22以及空托盘存储器23。
[0055]测试前托盘存储器21，容纳有多个容纳有测试前DUT100的用户托盘110。另一方面，测试后托盘存储器22，容纳有多个容纳有根据测试结果分类的DUT100的用户托盘110。另外，空存储器23，容纳有未容纳DUTlOO的空用户托盘110。本实施例中，设有6个测试后托盘存储器22，最多可根据测试结果将DUT100分为6类。
[0056]上述的存储器21?23，没有特别图示，具有框状的托盘支撑架以及可升降该托盘支撑架的升降机。托盘支撑架内叠置有多个用户托盘110，该用户托盘的叠置体通过升降机上下移动。
[0057]另外，由于所有存储器21?23均为同一结构，测试前托盘存储器21、测试后托盘存储器22、空托盘存储器23的数目并不限定于上述，可任意设定。而且，托盘存储器21?23的总数也不限定于上述。
[0058]另外，该容纳部20具有可移送用户托盘110的托盘移动臂24。
[0059]例如，从测试前托盘存储器21的最上节的用户托盘110中将所有的DUT100提供给装载部30后该用户托盘110变空的情况下，该托盘移动臂24将该用户托盘110从测试前托盘存储器21移动至空托盘存储器23中。
[0060]另外，例如，测试后托盘存储器22的最上节用户托盘110在装满测试后DUT100的情况下，托盘移动臂24将新的空用户托盘110从空托盘存储器23移动至该测试后托盘存储器22。
[0061]另外，容纳部20的结构，并不限定于此。例如，托盘移送臂24从测试前托盘存储器21与测试后托盘存储器22将最上节的用户托盘110取出并移载至套板上，该套板通过面向在处理器10装置底座上形成的窗部上升，向装载部30与卸载部90提供用户托盘110也是可以的。
[0062]< 装载部 30>
[0063]图5是表示本实施方式的装载部的器件搬送装置的侧视图、图6是表示该器件搬送装置的梭子以及导轨的侧面图、图7是沿着图6的VI1-VII线的截面图、图8是表示本实施方式的器件搬送装置的变形例的侧面图、图9(a)?图9(e)是表示从本实施方式的用户托盘至梭子的移载动作的示意图、图10表示了图5所示的器件搬送装置的间隔变更机构的放大图、图11是表示第2送出装置的送出速度以及第3送出装置的接收动作的关系的示意图、图12(a)?图12(e)是表示本实施方式的从梭子至测试托盘的移载动作的示意图。
[0064]装载部30，如图1所示，包含器件移载装置40以及器件搬送装置50A。本实施例中，通过器件移载装置40将DUT100从用户托盘110移载至器件搬送装置50A上后，通过该器件搬送装置50A将DUT100移载至测试托盘120上。本实施方式的器件移载装置40的第I可动头43以及器件搬送装置50A，相当于本发明的第I电子元件移载装置的一个例子。
[0065]器件移载装置40，用于将DUT100从用户托盘110移换至器件搬送装置50A上。如图所示，具有沿X方向设置的一对X向轨道41、在该X向轨道41上沿X向滑移的第IY向轨道42以及由该第IY向轨道42支撑的可动头43。
[0066]第I可动头43，具有均上下可动的多个(例如36个)吸着头431 (参照图5及图9(8))，可同时吸着保持多个0爪100。另外，该第I可动头43的吸着头431，以与上述的用户托盘110的收容部111相同的第I间隔P1，呈一列的布置。本实施方式的器件移载装置40的第I可动头43相当于本发明的第I移载构件的一个例子。
[0067]再者，该第I可动头43具有用于打开后述梭子51的卡闩513的卡闩开启器432。该卡闩开启器432，具有向下突出的突起433，可独立于吸着头431上下移动。
[0068]另外，如图1所示，该器件移载装置40，除上述的第I可动头43外，还具有2个可动头45、47，但是这些可动头45、47，在后述卸载部90上，将DUT100从器件搬送装置50B移载至用户托盘110上时使用。
[0069]顺便提一下，第2可动头45由可在X向轨道41上滑移的第2Y向轨道44支撑，与第I可动头43—样，具有上下可动的多个(例如36个)吸着头451(参照图15(a))以及独立于该吸着头451的上下可动的卡闩开启器452。
[0070]另一方面，第3可动头47，也由可在X向轨道41上滑移的第3Y向轨道46支撑，但是，该第3可动头47为与发生频率低的测试结果对应，可在第3Y向轨道46上沿Y向移动。另外，没有特别图示，该第3可动头47具有第I以及与第2可动头43、45同样的吸着头以及卡闩开启器，但是吸着头的数目较第I以及第2可动头43、45少。
