专利名称：透明电极元件、信息输入设备和电子装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及透明电极元件、信息输入设备和电子装置，更具体地涉及具有图案化电极区域的透明电极元件、使用透明元件的信息输入设备和在显示面板中设置透明电极元件的电子装置。
背景技术：
设置在显示面板的显示表面一侧上的信息输入设备(所谓的触摸板)具有沿X方向延伸的电极图案和沿Y方向延伸的电极图案以绝缘状态布置在透明衬底上的构造。使用由金属氧化物(例如，氧化铟锡(ITO))制成的透明导电膜或中间集成有金属纳米线的透明导电膜来形成电极图案。在具有上述构造的信息输入设备中，当使用透明导电膜形成的电极图案的电阻值设置为低时，需要给定的膜厚度。为此，因为当从外侧观察信息输入设备是容易观察到电极图案，所以在具有信息输入设备的显示面板上显示的显示图案的可见性会下降。因此，提出了这样的构造设置在电极图案之间处于浮动状态的伪电极，以抑制电极图案的对比度，从而不会注意到存在电极图案(例如，参见日本未审查专利申请公开No. 2008-129708和日本未审查专利申请公开No. 2010-2958)。
发明内容
但是，即使在设置有上述伪电极的信息输入设备中，也很难完全不注意到电极图案，因为去除了透明导电膜的区域沿着电极图案连续地形成于电极图案和伪电极之间。
期望提供能够将由透明导电膜形成的电极区域的可见性减小到限值的透明电极元件和信息输入设备。此外，期望提供能够在显示面板的显示表面一侧上对由透明导电膜形成的电极区域进行图案化的构造中实现高分辨率显示的电子装置。根据本发明的实施例，提供透明电极元件，其包括基部衬底；形成于基部衬底上的透明导电膜；使用透明导电膜形成的电极区域。该透明电极元件还包括绝缘区域，该绝缘区域作为与电极区域相邻的区域，在绝缘区域中上述透明导电膜被在随机方向上延伸的沟槽图案分隔成独立岛状。根据本发明的其他实施例，提供信息输入设备和电子装置，该信息输入设备包括具有上述构造的透明电极元件，在该电子装置中具有上述构造的透明电极元件设置在显示面板的显不表面一侧上。通过在与电极区域相邻的绝缘区域中设置被分隔成独立岛状的透明导电膜，将电极区域和绝缘区域的对比度抑制为小。具体地，通过在随机方向上延伸的沟槽图案来分隔绝缘区域中的透明导电膜。因此，可以防止产生云纹，在电极区域和绝缘区域之间的边界中沿着电极区域形成连续沟槽图案，在视觉上注意不到电极区域的轮廓。此外，因为通过沟槽图案的宽度在宽广范围中调节透明导电膜在绝缘区域中的覆盖率，所以可以形成具有高覆盖率的透明导电膜的绝缘区域。因此，在电极区域和绝缘区域中可以使得对比度小。
根据本发明的实施例，在包括使用透明导电膜形成的电极区域的透明电极元件和信息输入设备中，通过将电极区域和绝缘区域的对比度抑制为小，可以将电极区域的可见性降低到限值。此外，在使用透明导电膜所形成的电极区域被图案化地形成于显示面板的显示表面一侧上的电子设备中，防止显示面板的显示特性受到区域的影响，从而实现高分
辨率显示。
图I是示出根据第一实施例的透明电极元件的构造的俯视图；
图2A和2B分别是示出根据第一实施例的透明电极元件的构造中的主要单元的放大俯视图和截面图；图3A和3B是示出根据第二实施例的透明电极元件的构造中的主要单元的放大俯视图和截面图；图4是用于描述产生随机图案的算法的示意图(第一部分)；图5是用于描述产生随机图案的算法的流程图(第一部分)；图6是用于描述产生随机图案的算法的示意图(第二部分)；图7是用于描述产生随机图案的算法的流程图(第二部分)；图8是用于描述产生随机图案的算法的示意图(第三部分)；图9A和9B是示出产生随机图案的方法的图像的示意图；图IOA和IOB是示出在根据产生的图案所产生的电极区域中的孔形图案的分布的示图；图IlA至IlC是示出在根据产生的图案在绝缘区域中产生沟槽图案的顺序的俯视图；图12是示出沟槽图案的宽度的变化的俯视图；图13A和13B是示出根据本发明的实施例在制造透明电极元件的第一方法中使用的原盘的构造的示图；图14A和14B是示出根据本发明的实施例使用原盘来制造透明电极元件的第一方法的步骤的截面图；图15A至I 