专利名称：升降机线性马达驱动的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于加工和处理衬底(例如磁盘)的系统和方法，并且更 具体地涉及用于在使用磁导管的衬底处理系统中改善衬底运输设备的移动 的系统和方法。
背景技术：
衬底处理(例如磁盘的形成)是一种复杂并且麻烦的程序。需要大的、 用户化的设备来完成使用多个层涂敷衬底，然后加热并冷却衬底的许多独
特步骤。用于处理衬底的机器通常具有大的覆盖面积(footprint)并且需 要大量的空间来操作。另外，需要在高技术洁净间中操作机器，而建造和 维持该高技术洁净间是昂贵的。因而，减小衬底处理机器的整个覆盖面积 是有利的。
还期望提高制作每个衬底单元的处理速度以便最大化设备的价值。提 高处理速度面临一定的挑战，因为许多处理步骤具有最小的为了适当地涂 敷衬底，必须施加、加热或冷却具体的涂层所需要时间。因而，许多改进 已经集中在不增加价值的处理中的步骤上，例如从一个步骤到下一步骤移 动衬底所需的时间。
为此，当前技术，例如由加利福尼亚Santa Clara的Intevac公司制 造的200 Lear^系统，己开发出许多解决方案以减小机器的整个覆盖面积。 200 Leai^在美国专利6， 919， 001中有进一步详细描述(下文中称为"该'001 专利")，在此加入其公开的全部内容。 一个改进是处理室的可堆栈结构， 其允许在一半先前所需的空间中执行双倍数量的步骤。为了将衬底从处理 室的一个堆栈移动到另一个堆栈，在系统的任一侧上配置升降机以在一旦 衬底到达室的一个堆栈端部时移动该衬底。该勺01专利中也描述了与本描 述无关的许多其它改进。
国际专利公开W0 2006/026886 Al(下文中称为"该^886公开")也描述了具有处理室的两个堆栈的衬底处理系统。与在该'001专利中描述的 200 Lear^系统十分相似，该'886公开描述了一种升起模块以从一个堆栈 到下一个堆栈传输衬底，并且使用磁性装置(即线性马达)用于衬底运输 设备的传输。
通过衬底处理系统的衬底的移动，例如在该W01专利和该'886公开 中描述的那样，在衬底穿过室移动时，也需要使用运输设备来支撑衬底。 运输设备必须设计成只是紧紧地夹住衬底的外部边缘，以便不影响涂敷处 理。结果，运输设备在衬底上具有有些弱的夹持力。来自任何方向的对于 运输设备的轻微碰撞就能够将衬底撞出运输设备，从而需要停止和维修整 个机器。因而在运输设备经过衬底处理系统时，需要最小化运输设备上的 任何扰动。显然，在垂直于衬底表面的方向的加速度力必须被最小化。然 而，这种关注必须与改善处理速度的需要相平衡，因为处理越快，越可能 因为快速移动将衬底撞离其运输设备。
因此，需要一种最小化无价值的附加的动作的处理时间、防止运输设 备和衬底上的扰动并简化在可堆栈系统中的多个级别之间移动衬底的处理 的改进的衬底处理系统。
发明内容
为了提供本发明的一些方面和特征的基本理解，提供本发明的下列总 结。该总结不是本发明的广义观点，同样也不是试图具体确定本发明的关 键或必需要素，或者描述本发明的范围。其唯一目的是以简单形式提供本 发明的一些概念作为以下提供的更详细描述的开端。
本发明的实施例提供一种具有磁导管结构的衬底处理系统，以改善系 统内的衬底运输设备的移动。 一方面，通过使用磁导管以重新引导由线性 马达产生的磁力，允许线性马达被定位在系统的外面并且处于不干扰升降 机的移动的位置上，磁导管的结构特别地提供在衬底处理系统的升降机子 系统中的运输设备的快速、可靠的移动。
根据本发明的一些方面，提供一种用于在具有至少一个室的衬底处理
系统中传输衬底的系统，包括定位在室内的轨道；安装在轨道上用于传 输衬底的衬底运输设备；连接到运输设备上的多个磁元件；线性马达；定位在线性马达和运输设备之间的多个磁导管，其中该磁导管将磁力从线性 马达传输至运输设备以产生磁耦合以运送运输设备。线性马达可被定位于 室的外面。磁元件中的每个可包括定位在金属块之上的磁体。磁导管可为
