21的反转部521c、521d上，未形成有流路522以及吹出口523，但如图6所示，该反转部521c、521d的外侧，配置有第2导轨525。没有特别图示，第2导轨525的内部，也形成有用于供给压缩空气的流路，从该流路面向第I导轨521的反转部521c，521d开口的吹出口。
[0085]通过从该第2导轨525的吹出口向梭子51的上部吹压缩空气，梭子51在通过反转部521c，521d时梭子51的晃动和噪声受到抑制。另外，图5中，省略该第2导轨525。
[0086]代替上述的静压方式，如图8所示，将轴承支座517安装于梭子51’上，通过将该轴承支座517在导轨52’上转动，使梭子51’在导轨52’上移动也是可以的。或者，没有特别图示，代替导轨，通过传送带移动梭子也是可以的。
[0087]回到图5，第I导轨521上，安装有多个(例如100个以上)的梭子51，这些梭子51的间隔可任意变化。另外，在第I导轨521上使梭子51相互接触后，该梭子51之间的间隔设定为与上述的用户托盘110的收容部111之间的间隔Pl实质上相同。另外，在第I导轨521上使梭子51之间相互接触的情况下，梭子51之间的间隔，为用户托盘110的收容部111之间的间隔Pl的整数倍也是可以的。
[0088]第I送出装置53，如图所示，沿着第I导轨521的第I水平部521a设置。该第I送出装置53，具有滚轮531、532、传送带533、电机534、滑道535、滑块536、气缸537以及抵接块538。
[0089]一对滚轮531、532上呈绳状铺设有传送带533，该传送带533，与第I导轨521的第I水平部521a平行设置。另外，电机534可旋转驱动一个滚轮531。
[0090]导轨535也与传送带533 —样，与第I水平部521a平行设置。滑块536可在该导轨535上移动的同时，固定于传送带533上。
[0091]滑块536的顶端，安装有可在上下方向伸缩的气缸537，气缸537的顶端安装有抵接于梭子51的抵接块538。
[0092]该第I送出装置53，在将气缸537伸长的状态下，通过电机534使滚轮531以图中顺时针方向旋转。通过将滑块536向图中左方移动，使梭子51在第I水平部521a上移动。此时，通过该抵接块538推最末尾的梭子51，使梭子51之间相互接触后，使多个梭子51 —并移动。顺便提一下，在使抵接块538回到原点的情况下，在将气缸547缩短的状态下，将滚轮531以图中逆时针方向旋转，使抵接块538向图中右方移动。另外，由于梭子51上形成有槽或者穴，将抵接块538插入到该槽中或者穴中的结构也是可以的。
[0093]而且，如图所示，第I导轨521的第I水平部521a的端部附近设有制动器539。该制动器539，具有可上下伸缩的气缸539a和安装于该气缸539a的顶端的挡块539b。通过将气缸539a伸长，可在第I导轨521的第I水平部521a的端部使梭子51停止。
[0094]该第I水平部521a的端部的侧边置有用于通过器件移载装置40的第I可动头43取出DUT100的用户托盘110。本实施方式中，如图所示，第I送出装置53在制动器539之前第I导轨521上装入梭子51，且将制动器539与抵接块538之间的梭子51的数目，设定为与用户托盘110上的沿Y方向的容纳部511的数目相同。
[0095]然后，将梭子51装入到制动器539与抵接块538之间后，如图9(a)所示，器件移载装置40的第I可动头43从用户托盘110将多个DUT100同时移载至该梭子51上。
[0096]具体的，首先，第I可动头43接近用户托盘110并保持DUT100(图9(b))。接着，第I可动头43向梭子51上方移动后，仅通过使卡闩开启器432下降并通过突起433推压梭子51的卡闩513的抵接部513c以打开卡闩513 (图9(c))。然后，第I可动头43使吸着头431下降，在将DUT100载置于卡闩513的第I保持部513a上后(图9(d))，使吸着头431及卡闩开启器432上升(图9(e))。
[0097]上述的要点中，将DUT100移载至装于制动器539以及抵接块538之间的全部的梭子51后，第I送出装置53借助后续的空的梭子51，推压最末尾的梭子51，一并移动全部的梭子51。由第I送出装置53推压于第I导轨521的第I反转部521c上的梭子51，由于自重，从第I反转部521c移动至第2水平部521b。