是示出根据本发明的实施例制造透明电极元件的第二方法的截面图；图16A至16D是本发明的实施例的透明电极元件的修改形式I至4的截面图；图17是示出根据本发明的实施例的包括透明电极元件的信息输入设备的构造的示例的示图；图18是示出包括信息输入装置的显示装置(电子装置)的构造的透视图；图19是示出包括显示单元的电视机(电子装置)的透视图；图20A和20B是示出包括显示单元的数码相机(电子装置)的透视图；图21是示出包括显示单元的笔记本型个人计算机(电子装置)的透视图；图22是示出包括显示单元的摄像机(电子装置)的透视图；图23是示出包括显示单元的便携终端装置(电子装置)的正视图；以及图24是示出根据示例I至3的电极区域和绝缘区域的图案的俯视图。
具体实施例方式在下文中，将参考附图以下列顺序描述本发明的实施例。I.第一实施例(在电极区域和绝缘区域中形成随机图案的透明电极元件)2.第二实施例(只在绝缘区域中形成随机图案的透明电极元件)3.产生透明电极元件的图案的方法4.制造透明电极元件的第一方法(使用原盘的方法)5.制造透明电极元件的第二方法(应用图案蚀刻的方法)
6.透明电极元件的修改形式I至47.第三实施例(使用透明电极元件的信息输入设备)8.第四实施例(使用信息输入设备的显示装置)9.第五实施例(电子装置的应用)I.第一实施例在电极区域和绝缘区域中形成随机图案的透明电极元件图I是示出根据第一实施例的透明电极元件的构造的俯视图。图2A是示出图I的放大部分IIA的放大俯视图，图2B是沿着放大俯视图的线IIB-IIB所取得的截面图。例如，图中所示的透明电极元件I是适当地设置在显示面板的显示表面一侧上的透明电极元件。透明电极元件I具有下列构造。S卩，透明电极元件I包括基部衬底11和设置在基部衬底11上的透明导电膜13。此外，透明电极元件I包括使用透明导电膜13形成的多个电极区域15和设置在电极区域15附近的绝缘区域17。透明导电膜13也设置在绝缘区域17中。在下文中，将详细描述每个构件和区域。基部衬底11基部衬底11由例如透明材料(例如玻璃或塑料)形成。玻璃的示例包括钠钙玻璃、铅玻璃、硬质玻璃、石英玻璃和液晶玻璃。塑料的示例包括三醋酸纤维素(TAC)、聚酯(TPEE)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚酰胺(PA)、芳纶、聚乙烯(P)、聚丙烯酸酯、聚醚砜、聚砜、聚丙烯(PP)、双乙酰纤维素、聚氯乙烯、丙烯酸树脂(PMMA)、聚碳酸酯(PC)、环氧树脂、脲醛树脂、尿烷树脂、三聚氰胺树脂、环烯烃聚合物(C0P)、降冰片烯基热塑性树脂。由玻璃制成的基部衬底11的厚度优选在20μπι到IOmm的范围内，但不限于该范围。由塑料制成的基部衬底11的厚度优选在20 μ m到500 μ m的范围内，但不限于该范围。透明导电膜13透明导电膜13的材料的示例包括金属氧化物，例如，氧化铟锡(ITO)、氧化锌、氧化铟、掺锑氧化锡、掺氟氧化锡、掺铝氧化锌、掺镓氧化锌、掺硅氧化锌、氧化锌-氧化锡类、氧化铟-氧化锡类、和氧化锌-氧化铟-氧化镁类。此外，透明导电膜13的材料的示例包括金属，例如，铜、银、金、钼、钮、镍、锡、钴、错、铱、铁、钌、锇、猛、钥、鹤、银、钽、钛、秘、铺、铅、和它们的合金。对于透明导电膜13的材料，可以使用碳纳米管分散在粘结材料中的复合材料。可替换地，可以使用在使用金属纳米线或通过将有色化合物吸收到金属纳米线的表面上防止光的漫反射的材料。可替换地，可以使用由取代聚苯胺、非取代聚苯胺、聚吡咯、聚噻吩、或从这些材料中选出的一种或两种所形成的聚合物(共聚物)的导电聚合物。可以使用组合这些材料中的两种或多种所形成的材料。形成透明导电膜13的方法的示例包括PVD方法(例如溅射方法、真空沉积方法或离子镀方法)、CVD方法、涂层方法和印刷方法。适当地选择透明导电膜13的厚度，以使得在图案化(透明导电膜形成于基部衬底11的整个表面上的状态)之前表面电阻等于或小于 1000 Ω / □。
