专利名称：长寿命晶体硅太阳电池的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种晶体硅太阳电池的制造方法。
背景技术：
现有的晶体硅太阳能电池，由于硼氧复合对的影响，在10年中输出功率下降约10％，20年中输出功率下降约20％，使用寿命短。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可有效减少硼氧复合对的产生，使用寿命长的长寿命晶体硅太阳电池的制造方法。
本发明的技术解决方案是一种长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，包括扩磷处理步骤，其特征是在扩磷处理步骤的通磷源前，先将硅片在氮气氛中热处理20～40分钟，再在氧氮气氛中热处理20～40分钟，热处理温度为500～1200℃，氧氮气氛中氮气与氧气的重量比为氮气∶氧气＝100∶2～3。
热处理时，采用高温、低温配合处理的方法。
采用高温、低温配合处理的方法是先在氮气氛中于500～900℃下进行，再在氧氮气氛中于1000～1200℃下进行。
采用高温、低温配合处理的方法是先在氮气氛中于1000～1200℃下进行10～18分钟，氮气氛中其余时间的热处理在500～900℃下进行，再在氧氮气氛中于1000～1200℃下进行。
采用高温、低温配合处理的方法是先在氮气氛中于1000～1200℃下进行，再在氧氮气氛中于500～900℃下进行10～18分钟，氧氮气氛中其余时间于1000～1200℃下进行。
本发明可有效保证电池的表面形成洁净区，使体内过多的氧成核，有效减少硼氧复合对的产生，使用寿命长；特别是采用高温、低温配合处理的热处理方法，有效促进过多的氧低温成核。
下面结合实施例对本发明作进一步说明。
具体实施例方式
实施例1；一种长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，包括扩磷处理步骤，在扩磷处理步骤的通磷源前，先将硅片在氮气氛中于500～900℃(例500℃、700℃、900℃)下进行热处理20～40分钟(例20、30、40分钟)，再在氧氮气氛中于1000～1200℃(例1000℃、1100℃、1200℃)下进行热处理20～40分钟(例20、30、40分钟)，氧氮气氛中氮气与氧气的重量比为氮气∶氧气＝100∶2～3(例100∶2、100∶2.4、100∶3)。其余步骤按常规晶体硅太阳电池的制造步骤进行，即得产品。
实施例2一种长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，包括扩磷处理步骤，在扩磷处理步骤的通磷源前，先在氮气氛中于1000～1200℃(例1000℃、1100℃、1200℃)下进行10～18分钟，氮气氛中其余时间的热处理在500～900℃(例500℃、700℃、900℃)下进行，再在氧氮气氛中于1000～1200℃(例1000℃、1100℃、1200℃)下进行。其余同实施例1。
实施例3一种长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，包括扩磷处理步骤，在扩磷处理步骤的通磷源前，先在氮气氛中于1000～1200℃(例1000℃、100℃、1200℃)下进行，再在氧氮气氛中于500～900℃(例500℃、700℃、900℃)下进行10～18分钟，氧氮气氛中其余时间于1000～1200℃(例1000℃、1100℃、1200℃)下进行。其余同实施例1。
权利要求
1.一种长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，包括扩磷处理步骤，其特征是在扩磷处理步骤的通磷源前，先将硅片在氮气氛中热处理20～40分钟，再在氧氮气氛中热处理20～40分钟，热处理温度为500～1200℃，氧氮气氛中氮气与氧气的重量比为氮气∶氧气＝100∶2～3。
2.根据权利要求1所述的长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，其特征是热处理时，采用高温、低温配合处理的方法。
3.根据权利要求2所述的长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，其特征是采用高温、低温配合处理的方法是先在氮气氛中于500～900℃下进行，再在氧氮气氛中于1000～1200℃下进行。
4.根据权利要求2所述的长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，其特征是采用高温、低温配合处理的方法是先在氮气氛中于1000～1200℃下进行10～18分钟，氮气氛中其余时间的热处理在500～900℃下进行，再在氧氮气氛中于1000～1200℃下进行。
5.根据权利要求2所述的长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，其特征是采用高温、低温配合处理的方法是先在氮气氛中于1000～1200℃下进行，再在氧氮气氛中于500～900℃下进行10～18分钟，氧氮气氛中其余时间于1000～1200℃下进行。
全文摘要
本发明公开了一种长寿命晶体硅太阳电池的制造方法，包括扩磷处理步骤，在扩磷处理步骤的通磷源前，先将硅片在氮气氛中热处理20～40分钟，再在氧氮气氛中热处理20～40分钟，热处理温度为500～1200℃，氧氮气氛中氮气与氧气的重量比为氮气∶氧气＝100∶2～3。本发明可有效减少硼氧复合对的产生，电池使用寿命长。
文档编号H01L31/04GK1815762SQ20051003832
公开日2006年8月9日 申请日期2005年2月5日 优先权日2005年2月5日
发明者王玉亭 申请人:江苏林洋新能源有限公司