"L"形状。磁导管可以是"漏斗"形状。衬底处理系统可包括至少两个级 别的处理室，第一级别堆叠在第二级别的顶部上。该系统可进一步包括能 从处理室的一个级别向另一个级别传送运输设备的升降机室。该系统可进 一步包括定位在升降机室的外面的升降机线性马达，其中该升降机线性马 达与在升降机室中的一系列邻近的磁导管对准，以使得磁导管将运输设备 从处理室引导到升降机室内。该系列邻近的磁导管可进一步能够将运输设 备从升降机室引导至处理室。
根据本发明的其它方面，提供一种衬底处理系统中的升降机子系统， 包括能够维持真空的升降机室；至少一个定位在升降机室外面的线性马 达，其中该线性马达产生磁动力；包括多个磁元件的可移动运输设备；用 于垂直地移动运输设备的可垂直移动的升降机基底；以及多个连接至升降 机基底并且将磁场从线性马达耦合至磁元件的极片。该升降机子系统可进 一步包括一系列配置成将运输设备从在相邻的处理室中的线性马达分离并 且引导运输设备进入升降机室中的邻近极片。升降机子系统可进一步包括 一系列连接到升降机基底的导轨以将运输设备引导到升降机室内。该多个 极片可被定位在运输设备的下侧之下，以通过增强运输设备上的重力而增 强运输设备的稳定性。极片可被形成为"L"形，以使当运输设备连接到在 其下侧上的极片时线性马达位于升降机室的侧壁上。线性马达和多个极片 之间的升降机室的壁可以为薄的金属材料。该壁可以是铝。极片可由可渗 透的软金属制成以最小化线性马达和极片之间的磁场损失。极片可以是400 系列的不锈钢或铁。磁元件中的每个可包括连接到金属块上的磁体。
根据本发明的又一些方面，提供一种衬底处理系统，包括 一系列处 理室；定位在每个室内的轨道；安装在轨道上的用于在室间传输衬底的衬 底运输设备；连接到运输设备上的多个磁元件；线性马达；定位在线性马 达和运输设备之间的多个磁导管，、其中该磁导管将磁力从线性马达传输至 运输设备，以产生磁耦合以运送运输设备。该系列处理室可包括邻近室的 第一级别和定位在邻近室的第一级别之上的邻近室的第二级别。衬底处理系统可进一步包括能够在处理室的第一和第二级别之间传输运输设备的升 降机室。该衬底处理系统可进一步包括定位在升降机室外面的升降机线性 马达，其中该升降机线性马达与升降机室中的一系列邻近的磁导管对准， 以使磁导管将运输设备引导进入和离开升降机室。
附图合并入并且构成该说明书的一部分，与该描述一起举例说明本发 明的实施例，用作解释和图示本发明的原理。该图旨在以图解方式示出示 例性实施例的主要特征。该图不旨在描绘实际实施例的每个特征，也不是 描绘元件的相对尺寸，并且不按比例绘出。
图1为根据本发明一个实施例的衬底处理系统的图示； 图2为根据本发明一个实施例的运输设备的透视图； 图3为本发明的磁传输机构的实施例的侧视图4A为根据本发明的一个实施例的方向性地影响磁反应物路径的磁导 管或极片的能力的图示。
图4B为根据本发明的一个实施例的、以曲线的方式方向性地影响磁反 应物的路径的极片的能力的又一图示。
图4C为根据本发明的一个实施例的、方向性地影响磁反应物的路径的 极片的能力的图示。
图5为根据本发明的一个实施例的、与线性马达磁性地相互作用的运 输设备基底的图示；
图6为图5的实施例的详细视图7示出根据本发明一个方面的升降机；以及
图8为根据本发明一个方面的升降机和线性马达的放大视图。
具体实施例方式
在描述本发明之前，应理解本发明不限于描述的特定实施例，那么其当 然可以改变。同样应理解，此处使用的术语仅意图描述具体的实施例，并 不意图限制，因为本发明的范围仅由所附权利要求限制。
本发明的一些方面提供磁导管的使用，以改善将衬底和运输设备从多级别衬底处理系统的堆栈上的一个级别移动到另一级别所需的时间。需要 更少的机械零件来将运输设备移动到升降机子系统内，而且当将运输设备 从邻近的处理室移动到升降机室时，仅最小的，剪切磁力必须被打破。另 外地，使用磁导管，尤其是配置成极片的邻近布置，可以使运输设备穿过 系统的移动稳定，减小衬底被从运输设备撞出的风险。
