透明电极、电子器件及有机电致发光元件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及透明电极、电子器件及有机电致发光元件，特别是设及兼备导电性和 透光性的透明电极、进而使用了该透明电极的电子器件及有机电致发光元件。
【背景技术】
[000引利用了有机材料的电致发光（electroluminescence下记为EL)的有机电致发 光元件（所谓有机化元件），为在数V~数十V左右的低电压下可发光的薄膜型的完全固 体元件，具有高亮度、高发光效率、薄型、轻量该样的许多的优异特征。因此，作为各种显示 器的背光、标牌、应急灯等的显示板、照明光源等的面发光体近年来备受瞩目。
[0003] 该样的有机电致发光元件为在2片电极间夹持了使用有机材料而构成了的发光 层的构成，发光层中产生的发光透过电极而取出到外部。因此，2片电极中的至少一者W透 明电极的形式构成。
[0004] 作为透明电极，一般使用氧化铜锡（Sn〇2-Iri2化;IndiumTin化ide;口0)等的氧化 物半导体系的材料，但也进行了层叠IT0和银来寻求低电阻化的研究（例如参照下述专利 文献1、2)。但是，由于IT0使用稀有金属的铜，因此材料成本高，另外为了降低电阻而需要 在成膜后在300°C左右进行退火处理。因此，提案有将电导率高的银等的金属材料进行了薄 膜化的构成、通过在银中混杂侣而W与银单独相比薄的膜厚来确保导电性的构成（例如参 照下述专利文献3)、进而通过形成在由银W外的金属构成的基底层上设有银薄膜层的层叠 结构来确保透光性的构成（例如参照下述专利文献4)。
[0005] 现有技术文献 [000引专利文献
[0007] 专利文献1 ;日本特开2002-15623号公报
[0008] 专利文献2 ;日本特开2006-164961号公报
[0009] 专利文献3 ;日本特开2009-151963号公报
[0010] 专利文献4 ;日本特开2008-171637号公报
【发明内容】
[0011] 发明要解决的课题
[0012] 但是，即使为使用电导率高的银、侣而构成了的透明电极，也难W谋求充分的导电 性和透光性的两者成立。
[001引因此，本发明的目的在于：提供兼备充分的导电性和透光性的透明电极、及通过使 用该透明电极而谋求了性能的提高的电子器件及有机电致发光元件。
[0014] 用于解决课题的手段
[0015] 用于达到该样的目的的本发明的透明电极，为如下的构成。具有含氮层，所述含氮 层使用含有氮原子、且将该氮原子所具有的非共有电子对中与芳香族性无关且未与金属配 位的非共有电子对数设为n、将分子量设为M的情况下的有效非共有电子对含有率[n/M]为 2.0X1(T3《 [n/M]的化合物而构成。另外，具有电极层，所述电极层W银（Ag)作为主要成 分、且含有侣（A1)、金（Au)、铜（In)、铜（化）、钮（Pd)、销（Pt)中的至少1种作为添加元素、 与所述含氮层邻接而设置。
[0016] 另外，本发明的电子器件的特征在于，具有上述构成的透明电极。电子器件例如为 有机电致发光元件。
[0017] 如上构成了的透明电极，为相对于使用含有氮原子的化合物而构成了的含氮层、 邻接而设有W银作为主要成分的电极层的构成。由此W银作为主要成分的电极层，通过与 构成含氮层的氮原子的相互作用，在邻接界面中的银的扩散距离减少而凝聚受到抑制。因 此，一般而言，通过核生长型（V〇lumer-Weber;VW型）的膜生长而容易孤立为岛状的银薄 膜，通过单层生长型（化ank-vanderMerwe;FM型）的膜生长而成膜。因此，得到虽然为薄 的膜厚但均匀的膜厚的电极层。
[0018] 另外，作为构成电极层的银对于含氮层的键合稳定性的指标，应用上述了的有效 非共有电子对含有率[n/M]，使用该值为2.0X1(T3《 [n/M]的化合物来构成含氮层。由此， 可与电极层邻接地设置可靠地得到如上所述的"抑制银的凝聚"效果的含氮层。该如后面 的实施例中详细地说明那样，由在该样的含氮层上形成虽然为6皿该样的极薄膜但可测定 薄层电阻的电极层而得到确认。
[0019] 而且，特别是W银（Ag)作为主要成分的电极层中，含有作为对于银的固溶元素的 侣（A1)、金（Au)、铜（In)、铜（化）、钮（Pd)、销（Pt)中的至少1种。由此，电极层由银（Ag) 和该些添加元素的固溶体构成，银（Ag)的迁移受到抑制。
