专利名称：用于自动提供集成存储器电路中熔丝元件的修复位置数据的方法
技术领域：
本发明涉及一种用于提供修复位置数据的方法，所述修复位置数据表示在集成存储器电路中将根据所提供的该修复数据编程的熔丝元件的位置。所提供的修复数据表示由集成存储器电路的多余存储区域的地址代替的常规存储区域的地址。
借助于熔丝元件，修复集成存储器电路中有故障的常规存储区域，使得当访问相应的地址时，用访问多余存储区域来访问代替常规存储区域。为了这个目的，集成存储器电路中的熔丝元件通常在存储器电路仍未切割状态时(在晶片上)被编程。
通常使用的熔丝元件为激光熔丝元件。激光熔丝元件通常被形成作为金属导体迹线，借助于激光，在激光修整过程中切断该金属导体迹线。从而，激光熔丝元件用作开关，并且连同锁存器一起，形成可编程存储元件，该可编程存储元件提供一些数据，利用这些数据可以启用或停用集成存储器电路的特定电路。
需要给用于编程激光熔丝元件的激光修整装置提供修复位置数据，也就是表示衬底晶片上将被编程的激光熔丝元件的准确的绝对或者相对几何位置的熔丝坐标。
在集成电路设计期间，首先拟定原理图，原理图是电路的示意图。该原理图包括所使用的全部元件(电阻、晶体管、线等等)的符号及其名称。从原理图中，产生以抽象(字母数字)形式描述在电路层次上电子元件布线的网络列表。
在后面的布局过程中，如原理图或者网络列表所预先设定的那样，元件被实际放置在衬底表面并且依靠连接线相互连接(放置和布线过程)。因此，产生的布局示出衬底上各个电子元件的排列和连接。以该布局为基础，在生产过程中以集成的方式生产存储器电路。
在放置由网络列表预先确定的电子元件期间，必要的熔丝元件也被放置在衬底表面。为了确定各个熔丝元件的位置，迄今为止从集成存储器电路的布局中读出相关的熔丝元件是部分手动和通过自动地进行的。那么，对于大量的熔丝元件，只好手动地从布局确定相关电路功能，因为布局中的位置和基础原理图(网络列表)中电路部分的相应功能之间没有直接关系。然而，熔丝元件位置的手动确定是耗时的，并且特别容易出现错误，因为确定特定熔丝元件的功能是通过沿着配置中线路路径前进直至达到布局中的设定点来实现的，其中所述设定点能被明确地指定到原理图(网络列表)中的一点，因此指定其电路功能。
另外，实现集成存储器电路的余度的熔丝元件类似地由布局手动地确定，通常确定为具有多个熔丝元件的熔丝元件组的基准坐标。存在于熔丝元件组中的熔丝元件的数量以及熔丝元件之间的距离都必须同样地由布局手动地确定。
由这些多余熔丝元件和已知的用于在存储器电路中实施其他调节的熔丝元件修整，产生已知的熔丝元件表格，其中各个熔丝元件的功能和它在集成电路上的相应位置彼此关联。
借助于熔丝转换器并且通过利用所提供的指定将被编程的熔丝的修复数据，熔丝元件表格也用来产生修复位置数据，该修复位置数据规定要被编程的激光熔丝元件所处的位置。
因此本发明的目的是提供一种用于提供用于修复集成存储器电路的熔丝元件的修复位置数据的方法，该方法能够以自动化的方式被执行。
通过如权利要求1所述的方法实现该目的。
在从属权利要求中详述了本发明的其它有利改进。
根据本发明的第一方面，提供一种借助于修复处理来修复存储器电路的方法，其中由集成存储器电路中的修复位置数据确定的熔丝元件被编程。该修复位置数据取决于使用测试装置通过测量方法所确定的修复数据，该数据指定将由多余存储区域的地址代替的常规存储区域的地址，以便当访问常规存储区域的地址时访问多余存储区域。
在该方法中，首先提供网络列表，该网络列表描述了电子元件的布线和存储器电路中的熔丝元件。例如，从之前拟定的原理图产生网络列表。
为了明确识别熔丝元件，熔丝标识符通过利用网络列表被分配给每个熔丝元件。
地址信息项被分配给由熔丝标识符表示的每个熔丝元件组，该地址信息项表示与熔丝元件组相关联的多余存储区域。
然后从网络列表中产生布局数据。在过程中，从布局数据提取熔丝元件的位置数据并且借助于熔丝标识符确定与网络列表的联系。该联系也被设计为LVS数据库(布局与原理图的LVS数据库)。为了该目的，能够从布局提取几何数据并且与电路元件的相应预定几何图形数据相比较(这种情况中，熔丝元件或锁存器与后者相关联)。利用叠合方法，于是将几何位置数据分配给相应的电路元件。然后使该信息与网络列表一致，使得产生明确的关联。