在本发明的一个方面中，如图1所示，衬底处理系统100包括一系列 用于施加各种涂层或处理至衬底103的处理室102。衬底进入系统并且被安 装至运输设备104，如图2所示，其仅在几个点106处与衬底的外边缘连接， 以便保持大多数的衬底表面区域暴露用于涂层和其它处理。运输设备还具 有运输设备基底108，其提供用于使运输设备104穿过系统100的室102移 动的方法。
如图2所示，运输设备104的基底108具有轮116，其接合系统中的轨 道(在其它图中示出)。尽管可以使用磁性轮，但此处轮116没有被磁化。 如此处所述的，用于传输系统的线性马达的使用很大程度上消除了增强摩 擦以能够迅速加速或减速控制的需要。基底108也并入磁传输系统的一部 分。即，在该实施例中，磁传输机构是作为用于在室之间传送运输设备和 将运输设备传送进、出升降机的线性马达执行的。线性马达可以是磁阻型 的。为了与线性马达相互作用，在基底108上定位磁性材料、磁体或两者 (112)。在一个实施例中，元件112由磁性材料制成。在其它实施例中元件 112为单独的磁体。在又一实施例中元件112为连接到磁性材料上的单独的 磁体。
图3示出磁传输机构的实施例。在图3中，真空壁把机器在真空中的 部分即124，与机器在空气中的部分即122分离开。线性马达110位于空气 中，而运输设备104在设置在真空侧中的轨道114上运行。使运输设备移 动的磁能耦合由磁场导管118提供，磁场导管118限制和引导从线性马达 110朝着在运输设备基底处的磁耦合元件112的磁场。因而，当线性马达 110被致动时，它把耦合的运输设备基底108从一个处理室移动到另一个处 理室，或者移进和移出升降机。
为了进一步提供沿着衬底处理系统的线性路径的平稳移动，在图3示 出的实施例中，运输设备基底与沿着处理室和升降机长度运行的一系列导
9轨114相互作用。运输设备基底配置有轮116，轮116沿着导轨滚动且保持 运输设备以直线移动。在图3中，运输设备104的运动是进入和外出页面， 用^q标示来指示。
在发明的一个方面，磁导管被用于扩展和修改线性马达的反应元件(例 如运输设备基底中的磁体)需要所处的位置，以保持磁耦合。在典型的配 置中，线性马达被定位得平行于反应元件，反应元件例如磁体、铁或其他 导体材料。磁性软材料的使用，例如400系列的不锈钢或铁，使得使用磁 导管118，线性马达中产生的磁力可以被重新引导至替换的角度和位置。
图4A-4C示出磁导管118重新引导来自线性马达110的磁力的能力。 如图4A所示，在一实施例中，磁导管可被布置在一系列的极片118中。极 片118是延伸的并且具有不同的长度，这导致沿着经过延伸的极片118的 路径120移动的磁体以与布置的极片118相同的角度移动。通过壁(未示 出)可将马达，例如线性马达110，与极片118分离并且仍传输磁力至极片 118。如果磁体与运输设备相连，如在本实施例的衬底处理系统中的那样， 运输设备和衬底将采取相同的路径。图4B示出如何布置极片118以引起运 输设备以曲线路径120行进，并且图4C示出，当使用具有线性运动路径的 线性马达时，极片118的用户化布置是如何使运输设备路径120在各种方 向上移动的。
图5示出了另一实施例，其中极片118为"L"形并且在其穿过衬底处 理系统100行进时通过位于运输设备基底108之下的座架152被固定。多 个极片118被定位于运输设备的下侧之下，以通过增强作用在运输设备上 的重力增强运输设备的稳定性。即，通过将由线性马达产生的磁场弯曲， 以吸引在运输设备的基底处的磁元件，弯曲磁力增强了作用在运输设备上 的重力。座架152被连接到室的元件上，例如室壁、升降机等。详细描绘 其相关元件的该实施例的放大视图在图6中示出。极片118提供耦合到运 输设备基底108的稳定的磁力并且防止不需要的扰动，因此最小化了衬底 从运输设备104移出的风险。如图6中所示的，元件112为连接到磁性材 料块113上的单独的磁体111。
