专利名称：用于物理气相沉积设备的报警装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种物理气相沉积设备。
背景技术：
在集成电路中，制造铜导线的方法是以物理气相沉积(Physical VapourDeposition)设备在已沉积的基层上长一层铜层。沉积过程中，先会沉积上一层非金 属层作为过渡，通常选择钽(Ta)，然后再在钽层的基础上沉积上一层铜层。在现有的物理气相沉积设备中，由于多种原因造成的电力短路以及制造厂的供电 系统跳电而导致物理气相沉积的设备有时处于断电状态，由于整个物理气相沉积设备无电 流供应，所以相关操作人员无法及时获知物理气相沉积设备异常，由于晶圆在沉积过程始 终处于高温的状态而断电后会导致工艺温度以及压力的异常，长时间无人处理晶圆将导致 晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。
实用新型内容本实用新型解决的问题是现有物理气相沉积设备没有报警系统而使得一旦发生 机台无电流供应，所以相关操作人员无法及时获知物理气相沉积设备异常，由于晶圆在沉 积过程始终处于高温的状态而断电后会导致工艺温度以及压力的异常，长时间无人处理晶 圆将导致晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。一种用于物理气相沉积设备的报警装置，包括控制器、报警器、工作电源和供电 电池，所控制器输入端与工作电源连接于第一节点，所述控制器输出端与所述供电电池连 接于第二节点，所述控制器驱动端与报警器连接于第三节点，所述第二节点和第三节点之 间接有转换器。优选的，所述报警器包括状态指示灯和扩音器。优选的，所述工作电源额定供电电压为IOOv 220v交流电压。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点1、通过在控制器与报警器之间增加设置了供电电池，一方面保证了报警器即使工 作电源停止工作同样能够发出警报，另一方面，在平时又可以由机台电源予以补充电力。2、进一步保证了由于物理气相沉积设备由于多种原因造成的电力短路以及制造 厂的供电系统跳电而导致物理气相沉积的设备有时处于断电状态，由于整个物理气相沉积 设备无电流供应，所以相关操作人员无法及时获知物理气相沉积设备异常。由于晶圆在沉 积过程始终处于高温的状态而断电后会导致工艺温度以及压力的异常，长时间无人处理晶 圆将导致晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。
通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目 的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。图1为本实用新型结构示意具体实施方式
以下将对本实用新型的用于物理气相沉积设备的报警装置作进一步的详细描 述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选 实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型 的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对 本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。本实用新型设计了一种用于物理气相沉积设备的报警装置，图1为本实用新型的 结构示意图，所述用于物理气相沉积设备的报警装置100包括控制器101、报警器102、工 作电源103和供电电池104，所控制器输入端与工作电源103连接于第一节点a，所述控制 器101输出端与所述供电电池104连接于第二节点b，所述控制器101驱动端与报警器102 连接于第三节点c，所述第二节点b和第三节点c之间接有转换器105。本实施例中，当所述物理气相沉积设备处于正常工作状态时，所述工作电源103 提供所述控制器101的工作电源，同时所述控制器101给供电电池104充电。其中，所述工 作电源103为交流电压100V 230V。当物理气相沉积设备处于异常工作状态时，即物理气相沉积设备系统错乱或者设 备供电系统停止工作时，工作电源103停止对所述控制器101供电，控制器101检测工作电 源103停止工作后，驱动所述转换器105切换电路使得供电电池104直接连通报警器102 使得报警器102运行并发出警报。通过本实用新型设计，无论物理气相沉积设备是否有正常供电供应，仍保证了用 于物理气相沉积设备的报警装置始终处在运行状态，能够实时地通知操作人员及时取出晶 圆，避免了晶圆出现报废的情况发生。虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实 用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各 种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求一种用于物理气相沉积设备的报警装置，所述报警装置包括控制器、报警器、工作电源和供电电池，所控制器输入端与工作电源连接于第一节点，所述控制器输出端与所述供电电池连接于第二节点，所述控制器驱动端与报警器连接于第三节点，所述第二节点和第三节点之间接有转换器。
2.根据权利要求1所述用于物理气相沉积设备的报警装置，其特征在于，所述报警器 包括状态指示灯和扩音器。
3.根据权利要求1所述用于物理气相沉积设备的报警装置，其特征在于，所述工作电 源额定供电电压为100v 220v交流电压。
专利摘要本实用新型提供了一种用于物理气相沉积设备的报警装置，包括控制器、报警器、工作电源和供电电池，所控制器输入端与工作电源连接于第一节点，所述控制器输出端与所述供电电池连接于第二节点，所述控制器驱动端与报警器连接于第三节点，所述第二节点和第三节点之间接有转换器。保证了既使物理气相沉积的设备发生跳电或者由于其他原因导致设备没有供电，仍能警告给操作人员，避免长时间无人处理晶圆，导致晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。
文档编号G08B21/00GK201678728SQ201020161728
公开日2010年12月22日 申请日期2010年4月16日 优先权日2010年4月16日
发明者李广宁 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司