技术总结
为了以较低的成本实现高精度的、不需要设置伪栅电极之类的辅助结构的半导体器件检测，并在信号处理期间考虑到对触压探针压力信号水平的自动处理，本发明提供了一种利用具有石墨烯探针批量检测半导体器件的方法，包括：(1)驱动在流水线上的待批量检测的半导体器件到位；(2)设置具有石墨烯探针的触压探针，并驱动触压探针到达待测状态；(3)检测待测半导体器件各触压探针输出的压力信号；(4)根据所述压力信号检测待测半导体器件的电气输出信号。
技术研发人员：刘颖
受保护的技术使用者：成都汇智远景科技有限公司
文档号码：201610766147
技术研发日：2016.08.30
技术公布日：2016.12.21