如在其它实施例中的，磁耦合的使用也使线性马达110能够安装在位 于空气122中的处理室的外面而不是在由壁126分离的真空124中。由于线性马达110外面有许多线路和部件，可产生较强的真空，而伴随较小的
污染风险或来自线性马达no的干扰。
在可替换实施例中，线性马达被在真空内配置并且形成与运输设备基 底的直接磁耦合。然而，极片能够被配置成与线性马达相互作用并且然后 形成直角以引导磁场适当地与运输设备相互作用。这样的配置会防止在处 理室之间的移动期间运输设备的不期望的横向移动。
磁导管的一个应用是衬底处理系统的升降机子系统，例如图1中示出
的升降机子系统。在一个实施例中，升降机子系统包括升降机室126，其与 在处理室的第一行128和第二行130的端部上的处理室102相连。为了持 续处理，升降机子系统被设计成将运输设备和衬底从一行移动到另一行。 通过实施磁导管的使用，磁导管处于升降机室126中的对应极片的布置的 形式，运输设备可被加载到升降机室126内和在升降机室126中被传输。 于是，分离的线性马达被配置在升降机室的外面，以为极片提供磁力来将 运输设备移动到升降机室内。
图7示出根据本发明的升降机132的一个实施例，其中两个线性马达 110a和110b被定位在升降机室壁134的外面。升降机基底310在升降机构 (例如升降机杆或链312)上上下行进。轨道114和极片118被连接到升降 机基底310上。当升降机132或者在较低位置或者在较高位置处将升降机 基底310放置成与处理室对准时，极片118变成与相应的线性马达110a和 110b的对准。在该位置中，当线性马达被通电时，其力场穿过壁134被传 输到极片118，以便运送该运输设备104。
图8示出根据本发明的实施例的升降机中的相关元件的特写，未示出 壁134，因此线性马达110是可见的。在该实施例中，极片118将线性马达 110的场弯曲90度并因此是"L"形的。极片118被定位在运输设备基底 108的下面，因此从线性马达110被传输的磁力穿过极片118被向上传输， 以与安装在运输设备基底108中的磁体或磁性材料112形成磁耦合。图8 进一步示出极片118的具体设计，及其与运输设备基底108中的磁体112 相互作用。极片118被安装在导轨支架136上，其与在升降机室之内的升 降机134的支撑板138相连。导轨114被定位在导轨支架136上，并且当 运输设备基底108进入升降机室时，为其提供水平引导。因而，运输设备
ii基底将从由页面背后延伸的平面进入升降机室，以提供参考点。
一旦运输设备已进入升降机室，取决于所需的移动，升降机将升高或
降低支撑板138，并且目前固定在导轨114之上的运输设备基底108也移动。 一旦升降机已到达期望的级别，升降机停止，并且线性马达被启动以使极 片118将磁场弯曲以将运输设备基底108移动出升降机室并进入新级别处 的邻近处理室。
延伸的极设计允许线性马达在升降机的外面的位置中固定。极片将磁 场延伸以适当地与连接至运输设备的磁性材料相互作用。当在升降机中时， 当支撑板138被升起或降低时，极片118被远离线性马达110移动，并因 此不需要其它力对抗由线性马达施加的磁场。极片的这种简单的机械运动 使得运动设备从线性马达的磁力脱离。这种布置消除了如上述引用的在 '886公开中揭露的柑反的磁场力的需要。
在本发明的一个方面中，非常有渗透性的磁极片被放置在线性马达中 存在的极的附近，以最小化磁场损失。应该将极片设计成将效率最大化(即， 层压极片以限制涡流损耗)。
在另一实施例中，极片反过来被用作探测磁场的传感器。模拟霍尔效 应传感器可被放置在延伸极片中的一个上以读取在极片的另外一端上的磁 场，尽管将导致强度上的一些损失。