电极区域15电极区域15构造为在透明导电膜13中随机地形成多个孔形图案15a的区域。即，使用透明导电膜13形成电极区域15，具有随机尺寸的孔形图案15a随机地布置为随机图案。这里，例如，具有各种直径的圆形孔形图案15a独立地布置在透明导电膜13中，从而确保整体上在每个电极区域15中的导电率。在电极区域15中，通过每个孔形图案15a的直径的范围来调节透明导电膜13的覆盖率。对于透明导电膜13的每种材料和每个厚度的膜，覆盖率设置为在电极区域15中获得所需导电率的程度。后面将在“产生随机图案的方法”项目中描述通过每个孔形图案15a的直径的范围来调节覆盖率。在电极区域15中形成的孔形图案15a的形状不限于圆形。可以将从例如圆形、椭圆形、通过部分地切割圆形所获得的形状、通过部分地切割椭圆形所获得的形状、多边形、斜切多边形和不定形状组成的群组中选出的一种或两种形状用作孔形图案15a的形状，只要孔形图案15a的形状在视觉上不显著并且是非周期性的。
而将透明导电膜13形成为带状图案，布置由带状图案分隔开的孔形图案15a。在这种情况下，电极区域15处于由透明导电膜13形成的带状图案在随机方向上延伸的状态。在随机方向上延伸的带状图案也是随机图案。但是，当每个孔形图案15a具有大尺寸时，则形状可以在视觉上注意到。因此，期望避免在电极区域15中存在这样的形式，即，存在孔形图案15a和透明导电膜13的一部分在任意方向上从任意点连续100 μ m或以上的多个形状。例如，当孔形图案15a具有圆形形状时，直径优选小于100 μ m。绝缘区域17绝缘区域17是设置在电极区域15附近的区域。绝缘区域17嵌入在电极区域15之间，并且设置为使电极区域15彼此绝缘。通过在随机方向上延伸的沟槽图案17a，绝缘区域17中形成的透明导电膜13分隔成独立岛状。即，使用透明导电膜13形成绝缘区域17，通过由沿随机方向延伸的沟槽图案17a分隔透明导电膜13所形成的岛状图案被设置为随机图案。通过沿随机方向延伸的沟槽图案17a，将岛状图案(即，随机图案)分隔成随机多边形。沿随机方向延伸的沟槽图案17a本身是随机图案。在绝缘区域17中形成的各个沟槽图案17a在绝缘区域17中沿随机方向延伸，并且形成为使得与延伸方向垂直的宽度(称作线宽度)彼此相同。在绝缘区域17中，通过每个沟槽图案17a的线宽度来调节透明导电膜13的覆盖率。该覆盖率设置到与透明导电膜13在电极区域15中的覆盖率相同的程度。这里，相同程度指的是在电极区域15和绝缘区域17的每个间距下、不会注意到区域15和17的程度。后面将在“产生随机图案”项目中描述通过沟槽图案17a的线宽度调节覆盖率。但是，当由沟槽图案17a分隔开的岛状形状的尺寸太大时，透明导电膜13的形状可在视觉上注意到。因此，期望避免在电极区域15中存在这样的形式，S卩，存在透明导电膜13的一部分在任意方法上从任意点连续IOOym或以上的多个形状。在电极区域15和绝缘区域17之间的边界上，设置在这些区域15和17之间的透明导电膜13被随机地设置。第一实施例的优点在具有上述构造的透明电极元件I中，通过在形成电极区域15的透明导电膜13中随机地形成多个孔形图案15a，在电极区域15中抑制透明导电膜13的覆盖率。另一方面，分隔成岛状形状的透明导电膜13被设置在与电极区域15相邻的绝缘区域17中。因此，使得在电极区域15和绝缘区域17之间透明导电膜13的覆盖率的差别为小。