且可上下做垂直运动的含有背光设计的装置，实现阵列基板(TFT Glass)整张玻璃下面均有背光覆盖，使在背光条件下测试所有像素(Pixel)成为可能。同时，通过软件控制活动平台(Stage)表面不同区域背光打开，从而满足不同尺寸测试背光条件下的像素(Pixel)，使用该新型设计结构，可以实现阵列基板在被光条件下的所有像素检测，有效模拟出TFT在背光条件下的工作状况，及时了解像素(Pixel)的TFT特性，为投入后段提供强有力的数据支持。此外，本实用新型所述结构不会对活动平台的原有功能造成任何干扰，其结构、制造方法简单，易于实现。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1为现有技术公开的检测台结构示意图；
[0022]图2为图1的A-A向剖视图；
[0023]图3为本实用新型所述检测台的结构示意图；
[0024]图4为图3的A-A向剖视图；
[0025]图5为传送臂旋转状态示意图；
[0026]图6为整体背光使用状态示意图；
[0027]其中，I为活动平台；1_1为凹槽；1_2为圆柱状空腔；2_1为传送臂；2_2为支撑底座；3为微型马达；4为垂直直线电机；5为水平直线电机；6为LED灯簇。【具体实施方式】
[0028]实施例1
[0029]如图3所示的用于阵列基板检测的检测台，包括带有4个凹槽1-1的活动平台1，以及用于传送阵列基板的末端器，该末端器包括4个设于活动平台凹槽1-1相应位置的传送臂2-1及其底部的支撑底座2-2，所述活动平台I的非凹槽表面设有背光(即LED灯簇6)。本实施例通过在活动平台的非凹槽表面添加背光设计，从而能够实现在阵列基板检测时使用背光的条件进行检测。
[0030]实施例2
[0031]如图2所示，本实施例所述的检测台，在传送臂2-1的背面同时设有背光，并可180°旋转与活动平台I构成整体背光(见图6)。
[0032]本实施例通过同时在传送臂2-1的背面设有背光，且设计传送臂2-1能够180°旋转(旋转示意图见图5)，当传送基板结束，传送臂可经180旋转后与活动平台构成整体背光，无缝弥补凹槽处的背光缺失。
[0033]本实施例中，如图4所示，活动平台凹槽1-1下方设有圆柱状空腔1-2，所述支撑底座2-2内设有传送臂2-1的旋转装置及垂直直线电机4。当传送臂2-1传送基板结束，垂直直线电机4驱动传送臂2-1降至凹槽下方的圆柱空腔1-2，经由旋转装置驱动，在圆柱空腔内完成传送臂的180°旋转。
[0034]其中，所述旋转装置为设与各传送臂2-1末端的微型马达3。
[0035]本实施例中，活动平台I及传送臂背面的背光由LED灯簇提供，这种LED灯簇聚焦较好，其强弱、发光区域等容易控制。
[0036]此外，检测台还设有水平直线电机5，该电机能够驱动传送臂2-1直线运动，完成基板的传送。
[0037]本实施例传送臂2-1的结构为矩柱状，正面设有橡胶圈(Ο-ring)，靠橡胶圈与阵列基板之间的摩擦力将阵列基板由真空进样室(Loadlock)传送至检测室。
[0038]使用上述检测台进行工作的具体方法如下:当末端器(YE)将基板(Glass)从真空送样室(Loadlock)传送至检测室时，活动平台上升并将基板抬起与探针框架(Probeframe)接触,末端器(YE)利用支撑底座内的垂直直线电机下降至可旋转位置，然后传送臂利用末端的微型马达旋转180°将设计有背光的底面旋转至正面，然后将传送臂上升至和活动平台表面齐平位置，并根据不同尺寸点亮相应位置的背光，从而实现背光条件下的阵列检测(Array Test)。测试完毕后传送臂下降至可旋转位置旋转180°将托运Glass的表面旋转至正面，再升高至传递Glass位置，然后活动平台下降，紧接着末端器将Glass传至真空送样室(Loadlock),完成整个过程。
[0039]实施例3
[0040]与实施例2相比，区别仅在于，本实施例检测台中，活动平台I的背光与控制器相连，经由控制器控制背光的发光区域，实现不同尺寸基板的检测。
[0041]本实施例凹槽与传送臂的数量可选为2?6组。
[0042]以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关【技术领域】的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。
【权利要求】
1.一种用于阵列基板检测的检测台，包括带有多个凹槽的活动平台，以及用于传送阵列基板的末端器，所述末端器包括多个设于活动平台凹槽相应位置的传送臂及其底部的支撑底座，其特征在于:所述活动平台的非凹槽表面设有背光。
2.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于:所述传送臂的背面设有背光，并可180°旋转与活动平台构成整体背光。
3.根据权利要求1或2所述的检测台，其特征在于:所述活动平台的凹槽下方设有圆柱状空腔，所述支撑底座内设有传送臂的旋转装置及垂直直线电机。
4.根据权利要求3所述的检测台，其特征在于:所述旋转装置为设于各传送臂末端的微型马达。
5.根据权利要求1或2所述的检测台，其特征在于:所述背光由LED灯簇提供。
6.根据权利要求1或2所述的检测台，其特征在于:所述检测台上设有水平直线电机，为末端器传送阵列基板提供动力。
7.根据权利要求1或2所述的检测台，其特征在于:所述的传送臂为矩柱状，正面设有橡胶圈。
8.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于:所述活动平台的背光与控制器相连。
9.根据权利要求1或2所述的检测台，其特征在于:所述凹槽与传送臂为2?6组。
10.根据权利要求9所述的检测台，其特征在于:所述凹槽与传送臂为4组。
【文档编号】G01M11/02GK203595601SQ201320828616
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2013年12月12日 优先权日:2013年12月12日
【发明者】郭世波, 魏振, 陈庆友, 李风, 申明明, 许金龙, 赵琼 申请人:合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司