尽管以具体的术语描述公开的实施例，其它包含本发明的原理的实施 例也是有可能的。此外，操作可以以具体的顺序提出。然而，这种顺序仅 仅是可提供的操作方式的一个实例。在任何具体的实施中，在仍旧遵从本 发明的方面的同时，操作可以被重新设置、修改或省略。在本发明的范围 之内的实施例还包括用于携带或具有存储于其上的计算机可执行指令或数 据结构的计算机可读媒介。这种计算机可读媒介可为任何由通用或专用计 算机访问的可用媒介。为了示例，并非限制，这种计算机可读媒介可包括 RAM、 ROM、 EEPR0M、 DVD、 CD ROM或其它光盘存储、磁盘存储或其它磁存储 设备或任何其它可用于携带或存储期望的程序代码装置和可被通用或专用 计算机访问的媒介，该程序代码装置处于计算机可执行指令或数据结构的 形式。此处提出的聚焦离子束工具、电子束工具和其它各种集成电路处理 工具可被看作专用计算机。当信息通过网络或其它通讯链接或连接(硬连线、无线或硬连线与无线的结合)被传递或者提供至计算机时，计算机适 当地将连接看作计算机可读媒介。因此，任何这样的连接恰当地称作计算 机可读媒介。上述结合应当也包括在计算机可读媒介的范围内。计算机可 执行指令包括，例如，引起通用计算机、专用计算机或专用处理设备执行 某种功能或功能组的指令和数据。
所有的方向性参照(例如，较高、较低、向上、向下、左、右、向左、 向右、顶部、底部、在……之上、在……之下等)仅用做识别的目的以帮 助读者理解本发明的实施例，并不产生限制，尤其是对于本发明的位置、 方向或使用，除非在权利要求中特别提出。接合参照(例如，附着、耦合、 连接及类似)是广义的解释并且可包括在元件的连接和元件之间的相对运 动之间的中间元件。同样地，接合参照不必意味着两个元件被直接连接或 彼此处于固定的关系。
在一些示例中，部件被参照"端部"描述，该端部具有具体的特征和/ 或被连接到另一零件。然而，本领域技术人员应认识到本发明不限于这样 的部件，即该部件超过其与其他零件的连接点立即终止。因此，术语"端 部"应当被以广义的方式解释，该方式包括具体元件、链接、部件、元件 或类似物的边界的邻近、向后、向前或其他附近区域。包含在上述描述中 的或在附图中示出的所有内容都仅仅用于解释而不是限制。在不脱离由所 附的权利要求限制的本发明的精神的情况下，可进行细节和结构上的改变。
在提供数值范围的情况下，应理解在该范围的上下限之间的每个插入 数值和任何其它规定的以及在该规定的范围之内的插入数值都被包括在本 发明之内，该每个插入数值为下限单位的十分之一，除非该内容以其它方 式清楚的指示。这些可独立地被包括在较小范围之内的较小范围的上限和 下限也被包括在本发明之内，隶属于在规定的范围中的任何特殊的排除性 的限制。在规定的范围包括界限的一个或两个的情况，把这些包括的界限 的任何一个或两者都排除在外的范围也被包括在本发明之内。
除非以其它方式限定，此处使用的技术和科学术语具有与本发明所属 领域普通技术人员的一般理解相同的含义。尽管类似于或等价于此处描述 的那些任何方法和材料也可用于本发明的实践或测试中，现在描述的是优 选的方法和材料。以引用的方式加入在此提到的所有公开，以揭露和描述与该公开所引用的方法和/或材料有关的方法和/或材料。
必需注意，此处使用的以及所附权利要求中的，单数形式"一"、"一 个"和"该"包括多个指示物，除非该内容清楚地以其它方式表明。
提供此处讨论的公开，仅仅是因为它们揭露的内容在本申请的提交日 期之前。在此没有事实被解释为承认本发明不被赋予由于在先发明而早于 这样的公开的权利。此外，提供的公开的日期可不同于实际
公开日期，该 实际
公开日期可能需要单独的确认。
依靠阅读该公开对于本领域技术人员显而易见，在不从本发明的范围 或精神脱离的情况下，此处描述和解释的每个单独实施例具有分离的部件 和特征，其易于与任何其它几个实施例的特征分离或结合。
此处示出的图不需要按比例绘出，为了清楚， 一些部件和特征被夸大。
权利要求
1、一种系统，用于在具有至少一个室的衬底处理系统中传输衬底，包括轨道，定位在该室中；衬底运输设备，安装在该轨道之上用于传输该衬底；多个磁元件，连接到该运输设备上；线性马达；多个磁导管，定位在该线性马达和该运输设备之间，其中该磁导管将磁力从该线性马达传递到该运输设备，以产生磁耦合来传输该运输设备。