因此，因为可以减小区域15和17之间的对比度，所以可以减小电极区域15的图案的可见性。具体地，在电极区域15中的透明导电膜13中随机地形成孔形图案15a。此外，通过沿随机方向延伸的沟槽图案17a来分隔绝缘区域17中的透明导电膜13。因此，防止产生云纹(moire)。此外，在绝缘区域17和电极区域15之间的边界中不沿着电极区域15形成连续的沟槽图案，注意不到电极区域的轮廓。如后面在“3.产生透明电极元件的图案的方法”项目中所述，通过沟槽图案17a的宽度，可以在宽广范围中调节透明导电膜13在绝缘区域17中的覆盖率。因此，可以将电极区域15中的薄层电阻抑制为小。因此，即使在透明导电膜13的厚度设置为厚时，绝缘区域17可以经构造，以使得透明导电膜13的覆盖率高。因此，可以有效地减小电极区域15的对 t 匕 。2.第二实施例只在绝缘区域中形成随机图案的透明电极元件图3A和3B是示出根据第二实施例的透明电极元件的构造的放大视图。图3A是示出与图I的放大部分IIA相对应的部分的放大俯视图。图3B是沿着图3A的放大俯视图的线IIIB-IIIB所取得的截面图。图中所示的透明电极元件2与参考图2A和2B所述的透明电极元件I的不同之处在于电极区域15'由具有实体膜形状的透明导电膜13形成。其余构造相同。S卩，在电极区域15'中，透明导电膜13以实体膜状态形成于电极区域15'中，因此透明导电膜13的覆盖率是100%。在电极区域15'和绝缘区域17之间的边界中，设置 在这些区域15'和17之间的透明导电膜13被随机地设置。在这种情况下，绝缘区域17的构造与第一实施例的相同，但是透明导电膜13在绝缘区域17中的覆盖率的设置范围比第一实施例大。因此，用于调节覆盖率的沟槽图案17a的线宽度的调节范围比第一实施例小。第二实施例的优点即使在具有上述构造的透明电极元件2中，通过沿随机方向延伸的沟槽图案17a分隔成岛状形状的透明导电膜13被设置在与电极区域15'相邻的绝缘区域17中。因此，如第一实施例一样，防止产生云纹，注意不到电极区域15'的轮廓，并且将电极区域15'的薄层电阻抑制为小。因此，即使在透明导电膜13的厚度设置为厚时，绝缘区域17可以经构造，以使得透明导电膜13的覆盖率高。因此，可以有效地减小电极区域15'的对比度。3.产生透明电极元件的图案的方法然后，将分别描述产生第一实施例中所述的透明电极元件I中的电极区域的图案的方法、和产生在第一和第二实施例中所述的透明电极元件I和2中的绝缘区域的图案的方法。这里所述的产生图案的方法仅仅是示例，本发明的实施例不限于产生透明电极元件 中的图案的方法。产生随机图案的方法。首先，在圆形的半径在设置范围内随机改变时，通过计算圆形的中心坐标并配置圆形以使得相邻的圆形常邻接，来产生与随机配置特性和高密度填充特性都相容的随机图案。在这种情况下，可以通过下列算法(I)和(2)以小计算量获得均匀且高密度地随机配置的随机图案。(I)具有“在给定范围内的随机直径”的圆形沿X轴排列而相邻。必要参数如下Xmax :在产生圆形的区域中X坐标的最大值；Yw :当将圆形配置在X轴上时Y坐标与圆形的中心相距的最大值；Rmin :产生的圆形的最小半径；
Rmax :产生的圆形的最大半径Rnd :在O. O至I. O范围内获得的随机值；和Pn :由X坐标值xn、Y坐标值yn和半径rn所限定的圆形。图4是描述上述算法(I)的示意图。如图4所示,通过在X坐标上在O. O至Rmin的范围内随机地确定Y坐标的值、并在从Rmin至Rmax的范围内随机地确定半径来获得圆形，通过重复地布置这些圆形将这些圆形随机地布置在一条线上，以使得这些圆形与现有圆形相邻。在下文中，将参考图5的流程图来描述算法(I)。首先，在步骤SI中，设置在算法(I)中所述的必要参数。然后，在步骤S2中，如下设置圆形 PO (x0，yO, r0)x0 = O. O ；yO = O. O ；以及r0 = Rmin+ (Rmax-Rmin) X Rnd0然后，在步骤S2'中，设置“η= I”。