在相应熔丝元件的地址信息和位置数据之间，通过使用熔丝标识符确定关联。在该情况下，从熔丝标识符中包含的信息得出所述地址，而借助于与网络列表(LVS数据库)的联系，指定熔丝元件的位置数据。
于是得到修复数据，例如从测试装置得到修复数据。从该修复数据确定修复位置数据，其中修复位置数据规定了要被编程的激光熔丝元件所处的位置。然后编程由修复位置数据确定的激光熔丝元件，以便修复存储器电路。
根据本发明的方法包括以自动方式产生修复位置数据，即网络列表中提供的熔丝元件和布局中所放置的熔丝元件之间的关联，的新方法。利用可经由熔丝元件访问的多余存储区域的所述关联，指定布局中熔丝元件的准确的几何位置，从而得知每个熔丝元件的功能。
可以规定修复位置数据的确定包括将多余存储区域的地址与要被替代的存储区域的地址逻辑相联系，基于逻辑联系的结果、位置数据和熔丝标识符来确定修复位置数据。
根据本发明的另一个实施例，修复位置数据的确定包括将另外的修复位置数据添加给所确定的修复位置数据。
网络列表可以分层地设置成层次树，该层次树具有层次分支，在所有情况下，该层次分支对相应于熔丝元件，为了明确地识别熔丝元件，利用原理图和/或网络列表实现将熔丝标识符指定给每个熔丝元件，其中熔丝标识符是基于相关联的层次分支确定的。
这使得能够确定各个熔丝元件的功能(将被替代的存储区域的地址信息的地址位)，因为借助于网络列表的层次结构、网络列表中的层次分支，明确地识别了熔丝元件。这意味着熔丝元件或熔丝元件组被给予唯一地址，该唯一地址从层次路径中获得。因为层次分支也包括关于熔丝元件电有效性(地址位或功能)的信息，借助于熔丝元件的几何位置数据、各个熔丝元件的相关功能以及修复数据，能够确定修复位置数据，可利用该修复位置数据例如借助于激光修整装置对熔丝元件编程。通过使用网络列表的层次分支确定各个熔丝元件的功能，可以省去手动指定布局中熔丝元件的功能，这意味着能够避免错误并且大大地加快修复位置数据的确定。
通过使用附图更详细地解释本发明的优选实施例，其中
图1示出说明用于确定修复位置数据的方法的流程图，及图2通过举例的方式示出熔丝元件的网络列表的层次树，借助熔丝元件可以用多余线代替存储器单元阵列的各个部分。
在制造集成存储器电路期间，可能出现能用修复方法修复的缺陷。为了这个目的，在集成存储器电路中提供多余存储区域并且当访问常规存储区域时，启用多余存储区域来代替访问多余存储区域。为了启用多余存储区域，通常使用已知的是激光熔丝元件，在集成存储器电路的制造之后，在激光修整过程中通过切断或不切断导体迹线能够编程该激光熔丝元件。在常规方法的情况下，在形成布局之后，不存在关于熔丝元件几何位置的位置信息，其中所述位置信息允许将特定的一个熔丝元件指定给多余存储区域的地址，因此迄今为止不得不由布局手动地确定必需的位置信息。现在根据本发明的方法涉及由原理图和/或网络列表和布局自动确定功能和位置信息，以及借助于该位置信息执行修复处理。
图1说明关于根据本发明方法过程的流程图。在已知的示意图形式的集成存储器电路的原理图设计(步骤S1)之后，产生已知的网络列表(步骤S2)，网络列表描述了在电路层次上电路的电设计。该网络列表是原理图的抽象(字母数字式)描述，该原理图的抽象(字母数字式)描述包括元件的布线。通常，原理图不包括关于集成制造期间电子元件后来是如何在以几何方式布置在衬底表面上的任何信息。由原理图产生的网络列表通常分层地被建立，因为对于集成电路，经常重复地使用具有同样功能的同样电路，并且在不同的位置重复地实现具有同样功能的同样电路。
图2中以用于存储器电路的多余熔丝元件的层次树的形式示出网络列表的分层结构。该多余熔丝元件被归成熔丝元件组并且被用来通过一行多余存储器元件代替存储器电路中的一行存储器元件。如果有故障的存储器单元沿着字线或位线，多余熔丝元件被用于以多余字线或位线来代替相应字线或位线的目的。在该情况下多余熔丝元件的数量基本上对应于字线或位线地址的位长。在所有情况下，属于多余字线或位线的多余熔丝元件将被结合到熔丝元件组中，该熔丝元件组被分配一个用于多余存储区域的统一地址。
