一种硅料重掺测试笔的制作方法

文档序号:10822968阅读:449来源:国知局
一种硅料重掺测试笔的制作方法
【专利摘要】一种硅料重掺测试笔,包括笔管、电源和拨动开关,笔管内设有电路板、蜂鸣器和LED指示灯,笔管的端部设置两根探针,分别为第一探针和第二探针,电路板上设置有场效应管,3个电阻,场效应管的G极引脚分别与第一探针、3个电阻B脚相连,3个电阻A脚通过拨动开关分别与场效应管的自偏压电阻的A脚相连,自偏压电阻的B脚与场效应管的S极引脚相连,场效应管的D极引脚与LED指示灯的阴极相连,LED的阳极分别与第二探针及蜂鸣器相连,电源的正负极分别与拨动开关和蜂鸣器电性连接;本实用新型可以分辨出硅料电阻率的分布区间,并可以通过拨动开关选择到相应的区域,从而较为精确的测试出硅料的电阻率;达到分选合格硅料的目的。
【专利说明】
一种硅料重掺测试笔
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体测试技术领域,特别涉及一种硅料重掺测试笔。
【背景技术】
[0002]硅在掺入磷或硼后具有导电性,掺入杂质越多,杂质浓度越高,导电性越强,单位长度的电阻就越低;以杂质硼掺为例,当掺入硅晶体的浓度达到3.20644E+16atmOS/cm2时,则掺杂后的电阻率约为0.5 Ω /cm;当掺入硅晶体的浓度达到2.76883E+17atmos/cm2时则掺杂后的电阻率约为0.1 Ω/cm。由此可以推理掺杂的硅料在一定程度上具有一定的电阻值;而普通的测试笔,只能测试单一区间内硅料电阻率的大小,因此硅料的利用中,通常需对硅料进行测定分选,测试不同区间硅料的电阻率需要采用不同规格的测试笔;所以急需设计一种结构简单、携带方便并能够精确测量不同电阻率的测试笔。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的是针对现有技术的不足,提供了一种硅料重掺测试笔,其结构简单,解决了现有测试笔不能精确测量不同区间内硅料电阻率的大小,且一笔多用,测试效率高。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:一种硅料重掺测试笔,包括笔管、电源和拨动开关,笔管内设有电路板、蜂鸣器和LED指示灯,笔管的端部设置两根探针,分别为第一探针和第二探针,其特征在于:所述电路板上设置有场效应管、电阻R2、电阻R3和电阻R4,场效应管的G极引脚分别与第一探针、电阻R2、电阻R3和电阻R4的B脚相连,电阻R2、电阻R3、电阻R4的A脚通过拨动开关分别与场效应管的自偏压电阻Rl的A脚相连,自偏压电阻Rl的B脚与场效应管的S极引脚相连,场效应管的D极引脚与LED指示灯的阴极相连,LED的阳极分别与第二探针及蜂鸣器相连,电源的正负极分别与拨动开关和蜂鸣器电性连接。
[0005]所述的第一探针和第二探针之间的间距为2.5_。
[0006]本实用新型结构简单,可以分辨出硅料电阻率的分布区间,并可以通过拨动开关选择到相应的区域,从而较为精确的测试出硅料的电阻率;达到分选合格硅料的目的,且一笔多用,测试效率高,便于携带,同时降低了测试笔的使用成本。
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型的结构不意图;
[0008]图2为本实用新型的电路原理图。图中:
[0009]1.笔管,2.蜂鸣器,3.电源,4.电路板,5.拨动开关,6.LED指示灯,7.第一探针,8.第二探针,9.场效应管。
【具体实施方式】