然后，在步骤S3中，通过下列公式确定圆形Pn (xn, yn, rn)。rn = Rmin+ (Rmax-Rmin) X Rnd0yn = YwXRnd0xn = xn_l+(rn-rn-1)X cos(asin(yn-yn-1)/(rn-rn-1))。然后，在步骤S4中，判定表达式“Xn >Xmax”是否成立。当在步骤S4中判定为表达式“Xn > Xmax”成立时，过程结束。当在步骤S4中判定为表达式“Xn > Xmax”不成立时，过程前进到步骤S5。在步骤S5中,存储圆形Pn(xn,yn,rn)。然后,在步骤S6中,η的值增力口，过程前进到步骤S3。(2)确定“具有随机半径的圆形”，这些圆形从下侧顺序地堆叠以与两个现有圆形相邻而不与其他圆形相邻。必要参数如下Ymax :在产生圆形的区域中Y坐标的最大值；Rmin :产生的圆 形的最小半径；Rmax :产生的圆形的最大半径；Rfill :被设置用以提高填充率的辅助圆形的最小半径；Rnd :在O. O至I. O范围内获得的随机值；和Pn :由X坐标值xn、Y坐标值yn和半径rn所限定的圆形。图6是描述上述算法(2)的示意图。如图6所示，根据在算法(I)中确定并在X轴上布置成一条线的圆形(由虚线表示)，在Rmin至Rmax的范围内随机地确定具有随机半径的圆形，这些圆形被重复地布置以与来自具有更小Y坐标的圆形的其他圆形邻接。Rfill设置为比Rmin小，只有当在确定的圆形中存在没有被填充的空隙时，空隙被填充以提高填充率。当没有使用比Rmin小的圆形时，设置表达式“Rfill = Rmin”。在下文中，将参考图7的流程图描述算法(2)。首先，在步骤Sll中，设置算法(2)中所述的必要参数。然后，在步骤S12中，从在上述算法(I)中产生的圆形PO至圆形Pn中获得Y坐标值yi最小的圆形Pi。然后，在步骤S13中,判定表达式“yi < Ymax”是否成立。当在步骤S13中判定表达式“yi < Ymax”不成立时(否)，过程结束。另一方面，当在步骤S13中判定表达式“yi< Ymax”成立时(是)，在步骤S14中将待增加的圆形Pk的半径rk设置成“rk = Rmin+ (Rmax-Rmin) XRnd”。然后，在步骤S15中，除了圆形Pi之外，在圆形Pi附近获得Y坐标值yi最小的圆形Pj。然后，在步骤S16中，判定是否存在最小圆形Pi。当在步骤S16中判定不存在最小圆形Pi时，在步骤S17中使后续圆形Pi无效。另一方面，当在步骤S16中判定存在最小圆形Pi时，在步骤S18中获得与圆形Pi和Pj相邻的具有半径rk的圆形Pk。图8是示出在步骤S18中当圆形配置成与两个相邻圆形邻接时计算具有任意半径的圆形的坐标的方法。然后，在步骤S19中，判定是否存在于圆形Pi和Pj邻接的具有半径rk的圆形Pk。当在步骤S19中判定不存在圆形Pk时，在步骤S20中排除后续圆形Pi和Pj的组合。另一方面，当在步骤S19中判定存在圆形Pk时，在步骤S21中判定从圆形PO至圆形Pn中是否存在与圆形Pk重叠的圆形。当在步骤S21中判定不存在与圆形Pk重叠的圆形时，在步骤S24中存储圆形Pk(xk，yk，rk)。然后，在步骤S25中，η的值增加。在步骤S26中，设置表达式“Pn = Pk”。在步骤S27中，k的值增加，过程前进到步骤S12。另一方面，当在步骤S21中判定存在与圆形Pk重叠的圆形时，在步骤S22中判定当使得圆形Pk的半径rk在等于或大于Rfill的范围内变小时、是否可以避免重叠。当在步骤S22中判定该重叠不可避免时，在步骤S20中排除后续圆形Pi和Pj的组合。另一方面，当在步骤S22中判定该重叠可避免时，将半径rk设置成可以避免重叠的最大值。然后，在步骤324中，存储圆形？1^“1^，71^410。然后，在步骤S25中，η的值增加。在步骤S26中，设置表达式“Pn = Pk”。在步骤S27中，k的值增加，过程前进到步骤S12。图9A是示出产生随机图案的方法的图像的示意图。图9B是示出产生圆形的面积比为80%的随机图案的方法的示例的示图。如图9A所示，通过改变设置圆形半径的范围(Rmin至Rmax)并堆叠圆形，可以规则地产生高密度随机图案。
