硅片传送测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片加工设备，尤其涉及一种硅片传送测量装置。
【背景技术】
[0002]目前，在硅片的加工过程中，需要对硅片的厚度进行测量，并且要对不同位置进行多次测量，以达到更精确的数据，而且在测量的过程中要移动硅片，因此操作非常麻烦，工作效率低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决上述现有技术存在的问题，提供一种硅片传送测量装置，自动将硅片传送至传感器中进行测量，操作简单，工作效率高。
[0004]本实用新型解决其技术问题采用的技术方案:这种硅片传送测量装置，包括底座，底座上安装有横向导轨，横向导轨上安装有纵向导轨座，底座上安装有横向推拉纵向导轨的丝杆和丝杆电机，纵向导轨座上安装有滑动工作台及纵向推拉滑动工作台的丝杆和丝杆电机，滑动工作台上固定有立柱;底座的左右两端分别支撑架，支撑架上安装有升降导轨，升降导轨上安装有硅片储存盒，支撑架上安装有升降硅片储存盒的丝杆和丝杆电机，硅片储存盒包括安装在升降导轨上的固定架，固定架上固定有盒体，盒体的底面和内侧面为敞口结构，盒体的内壁上设有上下间隔设置的隔条;底座的侧边安装有支撑架，支撑架上安装有与立柱顶面高度相对应的传感器固定座。
[0005]为了进一步完善，底座的内外侧边固定有提手。这样便于移动该设备。
[0006]进一步完善，底座的底部安装有垫脚。垫脚起到保护、防滑的作用。
[0007]本实用新型有益的效果是:本实用新型将硅片储存盒的一组硅片自动传送至传感器固定座中进行测量，然后放回到硅片储存盒，操作简单，测量效率高，有利于广泛推广。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型正面的结构示意图；
[0009]图2为本实用新型背面的结构示意图；
[0010]图3为本实用新型底面的结构示意图；
[0011 ]图4为本实用新型中盒体的结构示意图。
[0012]附图标记说明:底座1，横向导轨2，纵向导轨座3，滑动工作台4，立柱5，支撑架6，升降导轨7，硅片储存盒8，固定架8-1，盒体8-2，隔条8-3，支撑架9，传感器固定座10，提手11，垫脚12。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0014]参照附图:本实施例中硅片传送测量装置，包括底座1，底座1上安装有横向导轨2，横向导轨2上安装有纵向导轨座3，底座1上安装有横向推拉纵向导轨3的丝杆和丝杆电机，纵向导轨座3上安装有滑动工作台4及纵向推拉滑动工作台4的丝杆和丝杆电机，滑动工作台4上固定有立柱5;底座1的左右两端分别支撑架6，支撑架6上安装有升降导轨7，升降导轨7上安装有硅片储存盒8，支撑架6上安装有升降硅片储存盒8的丝杆和丝杆电机，硅片储存盒8包括安装在升降导轨7上的固定架8-1，固定架8-1上固定有盒体8-2，盒体8-2的底面和内侧面为敞口结构，盒体8-2的内壁上设有上下间隔设置的隔条8-3;底座1的侧边安装有支撑架9，支撑架9上安装有与立柱5顶面高度相对应的传感器固定座10。底座1的内外侧边固定有提手11。底座1的底部安装有垫脚12。
[0015]其中硅片13放在左端的硅片储存盒8内，横向导轨2带动滑动工作台4移动，将纵向导轨座3上的四根立柱5移至存左端的硅片储存盒8下方，硅片储存盒8在上下升降导轨7的作用下下降，硅片13落在四根立柱5上，然后由横向导轨2带出并移至传感器固定座10，硅片传感器通过电容传感器，测出第一道厚度值，然后再移动纵向导轨座3，测出第二道厚度值，再移动纵向导轨座3，测出第三道厚度值，测完后，由横向导轨2将硅片13带至右边的硅片储存盒8，硅片储存盒8上升收齐硅片。
[0016]虽然本实用新型已通过参考优选的实施例进行了图示和描述，但是，本专业普通技术人员应当了解，在权利要求书的范围内，可作形式和细节上的各种各样变化。
【主权项】
1.一种硅片传送测量装置，包括底座(1)，其特征是:所述底座(1)上安装有横向导轨(2)，横向导轨(2)上安装有纵向导轨座(3)，底座(1)上安装有横向推拉纵向导轨(3)的丝杆和丝杆电机，纵向导轨座(3)上安装有滑动工作台(4)及纵向推拉滑动工作台(4)的丝杆和丝杆电机，滑动工作台(4)上固定有立柱(5);所述底座(1)的左右两端分别支撑架(6)，支撑架(6)上安装有升降导轨(7)，升降导轨(7)上安装有硅片储存盒(8)，所述支撑架(6)上安装有升降硅片储存盒(8)的丝杆和丝杆电机，硅片储存盒(8)包括安装在升降导轨(7)上的固定架(8-1)，固定架(8-1)上固定有盒体(8-2)，盒体(8-2)的底面和内侧面为敞口结构，盒体(8-2)的内壁上设有上下间隔设置的隔条(8-3);所述底座(1)的侧边安装有支撑架(9 )，支撑架(9)上安装有与立柱(5)顶面高度相对应的传感器固定座(10)。2.根据权利要求1所述的硅片传送测量装置，其特征是:所述底座(1)的内外侧边固定有提手(11)。3.根据权利要求1所述的硅片传送测量装置，其特征是:所述底座(1)的底部安装有垫脚(12)。
【专利摘要】一种硅片传送测量装置，包括底座，底座上安装有横向导轨，横向导轨上安装有纵向导轨座，底座上安装有横向推拉纵向导轨的丝杆和丝杆电机，纵向导轨座上安装有滑动工作台及纵向推拉滑动工作台的丝杆和丝杆电机，滑动工作台上固定有立柱；底座的左右两端分别支撑架，支撑架上安装有升降导轨，升降导轨上安装有硅片储存盒，支撑架上安装有升降硅片储存盒的丝杆和丝杆电机，硅片储存盒包括安装在升降导轨上的固定架，固定架上固定有盒体，盒体的底面和内侧面为敞口结构，盒体的内壁上设有上下间隔设置的隔条；底座的侧边安装有支撑架，支撑架上安装有与立柱顶面高度相对应的传感器固定座。
【IPC分类】G01B21/08
【公开号】CN205102812
【申请号】CN201520945411
【发明人】郑博文
【申请人】台州市计量技术研究院
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年11月24日