2、 如权利要求l的系统，其中该线性马达被定位在该室的外面。
3、 如权利要求2的系统，其中该磁元件中的每个包括定位在金属块之 上的磁体。
4、 如权利要求l的系统，其中该磁导管为"L"形。
5、 如权利要求l的系统，其中该磁导管为"漏斗"形。
6、 如权利要求l的系统，其中该衬底处理系统包括至少两个级别的处 理室，第一级别堆叠在第二级别的顶部上。
7、 如权利要求6的系统，进一步包括能够将该运输设备从该处理室的 一个级别传输到另一个级别的升降机室。
8、 如权利要求7的系统，进一步包括定位在该升降机室外面的升降机 线性马达，其中该升降机线性马达与该升降机室中的一系列邻近的磁导管 对准，以便该磁导管将该运输设备从处理室引导到该升降机室内。
9、 如权利要求8的系统，其中该系列邻近的磁导管进一步能够将该运 输设备从该升降机室引导到处理室。
10、 一种在衬底处理系统中的升降机子系统，包括 升降机室，能够维持真空；至少一个线性马达，定位在该升降机室外面，其中该线性马达产生磁 动力；可移动的运输设备，包括多个磁元件；可垂直移动的升降机基底，用于垂直地移动该运输设备；以及 多个极片，连接至该升降机基底并且将磁场从该线性马达耦合到该磁 元件。
11、 如权利要求10的升降机子系统，进一步包括一系列邻近的极片， 该极片配置成将该运输设备与邻近处理室中的线性马达分离并将该运输设 备引导到该升降机室内。
12、 如权利要求11的升降机子系统，进一步包括连接到该升降机基 底的一系列导轨，以将该运输设备引导到该升降机室内。
13、 如权利要求10的升降机子系统，其中在该运输设备的下侧之下 定位多个极片，以便通过增强该运输设备上的重力来增强该运输设备的稳 定性。
14、 如权利要求13的升降机子系统，其中该极片被形成为"L"形， 以便当该运输设备被耦合到在其下侧上的该极片时，该线性马达位于该升 降机室的侧壁上。
15、 如权利要求10的升降机子系统，其中在该线性马达和该多个极 片之间的该升降机室的壁为薄金属材料。
16、 如权利要求15的升降机子系统，其中该壁为铝。
17、 如权利要求10的升降机子系统，其中该极片由渗透性的软金属 制成，以最小化该线性马达和该极片之间的磁场损耗。
18、 如权利要求17的升降机子系统，其中该极片为400系列的不锈 钢或铁。
19、 如权利要求17的升降机的子系统，其中该磁元件中的每个包括 连接到金属块上的磁体。
20、 一种衬底处理系统，包括 一系列处理室；轨道，定位在该室中的每个内；衬底运输设备，安装在该轨道之上，用于在该室间传输该衬底； 多个磁元件，连接到该运输设备上； 线性马达；以及多个磁导管，定位在该线性马达和该运输设备之间，其中该磁导管将 磁力从该线性马达传递到该运输设备，以产生磁耦合来传输该运输设备。
21、 如权利要求20的衬底处理系统，其中该系列处理室包括第一级 别的邻近室和定位在该第一级别的邻近室之上的第二级别的邻近室。
22、如权利要求21的衬底处理系统，进一步包括升降机室，其能够 在该第一和第二级别的处理室之间传输该运输设备。
23、如权利要求22的衬底处理系统，进一步包括定位在该升降机室 外面的升降机线性马达，其中该升降机线性马达与该升降机室中的一系列 邻近的磁导管对准，以便该磁导管将该运输设备引导进入和离开该升降机 室。
全文摘要
公开了一种具有磁导管结构的衬底处理系统以改善系统内的衬底运输设备的移动。该结构通过使用磁导管来重新引导由线性马达产生的磁力，允许线性马达被定位在系统的外面并且处于不与运输设备的移动相互干扰的位置中，特别地提供了运输设备在衬底处理系统的多个级别之间的安全、可靠的移动。
文档编号H01L21/677GK101483145SQ200810247088
公开日2009年7月15日 申请日期2008年11月12日 优先权日2007年11月12日
发明者S·斯科莱 申请人:因特瓦克公司