二区域上。
[0084]在图4e中，显示在该第二区域上的该第一传输线16及该第二传输线26上堆栈第一抗蚀刻层71。在本实施例中，该第一抗蚀刻层以防蚀刻油墨材质为例说明。
[0085]在图4f中，显示在该电极层50进行蚀刻与去墨，以显现出在该第一区域上方的该第一导电层14的该第一感测单元142、该第三感测单元144、该第五感测单元146以及两个第一连接单元148，1410 (图未示)。
[0086]在图4g中，显示在该基材12、该电极层50与该第一导电层14的上方堆栈绝缘层18，再在该绝缘层18上堆栈第二导电层22。值得注意的是，本发明的实施例中，该第二导电层22采用感旋光性导电薄膜，以利后续的直接曝光显影。
[0087]在图4h中，显示在该第二导电层22的上方以具有第二图样群34的第二光罩36进行曝光，以在该第二导电层22形成该第二图样群34，该第二图样群34包含两个第二感测图样342，342’与两个第二连接图样344，344’(图未示)。
[0088]在图4i中，显示在该第二导电层22及该绝缘层18进行显影制程，以在该第二导电层22形成这些第二感测单元222，222’与这些第二连接单元228，228’(图未示)。
[0089]在图4j中，显示在该第二感测单元222与该第二传输线26间以及在该第二感测单元222’与该第二传输线26’间分别与导电连接垫24，24’相连接，用以形成该第三通道CH3及该第四通道CH4。
[0090]综上，就制程步骤上来说，本发明一实施例的触控面板制作方法包括以下步骤:
[0091]步骤S10，在区分为第一区域及第二区域的基材的上方依序堆栈第一导电层、电极层。
[0092]步骤S20，进行第一次图案化制程。其分别为:
[0093]在该电极层上方堆栈第一光阻层；
[0094]在该第一光阻层的上方以具有第一图样群的第一光罩进行曝光显影,使该第一光阻层形成该第一轴向触控感测组、该第一传输线组及该第二传输线组的图样群。即，形成第一感测单元、第三感测单元、第一连接单元、第一传输线及第二传输线的图样群；
[0095]进行蚀刻，以借由这些图样群蚀刻该电极层及该第一导电层，以形成该第一传输线组及该第二传输线组，即，先进行整体性蚀刻，后续再完成该第一轴向触控感测组；
[0096]在该第二区域的该基材及该电极层的上方堆栈抗蚀刻层；及
[0097]进行蚀刻，以去除该第一区域的该电极层，进而显现出在该第一区域上方的该第一导电层的该第一感测单元、该第三感测单元以及该第一连接单元而形成该第一轴向触控感测组。
[0098]步骤S30，在该第一区域的该基材的上方及在该第一轴向触控感测组的上方堆栈绝缘层。
[0099]步骤S40，在该绝缘层的上方堆栈第二导电层。
[0100]步骤S50，进行第二次图案化制程。其为:在该第二导电层的上方以具有该第二轴向触控感测组的图样群的第二光罩进行曝光显影，以使该第二导电层形成位于该第一区域的第二轴向触控感测组，即，形成第二感测单元、第四感测单元与第二连接单元，其中该第二感测单元、该第四感测单元与该第二连接单元以第二轴方向进行排列。
[0101]步骤S60，在部分的该第二轴向触控感测组及部分的该第二传输线组上形成使其互相电性连接的导电连接垫组。
[0102]综上所述，本发明借由上述触控面板结构上的特殊配置，让本发明的触控面板的制作方法得以在同一个流程步骤下将第一传输线组、第二传输线组、及位于该第二轴向触控感测组下方的第一轴向触控感测组一同形成于触控面板的基材上，如此即可让第一轴向触控感测组及第二轴向触控感测组与第一传输线组及第二传输线组间的位置关系变得精准，无须再处理对位程序，不但避免了可能发生的对位错误进而造成触控面板损坏的缺失夕卜，更可达到高准确性以及提升了触控面板的制作良率与效率。
[0103]本发明在上文中已以较佳实施例揭露，然而本领域技术人员应理解的是，该实施例仅用于描绘本发明，而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是，凡是与该实施例等效的变化与置换，均应视为涵盖于本发明的范畴内。因此，本发明的保护范围当以权利要求书所限定的内容为准。
【主权项】
1.一种触控面板，其特征在于，具有第一传输线组、与该第一传输线组电性连接的第一轴向触控感测组、第二传输线组、及与该第二传输线组电性连接的第二轴向触控感测组，该触控面板包含: 基材，具有第一区域及第二区域； 第一导电层，堆栈于该基材的上方，位于该第一区域及该第二区域，位于该第一区域的该第一导电层形成该第一轴向触控感测组； 电极层，堆栈于位在该第二区域的该第一导电层的上方，以与部分的该第一导电层形成该第一传输线组及该第二传输线组； 绝缘层，堆栈在该第一区域的该基材的上方及堆栈在该第一轴向触控感测组的上方； 第二导电层，堆栈在该绝缘层的上方，以在该第一区域形成该第二轴向触控感测组；以及 导电连接垫组，堆栈在部分的该第二传输线组上及部分的该第二导电层上，以电性连接该第二轴向触控感测组与该第二传输线组。
