一种减薄后的液晶面板厚度测量方法与流程

文档序号:12464793阅读:376来源:国知局

本发明涉及一种减薄后的液晶面板厚度测量方法。



背景技术:

液晶面板蚀刻减薄后的厚度是减薄行业一项重要的控制项目,减薄完成后的液晶面板需要测量其厚度来管控是否达到客户要求的目标厚度,液晶面板的厚度超出管控范围后的部分主要有两种:1.薄化后的厚度大于目标厚度,处理的办法是再次装入治具进行重新减薄,直到厚度达到目标厚度;2.薄化完的厚度小于目标厚度,这部分液晶面板只能做制程报废处理,会带来一定的经济损失。

目前减薄后的液晶面板主要通过通过数显千分尺对面板四侧边缘分别至少测量一个点来检测液晶面板厚度的均一性,以控制蚀刻后的产品厚度。这种方法具有一定的局限性,只能测量管控到液晶面板周边部分的厚度,液晶面板中间部位的厚度测量不到,造成重新减薄后的液晶面板的报废率较高。



技术实现要素:

本发明所要解决的技术问题是:提供一种可大大提高检测准确度的减薄后的液晶面板厚度测量方法。

为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案为:一种减薄后的液晶面板厚度测量方法,其步骤为:a.将液晶面板放置在上表面平面度公差在3um之内的测厚台上,采用千分尺对液晶面板的四角及四边中心点处进行厚度测量;

b.将液晶面板伤已经用千分尺测量过的某一点处置于测厚台上,采用超声波测厚仪对该点进行测量,如果测量数据与千分尺测量数据一致,则直接采用超声波测厚仪对液晶面板中心点进行厚度测量;如果测量数据与千分尺测量数据不一致,则先调校超声波测厚仪,再对液晶面板中心点进行厚度测量。

作为一种优选的方案,所述测厚台为旋转台。

作为一种优选的方案,所述旋转台的上表面表面积小于液晶面板面积。

作为一种优选的方案,采用超声波测厚仪对某点进行测量时,测量两次,然后取较小的数值作为测量厚度。

本发明的有益效果是:通过对面板的四周及中间部位进行厚度检测,可以更加全面有效的来控制重新减薄的操作,从而保证减薄后面板厚度的均一性。

由于测厚台为旋转台,可根据需要转动旋转台面同时采用千分尺对液晶面板的四角及四边中心点处进行厚度测量,使用方便。

由于旋转台的上表面表面积小于液晶面板面积,便于采用千分尺对液晶面板的四角及四边中心点处进行厚度测量的操作。

采用超声波测厚仪对某点进行测量时,测量两次,然后取较小的数值作为测量厚度,可以提高测量的准确性。

具体实施方式

下面详细描述本发明的具体实施方案。

一种减薄后的液晶面板厚度测量方法,其步骤为:a.将液晶面板放置在上表面平面度公差在3um之内的旋转测厚台上,根据需要转动旋转台面同时采用千分尺对液晶面板的四角及四边中心点处进行厚度测量;

b.将液晶面板伤已经用千分尺测量过的某一点处置于旋转测厚台上,旋转测厚台的上表面表面积小于液晶面板面积。采用超声波测厚仪对该点进行测量。比测量时要将探头水平放置在液晶面板表面,测量两次,然后取较小的数值作为测量厚度。如果测量数据与千分尺测量数据一致,则直接采用超声波测厚仪对液晶面板中心点进行厚度测量;如果测量数据与千分尺测量数据不一致,则先调校超声波测厚仪,再对液晶面板中心点进行厚度测量,测量两次,然后取较小的数值作为测量厚度。

上述的实施例仅例示性说明本发明创造的原理及其功效,以及部分运用的实施例,而非用于限制本发明;应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1