[0071]器件搬送装置50A，如图5及图6所示，包含用于保持DUT100的多个梭子51、为梭子51提供导向的导轨52、使梭子51在导轨52上移动的第I?第3送出装置53?55、将DUT100从梭子51移换至测试托盘120上的卡闩开启器56A，以及用于控制第I?第3的送出装置53?55的控制装置57。
[0072]本实施方式的梭子51、导轨52以及第I?第3的送出装置53?55相当于本发明的搬送装置的一个例子，本实施方式的梭子(搬送载体)51相当于本发明的保持构件的一个例子，本实施方式的第I导轨521相当于本发明的轨道的一个例子，本实施方式的卡闩开启器56A相当于本发明的第2移载构件的一个例子。
[0073]另外，本实施方式的第I送出装置53相当于本发明的第I移动部的一个例子，本实施方式的第2送出装置54相当于本发明的第2移动部的一个例子，本实施方式的第3送出装置55相当于本发明的第3移动部的一个例子。
[0074]梭子51，如图7所示，包含用于保持DUT100的器件保持部511以及安装有该器件保持部511的基部515。器件保持部511具有用于容纳DUT100的器件容纳穴512、用于在该器件容纳穴512内限制DUT100的一对卡闩513。另外，本实施方式的卡闩513，相当于本发明的保持机构的一个例子。
[0075]各个卡闩513均具有位于器件容纳穴512底部的第I保持部513a、位于器件容纳穴512上部的第2保持部513b、从第2保持部513b向外侧延伸的抵接部513c以及用于使第I保持部513a和第2保持部513b连接的回转轴513d。第I保持部513a、第2保持部513b以及抵接部513c形成为一个整体。该卡闩513可旋转地支撑于回转轴513d之上，通过扭簧等施力部件(未图示)，向器件容纳穴512内部的方向(图中的箭头方向)施力。
[0076]将DUT100容纳于该器件容纳穴512中后，如图所示，通过第I保持部513a保持DUT100的端子101侧的同时，第2保持部513b抵接于DUT100的上部。因此，将DUT100容纳于器件保持部511后，通过卡闩513将DUT100固定于容纳穴512内部，使得即使梭子51上下反转DUT100也不会落下。
[0077]另一方面，在基部515的两侧，形成有沿着梭子51前后方向的一对轨道容纳槽516。通过若干条间隙，将导轨52的第I导轨521插入于该轨道容纳槽516中。梭子51沿着该第I导轨521导向。
[0078]导轨52，如图6所示，包含第I导轨521以及第2导轨525。
[0079]第I导轨521，具有由在水平方向上延伸的第I以及第2水平部521a，521b以及用于连接这些水平部521a、521b的第I及第2反转部521c、521d形成的环状形状(无端形状)。梭子51，可绕该第I导轨521的全周移动(循环)。
[0080]本实施方式中，第I及第2反转部521a、521b沿着垂直方向翻折。在第I水平部521a上，在DUT100的端子101朝下的姿势下移动梭子51，但是在第2水平部521b上，在DUT100的端子101朝上的姿势下移动梭子51。
[0081]另外，从如图6所示的状态以轴向为中心将第I导轨521旋转90度，同时绕着第I导轨521的全周，在DUT100的端子101朝下或者朝上的姿势下移动梭子51的结构也是可以的。另外，第I导轨521的整体形状，只要为无端的形状即可，并不限定于上述的具有2个反转部的形状。
[0082]该第I导轨521的水平部521a、521b上，如图7所示，形成有流路522以及吹出口523。流路522沿着第I以及第2水平部521a，521b的轴向方向延伸，连接于用于供给压缩空气等压缩流体的压缩机524。吹出口 523，从该流路522向第I导轨521的上面以及侧面开口。
[0083]从该吹出口 523排出压缩空气后，由于该压缩空气介于梭子51的轨道容纳槽516以及第I导轨511之间，梭子51从导轨521上浮。因此，因梭子51在第I导轨521上移动时产生的摩擦显著降低，故可在减少成本的同时也可实现免维修。本实施方式的第I导轨521的流路522以及吹出口 523与压缩机524相当于本发明的上浮构件的一个例子。
[0084]另一方面，第I导轨5