一种可模拟样品吸脱附过程的原位光谱测试装置的制作方法

文档序号:11945754阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可模拟样品吸脱附过程的原位光谱测试装置,其特征在于:测试装置包括进气单元和出气单元;

测试装置的进气单元分别为第一反应气路、第二反应气路和第三反应气路和液体进样口;三个反应气路具有相同的结构和零件配置,在第一反应气路中,第一质量流量计的进气口方向连接第一过滤阀,出气口方向按顺序依次连接第一电磁阀和第一单向阀,第一质量流量计和第一电磁阀边两端并联一个第一截止阀,用于吹扫气路和保护质量流量计;

液体进样口按距离原位样品池进气口的距离由近至远依次包括第四单向阀、第四过滤阀和第七截止阀,第七截止阀外接溶剂蒸汽发生器或者蠕动泵;测试装置出气单元中,第五质量流量计进气口方向由近至远按顺序分别连接第五过滤阀、第五电磁阀和背压阀,第五质量流量计出气口方向连接第五单向阀和带真空规的真空泵,在背压阀、第五电磁阀、第五过滤阀和第五质量流量计的边上连接一个由第二计量阀构成的旁路,用于系统抽真空;第七截止阀和原位样品池进气口之间设有第一计量阀,用于控制进气时的流速;

测试装置进气单元和液体进样口到原位样品池之间分别通过第六截止阀连接压力表和通过第五截止阀连接第一压力传感器用于显示高压,测试装置出气单元在原位样品池和背压阀之间通过第八截止阀连接第二压力传感器用于显示低压;LabView控制器连接第一压力传感器、第二压力传感器、第一质量流量计、第二质量流量计、第三质量流量计、第五质量流量计、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀和第五电磁阀,控制系统压力,使其稳定在设点的数值,系统压力变化小于等于10mbar/min。

2.根据权利要求1所述的测试装置,其特征在于:测试装置的进气单元与第一压力传感器之间分别连接一个泄压阀和一个由第四截止阀构成的排空设计,出气单元在背压阀和第五电磁阀之间连接一个由第九带截止阀构成的排空设计,用于气体的排出和吹扫已经保护系统压力不会超过设计的最高压力。

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