2.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，该第一轴向触控感测组与该第二轴向触控感测组中的各感测单元的形状为菱形、三角形、矩形与圆形中的其中之一。
3.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，该电极层的材料为金属。
4.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，该第一导电层与该第二导电层为导电材料，该导电材料为氧化铟锡、氧化铟锌、氧化镉锡、氧化铝锌、氧化铟锌锡、氧化锌、氧化镉、氧化铪、氧化铟镓锌、氧化铟镓锌镁、氧化铟镓、氧化铟镓铝、奈米银线、石墨烯与金属网格中的其中之一。
5.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，该基材的材料为二氧化硅、聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚碳酸酯与聚甲基丙烯酸酯、聚对苯二甲酸乙二酯与聚碳酸酯类中的其中之一 O
6.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，该基材为可挠性材料。
7.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，该绝缘层为透明绝缘层。
8.—种触控面板制作方法，其特征在于，制作具有第一传输线组、与该第一传输线组电性连接的第一轴向触控感测组、第二传输线组、及与该第二传输线组电性连接的第二轴向触控感测组的触控面板，该制作方法包含: 在基材上的第一区域及第二区域依序堆栈第一导电层及电极层； 进行第一次图案化制程，以在该第一区域形成该第一轴向触控感测组，在该第二区域形成该第一传输线组及该第二传输线组； 堆栈绝缘层； 堆栈第二导电层； 进行第二次图案化制程，以在该第一区域形成该第二轴向触控感测组 '及在部分的该第二轴向触控感测组及部分的该第二传输线组上形成使其互相电性连接的导电连接垫组。
9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，在该第一次图案化制程中包含: 在该电极层上方堆栈第一光阻层； 在该第一光阻层的上方以具有第一图样群的第一光罩进行曝光显影，使该第一光阻层形成该第一轴向触控感测组、该第一传输线组及该第二传输线组的图样群； 进行蚀刻，以借由这些图样群蚀刻该电极层及该第一导电层，以形成该第一传输线组及该第二传输线组； 在该第二区域的该基材及该电极层的上方堆栈抗蚀刻层；及 进行蚀刻，以去除该第一区域的该电极层，进而形成该第一轴向触控感测组。
10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，该抗蚀刻层为防蚀刻油墨层。
11.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，在该第二次图案化制程中包含: 在该第二导电层的上方以具有该第二轴向触控感测组的图样群的第二光罩进行曝光显影，以使该第二导电层形成位于该第一区域的第二轴向触控感测组。
12.如权利要求11所述的制作方法，其特征在于，该第二导电层为感旋光性导电薄膜层。
【专利摘要】本发明公开了一种触控面板其制作方法，借由导电连接垫组电性连接第二传输线组与第二轴向触控感测组的配置方式，使得第一传输线组、第二传输线组、及位于该第二轴向触控感测组下方的第一轴向触控感测组可在同一个流程步骤下一同形成于触控面板的基材上，如此不但省去了第一轴向触控感测组及第二轴向触控感测组与第一传输线组及第二传输线组间的对位程序，进而达到高准确性之外，更提升了触控面板的制作良率与效率。
【IPC分类】G06F3-041
【公开号】CN104656970
【申请号】CN201410128177
【发明人】王贵璟, 林达湖
【申请人】宇辰光电股份有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年4月1日
【公告号】US20150145807