利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法与流程

技术特征：

1.一种利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，包括：

(1)驱动在流水线上的待批量检测的半导体器件到位；

(2)设置具有石墨烯探针的触压探针，并驱动触压探针到达待测状态；

(3)检测待测半导体器件各触压探针输出的压力信号；

(4)根据所述压力信号检测待测半导体器件的电气输出信号；

(5)对流水线上的下一个待测半导体器件重复上述步骤(1)到步骤(4)。

2.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，所述步骤(1)包括：利用半导体器件驱动单元驱动待测半导体器件从流水线进入检测台的预定位置，并产生第一到位信号。

3.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，所述设置具有石墨烯探针的触压探针，并驱动触压探针到达待测状态包括：利用触压探针水平驱动单元监测半导体器件驱动单元发出的信号并确定是否接收到所述第一到位信号，并在收到时启动，驱动触压探针做平行于检测台所在平面的水平移动，以将触压探针驱动到与所述待测半导体器件的引脚对应位置的正上方，驱动完毕时产生第二到位信号；

利用触压探针垂直驱动单元监测触压探针水平驱动单元发出的信号并确定是否接收到所述第二到位信号，并在接收到时启动，驱动触压探针做垂直于检测台的移动，以将所述触压探针驱动到所述待测半导体器件在垂直于所述检测台的方向上的位置最高的待测引脚的至少一个的正上方但不与该待测引脚接触，驱动完毕时产生第三到位信号；

所述待测状态是指将触压探针驱动到与所述待测半导体器件的引脚对应位置的正上方，且将所述触压探针驱动到所述待测半导体器件在垂直于所述检测台的方向上的位置最高的待测引脚的至少一个的正上方但不与该待测引脚接触。

4.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，所述步骤(3)包括：利用压力检测单元监测触压探针垂直驱动单元发出的信号并确定是否接收到所述第三到位信号，并在接收到时输出石墨烯感测单元检测到的压力信号。

5.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，所述步骤(4)包括：电气检测单元根据压力检测单元的输出向所述待测半导体器件的引脚输入或输出电气信号并检测所述输出的电气信号。

6.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，在上述步骤(2)中，将所述触压探针驱动到所述待测半导体器件在垂直于所述检测台的方向上的位置最高的待测引脚的至少一个的正上方但不与该待测引脚接触可以为：将所述触压探针驱动到所述待测半导体器件在垂直于所述检测台的方向上的某个位置，该位置处于该触压探针与其对应的待测引脚相距预设距离，所述预设距离大于1mm且小于3mm，优选为1.5mm至1.8mm之间的值。

7.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，在步骤(4)中，当所述电气检测单元接收到压力检测单元输出的石墨烯感测单元检测得到的压力信号时，设该压力信号为P_i(t)，该压力信号随着时间t而改变，其中i表示触压探针的序号，i为正整数；本发明中，对于特定的某个检测台，与其对应的触压探针均被编号且其编号为相对整个流水线全局而言是唯一编号，且该编号与产生压力信号的石墨烯感测单元的编号j相对应，j为正整数；设产生压力信号的石墨烯感测单元的本征压力值为则当石墨烯压力感测系数C的取值为1.89至2.15之间时，表示此时的电气检测单元应当进行电气信号的运算，其中C值根据如下经验公式计算：

$C={\∫}_{i=1,j=2}^{i=N,j=N-2}\left(\frac{{\left(A\[\frac{P_i\left(t\right)}{P_j^0}\]\right)}^2}{A\[\frac{P_i(t+1)}{\sqrt{P_{j+2}^0\×P_{j+1}^0}}\]\·A\[\frac{P_i(t-1)}{\sqrt{P_{j-1}^0\×P_{j-2}^0}}\]}\right),$

上式中，N为检测过程中与待测半导体器件的引脚接触的触压探针的个数，该个数等于待测半导体器件的待测引脚的个数。

8.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，所述电气信号处理电路输入的来自压力检测单元的表示触压探针检测到的压力的信号Vc是通过所述压力检测单元实际输出的表示压力的电压值乘以上述C值和根据实际待测半导体器件设置的具有放大倍数可调的放大器得到的。

9.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，所述方法基于具有石墨烯探针进行批量检测半导体器件的检测系统，该系统包括：半导体器件驱动单元、触压探针水平驱动单元、触压探针垂直驱动单元、电气检测单元和压力检测单元。

10.根据权利要求1所述的利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，其特征在于，所述半导体器件驱动单元、所述触压探针水平驱动单元和触压探针垂直驱动单元相互之间被驱动信号线串联连接且被依次驱动，且所述压力检测单元被所述触压探针垂直驱动单元的驱动完毕信号作为驱动的起始信号，所述压力检测单元输出的信号被输入到所述电气检测单元。