[0010]下面通过具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。[0011 ]如图1-2所示:一种硅料重掺测试笔,包括笔管1、电源3和拨动开关5,笔管I内设有电路板4、蜂鸣器2和LED指示灯6,笔管I的端部设置两根探针,分别为第一探针7和第二探针8,所述电路板4上设置有场效应管9、电阻R2、电阻R3和电阻R4,场效应管9的G极引脚分别与第一探针7、电阻R2、电阻R3和电阻R4的B脚相连,电阻R2、电阻R3、电阻R4的A脚通过拨动开关5分别与场效应管9的自偏压电阻Rl的A脚相连,自偏压电阻Rl的B脚与场效应管9的S极引脚相连,场效应管9的D极引脚与LED指示灯6的阴极相连,LED指示灯6的阳极分别与第二探针8及蜂鸣器2相连,电源3的正负极分别与拨动开关5和蜂鸣器2电性连接。
[0012]所述的第一探针7和第二探针8之间的间距为2.5mm。
[0013]本实用新型通过第一探针7各第二探针8与硅料表面接触,两探针之间的硅料表面可以等效为一个电阻R,并与电路中的固定电阻R2、电阻R3和电阻R4组成分压电路;电阻R2、电阻R3、电阻R4通过三位拨动开关5与电阻R连接,当探针与不同电阻率的硅料接触时它的值会不断变化,加在场效应管9的偏置电压也会发生变化,从而控制场效应管9的导通与截止,进而电流通过蜂鸣器2与LED指示灯6,并产生相应的声光报警。
[0014]工作中,在检测一块不知道电阻率大小的硅料时,可先现将拨动开关5拨动至0.5Ω/cm的档位上,如果出现声光报警,即蜂鸣器2发出警报声或LED指示灯6发亮,说明说明该块硅料的电阻率不适于0.5 Ω/cm的档位,并将其拨动至0.1 Ω/cm的档位上,如果没有出现声光报警,说明其电阻值在0.1-0.5 Ω/cm之间,此时便可以进一步较为精确的测试出硅料的电阻值;如果出现声光报警,说明该块硅料的电阻率低于0.1 Ω/cm,此时可以将拨动开关5拨动至0.01 Ω/cm的档位上,继续测试;本实用新型可以分辨出硅料电阻率的分布区间,并可以通过拨动开关5选择到相应的区域,从而较为精确的测试出硅料的电阻率。
[0015]查询场效应管2N7000的参数得知其工作在开关状态下的导通电压VGS典型值为
2.1v,据此可根据掺杂硅料电阻率为0.5 Ω /cm、0.1 Ω /cm、0.01 Ω /cm时的电阻值计算出相应的町、1?2、1?、1?4的值分别为82 Ω /22 Ω /82 Ω /360 Ω ;本实用新型结构简单,可以分辨出硅料电阻率的分布区间,并可以通过拨动开关5选择到相应的区域,从而较为精确的测试出硅料的电阻率;达到分选合格硅料的目的,且一笔多用,测试效率高,便于携带,同时降低了测试笔的使用成本。
[0016]说明书所述技术特征外,均为本专业技术人员已知技术。
【主权项】
1.一种硅料重掺测试笔,包括笔管(I)、电源(3)和拨动开关(5),笔管(I)内设有电路板(4)、蜂鸣器(2)和LED指示灯(6),笔管(I)的端部设置两根探针,分别为第一探针(7)和第二探针(8),其特征在于:所述电路板(4)上设置有场效应管(9)、电阻R2、电阻R3和电阻R4,场效应管(9)的G极引脚分别与第一探针(7)、电阻R2、电阻R3和电阻R4的B脚相连,电阻R2、电阻R3、电阻R4的A脚通过拨动开关(5)分别与场效应管(9)的自偏压电阻Rl的A脚相连,自偏压电阻Rl的B脚与场效应管(9)的S极引脚相连,场效应管(9)的D极引脚与LED指示灯(6)的阴极相连,LED指示灯(6)的阳极分别与第二探针(8)及蜂鸣器(2)相连,电源(3)的正负极分别与拨动开关(5)和蜂鸣器(2)电性连接。2.根据权利要求1所述的硅料重掺测试笔,其特征在于:所述的第一探针(7)和第二探针(8)之间的间距为2.5mm。
【文档编号】G01N27/04GK205506740SQ201620255756
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年3月30日
【发明人】毛维东, 石坚, 王振
【申请人】山东辰宇稀有材料科技有限公司
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