先前以这种方式产生该，使得每个熔丝元件或在特定情况下一个单独熔丝元件模块中相应邻接的熔丝元件组被给予关于相应层次分支的一个单独名称。从而，在步骤S3中，每个多余熔丝元件被分配一个明确的熔丝标识符，该明确的熔丝标识符，通过被用作指定相应熔丝元件的名称和存储器电路中其功能的索引的层次分支的路径名，明确地标识熔丝元件模块中每个多余熔丝元件。因为层次路径与熔丝元件的电有效性具有直接关系，在多余熔丝元件情况下，有效性也相应于由层次路径产生的多余存储区域地址(多余地址)。
地址通常指示组中的一组熔丝元件。在该组内，单独的熔丝元件也可以用另一个数字(例如，地址位)指示，以便明确地识别它。
图2说明用于字线的多余熔丝元件的网络列表的层次树，从该层次树中获得用于多余熔丝元件的熔丝标识符。
在位串中预先确定熔丝标识符的单独位的布置。之前明确地确定了单独位的名称，例如CALL。在示出的例子中，位流具有32位长，其中不能占用单独位。例如，可以如下地运行用于将被提取的位串的序列RA0，RA1，RA2，RA3，RA4，RA5，RA6，RA7，RA8，RA9，RA10，RA11，RA12，CA11，DO0，DO1，DO2，ST0，ST1，ST2，BA0，BA1，BA2，RC＝1，S＝0，-，-，-，-。
例如，用于熔丝元件的熔丝标识符为CHIP/QUAD_3/RIB03/RIBHALF_U/RIBLET_1/KRFDBOX_1，那么二进制串的结果为00100000010000000000000010000000。
考虑到熔丝元件模块在整个存储器电路中的布置(功能)，每个熔丝元件模块被分配一个地址信息项(步骤S4)。地址信息项表示哪个多余存储区域(在这种情况下是哪行多余存储元件)被分配给相应熔丝元件模块的熔丝元件组。从而，每个熔丝标识符也被指定到相应的地址信息项。
在布局期间，由网络列表设计实际电路(步骤S5)，该电路随后可在衬底上见到。这里，如在原理图中示出的那样，以几何上正确的方式在集成电路的表面上放置元件及其布线。通过使用由原理图产生的网络列表能够实施该布局。
与产生布局一起或在产生布局后，进行提取(LVS)(步骤S6)，通过该步骤得到单独熔丝元件的位置数据。通过比较布局的几何结构与基准结构进行所述提取，其中所述基准结构对应于要寻找的熔丝元件的图案或通常使用这些熔丝元件的电路结构，例如锁存器。提取的结果是得到已知的LVS数据库，该数据库描述给熔丝标识符因而也就是给单独熔丝元件分配的熔丝元件几何位置。
因此在下面步骤S7中能产生熔丝元件模块的各熔丝元件的地址信息项与熔丝元件的位置数据之间的联系，使得每个单独熔丝元件的各自功能(多余存储区域地址的地址位)连接到相应位置数据项，所述位置数据项表示相关熔丝元件的几何位置。
在借助于检测装置检测存储器电路期间，如果在检测集成存储器电路期间已经检测到故障，得到可能的修复数据(步骤S8)。修复数据指示故障存储区域的地址，并且表示(特别通过线地址或列地址表示)哪个存储区域要被替代以修复所发现的故障。
由修复数据可确定修复位置数据(步骤S9)，其表示要编程的激光熔丝元件(也就是要被切断的激光熔丝元件)在具有集成存储器电路的衬底晶片上位于哪个物理位置。借助于修复位置数据，例如用已知的的激光修整装置通过切断或不切断可以编程特定熔丝元件。
为了确定修复位置数据，使用其中已经发生故障的常规存储区域的地址和多余存储区域的地址，以便产生熔丝信息。该熔丝信息表示在一个组中那些多余熔丝元件被编程，那些多余熔丝元件不被编程。
在集成电路上，仅有有限数量的多余字线和位线，该有限的多余字线和位线比实际字线和位线的数量少很多倍。因此，每个熔丝元件组被永久地分配一个多余地址，该熔丝元件组被分配给任何所希望的常规字线或位线。通过适当地编程(烧断)熔丝元件，例如通过激光修整装置，由相应的多余字线或位线代替在各种情况下被分配给熔丝元件的故障字线或位线。
由从下面表格所示的例子可见，由逻辑组合，特别是字线的地址和多余字线的地址的唯一或组合(OR组合)，可以得到根据熔丝元件的可能布线熔丝元件组中哪些熔丝元件要被编程以取代特定的字线。
尽管迄今为止一直手动地由布局确定多余地址，现在在本发明中能够从网络列表中熔丝元件的层次分支中获得多余地址。为了这个目的，图2中示出的网络列表的层次树中的节点被指定地址区域，所述节点表示单独熔丝元件的功能。
