技术特征：
技术总结
本发明公开了一种差动式变极距垂直电极型电容传感器，至少包括一对感应电容的静电极与一个感应电容的动电极。一对感应电容的静电极关于感应电容的动电极垂直对称分布且分别与感应电容的动电极保留有一定初始间隙，形成差动式结构垂直电极型电容器。感应电容的静电极由多个金属片并联组成，多个金属片之间充满绝缘介质且通过金属连接。本发明公开的一种差动式变极距垂直电极型电容传感器，解决了传统的变极距型电容传感器存在的严重非线性及灵敏度受位移影响严重等问题，提高了变极距型电容传感器灵敏度、线性度与抗干扰能力。
技术研发人员：潘海鸿;罗年景;陈琳
受保护的技术使用者：广西安博特智能科技有限公司
技术研发日：2017.06.02
技术公布日：2017.08.11