[0020] 因此，在该透明电极中，可靠地得到通过为薄的膜厚而确保透光性、同时通过为均 匀的膜厚而确保了导电性的电极层，且通过迁移的发生得到抑制，可维持该样的透光性及 导电性。由此，可谋求使用了银的透明电极中的导电性的提高和透光性的提高的两者成立、 同时可靠性的提高。
[0021] 发明的效果
[0022] 如W上说明的那样，根据本发明，可谋求透明电极中的导电性的提高和透光性的 提高的两者成立、同时可靠性的提高，另外，可谋求使用了该透明电极的电子器件及有机电 致发光元件的性能的提高。
【附图说明】
[0023] 图1为表示本发明的透明电极的构成的剖面示意图。
[0024] 图2为表示用于说明氮原子的键合样式的TBAC和Ir(ppy)3的结构式的图。
[00巧]图3为表示化晚环的结构式和分子轨道的图。
[0026] 图4为表示化咯环的结构式和分子轨道的图。
[0027] 图5为表示咪挫环的结构式和分子轨道的图。
[0028] 图6为表示5 -巧咐环的结构式和分子轨道的图。
[0029] 图7为表示使用了本发明的透明电极的有机电致发光元件的第1例的剖面构成 图。
[0030] 图8为表示使用了本发明的透明电极的有机电致发光元件的第2例的剖面构成 图。
[0031] 图9为表示使用了本发明的透明电极的有机电致发光元件的第3例的剖面构成 图。
[0032] 图10为表示使用了本发明的透明电极的有机电致发光元件的第4例的剖面构成 图。
[0033] 图11为表示含氮层的有效非共有电子对含有率[n/M]和层叠于含氮层的电极层 的薄层电阻的关系的图表。
[0034] 图12为对实施例2中制作了的底部发光型的有机电致发光元件进行说明的剖面 构成图。
【具体实施方式】
[0035] W下，基于附图按照W下所示的顺序对本发明的实施方式进行说明。
[0036] 1.透明电极
[0037] 2.透明电极的用途
[003引3.有机电致发光元件的第1例（顶部发光型）
[0039] 4.有机电致发光元件的第2例（底部发光型）
[0040] 5.有机电致发光元件的第3例（两面发光型）
[0041] 6.有机电致发光元件的第4例（倒置构成）
[0042] 7.有机电致发光元件的用途 [004引 8.照明装置I
[0044] 9.照明装置II
[004引《1.透明电极》
[0046] 图1为表示本发明的实施方式的透明电极的构成的剖面示意图。如该图所示那 样，透明电极1为层叠了含氮层la、和与其邻接而设置的电极层化的2层结构，例如在基 材11的上部依次设有含氮层la、电极层化。其中，构成透明电极1中的电极部分的电极层 化为W银（Ag)作为主要成分而构成的层。另外，含氮层la的特征在于，使用含有氮原子 (脚的化合物而构成，特别是将与构成电极层lb的主材料即银稳定地键合的氮原子的非共 有电子对设为[有效非共有电子对]，使用该[有效非共有电子对]的含有率在规定范围的 化合物。进而，电极层化的特征在于，W银（Ag)作为主要成分，且含有侣（A1)、金（Au)、铜 (In)、铜（化）、钮（Pd)、销（Pt)中的至少1种作为添加元素。
[0047] 在W下，W设有该样的层叠结构的透明电极1的基材11、构成透明电极1的含氮层 la及电极层lb的顺序说明详细的构成。予W说明，所谓本发明的透明电极1的透明，是指 在波长550皿下的透光率为50 %W上。
[0048] < 基材 11 >
[0049] 形成本发明的透明电极1的基材11，可W举出例如玻璃、塑料等，但并不限定于该 些。另外，基材11可W为透明也可W为不透明。本发明的透明电极1在从基材11侧取出 光的电子器件中使用的情况下，基材11优选为透明的。作为可优选使用的透明的基材11， 可W举出玻璃、石英、透明树脂膜。特别优选的基材11为可对透明电极1及使用其而构成 的有机电致发光元件等的电子器件赋予提性的树脂膜。
[0050] 作为玻璃，例如可W举出石英玻璃、钢巧石英玻璃、铅玻璃、棚娃酸盐玻璃、无碱玻 璃等。从与含氮层la的密合性、耐久性、平滑性的观点考虑，可W根据需要对该些玻璃材料 的表面实施研磨等的物理处理、或形成由无机物或有机物构成的被膜、组合了该些被膜的 混合被膜。
[0051] 作为树脂膜，例如可W举出聚对苯二甲酸己二醇醋（PET)、聚蒙二甲酸己二醇醋 (阳脚等的聚醋、聚己締、聚丙締、赛踰汾、纤维素二己酸醋、纤维素S己酸醋（TAC)、纤维素 己酸醋了酸醋、纤维素己酸醋丙酸醋（CAP)、纤维素己酸醋邻苯二甲酸醋、纤维素硝酸醋等 的纤维素醋类或它们的衍生物、聚偏氯己締、聚己締醇、聚己締己締醇、间规聚苯己締、聚碳 酸醋、降冰片締树脂、聚甲基戊締、聚離酬、聚酷亚胺、聚離讽（PES)、聚苯硫離、聚讽类、聚離