根据本发明的用于确定对于编程激光熔丝元件的修复位置数据的方法有利地利用在网络列表和布局之间产生连接的可能性。结果，熔丝元件和属于熔丝元件的网络列表的熔丝元件模块被指定给布局中熔丝元件的精确位置(坐标)。为了以自动化方式确定修复位置数据，也以适当方式描述每个熔丝元件，使得其能够通过修复数据被准确地确定，修复数据可由测试装置获得。
该适当的描述通过所使用的熔丝元件模块的分层获得，以通过利用网络列表的层次分支中熔丝元件的位置明确地识别每个熔丝元件。同时，单独熔丝元件的层次分支也包括关于熔丝元件的功能和电有效性的信息。从该层次分支中，结合适当的映射表，产生用于熔丝元件的地址，该地址包括熔丝元件的电有效性(要被代替的存储地址的位位置)。该地址连同一转换表一起能够与测试装置的需要相匹配。
关于集成存储器电路中没有用于余度目的的其它熔丝元件，特别地修整和专用熔丝元件，借助于提取类似地从布局提取其位置数据。相反，以实验方式确定其功能和电有效性，并且其功能和电有效性被存储在适当的映射表中，使得通过借助于变址表联系位置数据和相应的设置数据，能够确定相应其它修复位置数据。
借助根据本发明的方法，利用由测试装置所确定的修改数据，以自动方式进行确定修复位置数据的过程。结果，熔丝元件的功能和电有效性的手动指定变得多余，并且能够实现节省相当多的时间。自动执行熔丝元件的功能的指定的另一个重要优点是更高的可靠性。
权利要求
1.一种用于借助于修复处理修复存储器电路的方法，在该方法中对由集成存储器电路中的修复位置数据确定的熔丝元件进行编程，修复位置数据取决于修复数据，所述修复数据指定常规存储区域的哪个地址要由多余存储区域的地址代替，以便当访问常规存储区域地址时，访问多余存储区域，该方法具有下面的步骤提供网络列表，该网络列表描述了存储器电路中电子元件和熔丝元件的布线；通过利用用于明确识别熔丝元件的网络列表，给熔丝元件指定相应的熔丝标识符；给熔丝标识符指示的熔丝元件组分配地址信息项，该地址信息项表示哪个多余存储区域与熔丝元件组相关联；由网络列表产生布局数据；从布局提取熔丝元件的位置数据并且借助于熔丝标识符确定与网络列表的联系；利用与网络列表的联系，产生各熔丝元件的地址信息和位置数据之间的关联；由测试装置得到修复数据；由修复数据确定修复位置数据，该修复位置数据表示要被编程的熔丝元件处于哪个位置；编程由修改位置数据确定的熔丝元件，以修复存储器电路。
2.如权利要求1的方法，其中通过将各熔丝元件或与熔丝元件相关联的电路的几何图案数据项与布局相比较来执行熔丝元件的位置数据的提取，如果相一致，确定布局中相应熔丝元件的几何位置。
3.如权利要求1或2的方法，其中修复位置数据的确定包括将多余存储区域的地址与要被代替的存储区域的地址逻辑联系，基于逻辑联系的结果、位置数据和熔丝标识符，确定修复位置数据。
4.如权利要求1到3中任一权利要求的方法，其中修复位置数据的确定包括将其它修复位置数据添加到所确定修复位置数据。
5.如权利要求1到4中任一权利要求的方法，其中网络列表被作为层次树分层地提供，该层次树具有分别对应于相应熔丝元件的层次分支，借助基于相关的层次分支确定的熔丝标识符，使用用于明确标识熔丝元件的网络列表，将熔丝标识符指定给熔丝元件。
全文摘要
一种用于借助于修复处理修复存储器电路的方法，在该方法中对由集成存储器电路中的修复位置数据确定的熔丝元件进行编程，修复位置数据取决于修复数据，该方法具有下面的步骤提供网络列表，该网络列表描述了存储器电路中电子元件和熔丝元件的布线；通过利用用于明确识别熔丝元件的网络列表，给熔丝元件指定相应的熔丝标识符；给熔丝标识符指示的熔丝元件组分配地址信息项，该地址信息项表示哪个多余存储区域与熔丝元件组相关联；由网络列表产生布局数据；从布局提取熔丝元件的位置数据并且借助于熔丝标识符确定与网络列表的联系；利用与网络列表的联系，产生各熔丝元件的地址信息和位置数据之间的关联；由测试装置得到修复数据；由修复数据确定修复位置数据，该修复位置数据表示要被编程的熔丝元件处于哪个位置；编程由修改位置数据确定的熔丝元件，以修复存储器电路。
文档编号G11C29/24GK1855312SQ200610084019
公开日2006年11月1日 申请日期2006年3月31日 优先权日2005年4月1日
发明者M·霍夫塞斯, B·拉夫, F·施纳贝尔 申请人:英飞凌科技股份公司