[0098]第2送出装置54，如图5及图10所示，沿着第I导轨521的第2水平部521b设置。该第2送出装置54与上述第I送出装置53 —样具有一对滚轮541、542，传送带543，电机544，导轨545，滑块546，气缸547以及抵接块548。
[0099]该第2送出装置54也与上述第I送出装置53相同，在将气缸547伸长的状态下，通过移动滑块548，可在第2水平部521b上向图中右方移动梭子51，通过用抵接块538推压最末尾的梭子51，使得梭子51之间相互接触，之后向第3送出装置55集中移动规定的数目(例如，与测试托盘120的沿Y向的插入件122的数目相同)的梭子51。另外，该第2送出装置54的顶端附近，也设有用于使梭子51在第2水平部521b上停止的制动器549。
[0100]第3送出装置55，如图5及图10所示，与第I导轨521的水平部521a，521b以及第2反转部521d重复设置，包含沿第I导轨521设置的传送带551、呈绳状铺设有该传送带551的一对滚轮552、553以及用于旋转驱动一个滚轮552的电机554。
[0101]传送带551的外周面上，设有可与形成于梭子51底面的卡合槽514 (参照图10)卡合的多个引脚555。该引脚555以与上述的测试托盘120的插入件122的间隔相同的第2间隔P2置于传送带551之上。
[0102]该第3送出装置55，由第2送出装置54供给梭子51后，传送带551的引脚555卡合于梭子51的卡合槽514中，且第3送出装置55以第2水平部521b、第2反转部521d、第I水平部521a的顺序，使梭子51沿着第I导轨521移动。
[0103]另外，图10左侧的滚轮552的半径比同图中右侧的滚轮553的半径小。传送带551与第I导轨521的第2水平部521b以及第2反转部521d重复，但其为可从第I水平部521a逐渐分离的结构。因此，通过第3送出装置55将梭子51搬送至第I水平部521a上后，解除置于该第I水平部521a上的梭子51与引脚555的卡合。
[0104]本实施方式中，如图5所示，第I?第3送出装置53?55由控制装置57控制，但是该控制装置57控制第2以及第3送出装置54、55使第2送出装置54的梭子51的送出速度与第3送出装置55的梭子51的接收速度不同。
[0105]具体的，如图11所示，控制装置57控制第2以及第3送出装置54、55使引脚555靠近第3送出装置55的移动速度(接收速度，如图中的实线所示。)快于抵接块548靠近第2送出装置54的移动速度(送出速度，如图中虚线所示。)。因此，第3送出装置55在从第2送出装置54接收梭子51时，第2水平部521b上的梭子51间的Y向间隔由Pl变换为P2。
[0106]顺便提一下，本实施方式中，每当通过器件搬送装置50A将DUT100装载于测试托盘120的沿Y向的一列插入件122的全部中，托盘搬送装置58仅将测试托盘120沿X向移动插入件122的I个间隔。据此，DUT100之间的X向的间隔，可从用户托盘110的收容部111的间隔变更为测试托盘120的插入件122的间隔。
[0107]另外，如上所述，测试头2上安装有多个(例如512个)插座201，但是这些插座201中存在因故障不能使用的情况。这样的情况下，从用户托盘110将DUT100移载至测试托盘120上时，现有技术中不将DUT100装载于测试托盘120上的与故障插座201对应的插入件122上(所谓的关闭DUT功能，即DUT off功能)。
[0108]本实施方式中，如图11的单点划线与双点划线所示，通过在第3送出装置54的接收速度(如图中单点划线所示)维持于规定值以上的同时，使第2送出装置55的送出速度(如图中的双点划线所示。)间歇性的变为零(即，使第2送出装置54间歇性地停止)，实现上述的DUT off功能。
[0109]具体的，在通过第3送出装置55驱动电机554的状态下，与未装载DUT100的插入件122对应的引脚555，接近来自第2送出装置54的接收位置RP (参照图10)时，通过使第2送出装置54的电机544暂时停止(即，使梭子51靠近第2送出装置54的送出速度临时为O)，不向该引脚555提供梭子51。然后，该引脚555经过该接收位置RP后，第2送出装置54再次驱动电机544，将梭子51提供给下一个引脚555。另外，若第3送出装置55的送出速度与第2送出装置54的接收速度之间具有大的速度差，不将第2送出装置54的送出速度完全变为零也是可以的。<