然后，在产生随机图案之后，根据随机图案，在电极区域和绝缘区域中分别产生孔形图案和沟槽图案。产生电极区域的图案的方法如图IOA所示，减小产生的随机图案的圆形的半径。此外，如图IOB所示，在产生的随机图案的圆形内部，绘制具有例如倒角方形图案的任意图形。以这种方式，产生孤立随机图案，通过将孤立随机图案设置成电极区域15中的孔形图案15a来获得图2A所示的电极区域15的随机图案。在产生的随机图案的圆形内部绘制的图形的示例包括圆形、椭圆形、多边形和不定形状。通过选择图形形状，可以改变图案的倾向或可以调节占有率(透明导电膜13的覆盖率)O产生绝缘区域的图案的方法如图IlA所示，直线绘制成将外圆周彼此正切相切的圆形的中心连接。以这种方式，如图IlB所示，通过在随机方向上延伸的线段形成多边形随机图案。然后，如图IlC所示，通过使多边形随机图案的线段变粗、将增粗线段设置为图2所示的绝缘区域17中的沟槽图案17a，来获得绝缘区域17的随机图案。如图12所示，沟槽图案17a可以改变为具有各种线宽度W。通过改变沟槽图案17a的线宽度W，可以在宽广范围内调节使用由沟槽图案17a分隔开的透明导电膜13所形成的绝缘区域17的覆盖率。下列表I示出对于产生为随机图案的圆形的半径r的范围(Rmin-Rmax)、绝缘区域17中透明导电膜13的覆盖率[% ]和沟槽图案17a的各个线宽度W的计算结果。表I
权利要求
1.ー种透明电极元件，其包括 基部衬底； 透明导电膜，其形成于所述基部衬底上； 使用所述透明导电膜形成的电极区域；和 绝缘区域，其作为与所述电极区域相邻的区域，在所述绝缘区域中所述透明导电膜被在随机方向上延伸的沟槽图案分隔成独立岛状。
2.根据权利要求I所述的透明电极元件，其中，在所述电极区域和所述绝缘区域之间的边界上，随机地设置范围在所述电极区域和所述绝缘区域之间的所述透明导电膜。
3.根据权利要求I所述的透明电极元件，其中，在所述绝缘区域中形成的所述沟槽图案具有相同的线宽度。
4.根据权利要求I所述的透明电极元件，其中，在形成所述电极区域的所述透明导电膜中随机地形成多个孔形图案。
5.根据权利要求4所述的透明电极元件，其中，在所述电极区域中，由所述透明导电膜形成的多个带状图案形成为在随机方向上延伸，所述孔形图案被所述带状图案分隔开。
6.根据权利要求I所述的透明电极元件，其中，所述基部衬底由透明材料形成。
7.—种信息输入设备,其包括 基部电极； 透明导电膜，其形成于所述基部电极上； 使用所述透明导电膜形成的多个电极区域；和 绝缘区域，其作为与所述多个电极区域相邻的区域，在所述绝缘区域中所述透明导电膜被在随机方向上延伸的沟槽图案分隔成独立岛状。
8.一种电子装置，其包括 显示面板； 透明导电膜，其设置在所述显示面板的显示表面侧； 使用所述透明导电膜形成的多个电极区域；和 绝缘区域，其作为与所述多个电极区域相邻的区域，在所述绝缘区域中所述透明导电膜被在随机方向上延伸的沟槽图案分隔成独立岛状。
全文摘要
本发明涉及透明电极元件、信息输入设备和电子装置。透明电极元件包括基部衬底；透明导电膜，其形成于基部衬底上；使用透明导电膜形成的电极区域；和绝缘区域，其作为与电极区域相邻的区域，在绝缘区域中透明导电膜被在随机方向上延伸的沟槽图案分隔成独立岛状。
文档编号G06F3/041GK102682665SQ20121005616
公开日2012年9月19日 申请日期2012年3月1日 优先权日2011年3月8日
发明者水野干久, 石渡正之, 高桥秀俊 申请人:索尼公司