技术总结
本发明提供了工艺控制方法及系统，工艺包括父过程和子过程，父过程和子过程对应的父配方和子配方均存储于下位机中；工艺控制方法包括以下步骤：S1，下位机根据上位机发送的指令解析父配方，以获取父执行步骤顺序以及每个父执行步骤所对应的子过程的标识和循环次数；S2，下位机按照父执行步骤顺序一一执行如下步骤：根据获取到的标识读取相应的子配方，并根据获取到的循环次数执行该子配方。本发明提供的工艺控制方法及系统，不仅可更方便、更有效维护子配方和父配方，因而可降低信息丢失的可能性，而且执行循环工艺更有效，因而可提高执行和维护效率。
技术研发人员：李娟娟
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201510924155
技术研发日：2015.12.14
技术公布日：2017.06.20